Метрологическая платформа с модуляционным интерференционным микроскопом
Аннотация:
Приведены результаты разработки уникальной метрологической платформы, предназначенной для исследования нанодефектов объекта и измерения плоскостности его поверхности на больших площадях. Конструкция платформы основана на согласованном применении метода модуляционной интерференционной микроскопии и бесконтактных аэромагнитных направляющих. Рассмотрены оптическая схема и алгоритм получения панорамных изображений. Показаны перспективы применения метрологической платформы в оптической и полупроводниковой промышленности.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Взаимодействие электромагнитной H-волны с металлической пленкой, расположенной между двумя диэлектрическими средами
- Исследование индикатрисы флуоресценции частиц биоаэрозоля: моделирование и эксперимент
- Исследование неодимсодержащих кристаллических активных элементов с дискретным и градиентным изменением концентрации активатора в направлении накачки
- Малогабаритный Er:YLF-лазер с пассивным Fe2+:ZnSe-затвором
- Сочетание методов поляризационного и интерференционного контраста для трехмерной визуализации анизотропных микрообъектов
- Цифровое голографическое видео для исследования биологических частиц
- Флуоресцентный анализ паттернов метаболической активности нейрон-глиальной сети
- Новая концепция измерения угла. Модельные и экспериментальные исследования
- Шумовые параметры матричных фотоприемников
- Планарная система регистрации субмиллиметрового излучения
- Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия оптических поверхностей
- Исследование процессов модификации фоточувствительной стеклокерамики излучением С02-лазера
- Экспресс-метод определения пригодности фотолюминофорных суспензий для изготовления белых светодиодов
- Геннадий Николаевич Герасимов (к 70-летию со дня рождения)