Например, Бобцов

ВУФ-лампа емкостного разряда на смеси паров воды с аргоном

Аннотация:

Приведены результаты исследования спектральных характеристик плазмы (175–200 нм) импульсно-периодической лампы емкостного разряда, которая работает на смеси паров воды с аргоном. Показано, что при низком давлении аргона емкостной разряд является широкополосным источником вакуумного ультрафиолетового излучения. Проведена оптимизация интенсивности полос излучения плазмы емкостного разряда в зависимости от парциального давления аргона и паров воды. Для разряда в смеси аргона с парами воды выполнены расчеты электронных кинетических коэффициентов.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере