Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:544.032.65
Номер:12 (56)
Скачать PDF440 Кбайт
Теоретически исследован способ увеличения разрешения планарных структур, записываемых с помощью технологии локального лазерного окисления тонких пленок хрома с последующим травлением путем многократного воздействия на область.