Например, Бобцов

Исследование оптических свойств наноструктур методом модуляционной интерференционной микроскопии

Аннотация:

Разработан модуляционный интерференционный микроскоп с рекордно высоким латеральным разрешением (10–100 нм) и высокой (до 250 кадров в секунду) скоростью получения изображений. Приводятся описания оптической схемы прибора, принципов работы и проблем сверхвысокого оптического разрешения в фазовых изображениях. Обсуждаются возможные пути развития метода модуляционной интерференционной микроскопии, а также области применения метода для исследования наноструктурированных материалов, топологии интегральных микросхем и морфологии биологических объектов.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере