Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия оптических поверхностей
Аннотация:
Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с непрямолинейностью не более 0,1 мкм на длине хода до 300 мм. Данная модификация микроскопа может быть использована для исследования поверхности крупногабаритных оптических деталей размером до 300´300´100 мм с разрешением 0,1 нм по вертикали и 10–100 нм в плоскости образца. Рассмотрены конструкция и принцип работы основных узлов микроскопа. На примерах показаны возможности и преимущества разработанного микроскопа при исследовании оптических поверхностей.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Взаимодействие электромагнитной H-волны с металлической пленкой, расположенной между двумя диэлектрическими средами
- Исследование индикатрисы флуоресценции частиц биоаэрозоля: моделирование и эксперимент
- Исследование неодимсодержащих кристаллических активных элементов с дискретным и градиентным изменением концентрации активатора в направлении накачки
- Малогабаритный Er:YLF-лазер с пассивным Fe2+:ZnSe-затвором
- Сочетание методов поляризационного и интерференционного контраста для трехмерной визуализации анизотропных микрообъектов
- Цифровое голографическое видео для исследования биологических частиц
- Флуоресцентный анализ паттернов метаболической активности нейрон-глиальной сети
- Новая концепция измерения угла. Модельные и экспериментальные исследования
- Шумовые параметры матричных фотоприемников
- Планарная система регистрации субмиллиметрового излучения
- Метрологическая платформа с модуляционным интерференционным микроскопом
- Исследование процессов модификации фоточувствительной стеклокерамики излучением С02-лазера
- Экспресс-метод определения пригодности фотолюминофорных суспензий для изготовления белых светодиодов
- Геннадий Николаевич Герасимов (к 70-летию со дня рождения)