Например, Бобцов

ПОВЫШЕНИЕ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ЛАЗЕРНОЙ ТЕРМОХИМИЧЕСКОЙ ЗАПИСИ НА ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ХРОМА ПУТЕМ МНОГОКРАТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ

Аннотация:

Теоретически исследован способ увеличения разрешения планарных структур, записываемых с помощью технологии локального лазерного окисления тонких пленок хрома с последующим травлением путем многократного воздействия на область.

Ключевые слова:

Статьи в номере