Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения 080.2720, 140.0140, 140.3430.
Аннотация:
Рассмотрена реализация фотолитографического процесса, основанного на синтезированных голограммах “сфокусированного” изображения, работающих совместно с объективом невысокого качества. Сформулированы и обоснованы рекомендации по выбору параметров синтеза и отображения голограмм, определяющих качество восстанавливаемых с их помощью изображений. Обоснована перспективность применения данной системы для решения проблем ультракоротковолновой фотолитографии. Установлено, что совместное использование голограммы и проекционной системы позволяет достичь предельного для оптики минимального характеристического размера элемента фотошаблона, равного длине волны восстанавливающего излучения.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Нелинейное поглощение фемтосекундных световых импульсов при двухфотонном резонансе в объемных кристаллах и наноструктурах
- Многофотонная генерация электрон-дырочных пар в кристаллах с глубокими примесями. II. Каскадные процессы
- Исследование противоизлучения облачного неба в дневное и ночное время в диапазоне 8–13 мкм
- Положение входного зрачка оптической системы из двух отражающих поверхностей при изопланатической и анастигматической коррекции первичных аберраций
- Обобщенная параметрическая модель оптической системы и ее анализ
- Аберрационный синтез оптических систем, предназначенных для преобразования лазерных пучков 200.0200, 220.0220.
- Ассоциативные связи между словами согласно голографической модели памяти
- Восстановление профиля лазерного пучка на основе измерения его мощности в последовательности полос 090.0090.
- Контроль атмосферных загрязнителей методом обратного рассеяния
- Оптически управляемые модуляторы света с большим фотоиндуцированным фазовым набегом
- Измерение разности фаз при линейном двулучепреломлении в дифференциальном фазовом поляриметре с вращающимся анализатором
- Мультиспектральные флуоресцентные органоскопы для прижизненных исследований лабораторных животных и их органов
- Интерферометр Тваймана, качество волнового фронта которого определяется только ошибками поверхностей его оптических элементов
- Михаил Михайлович Мирошников (к 85-летию со дня рождения)
- Учебное пособие “Теоретические основы оптико-электронных приборов”