Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:621.315.592; 621.315.51.6; 621.3.049.77.14
Номер:6 (64)
Приводятся результаты эксперимента, связанного с облучением термически окисленной кремниевой пластины импульсным волоконным YLP-лазером с длиной волны 1,06 мкм с различной плотностью мощности излучения. Показано, что при плотности мощности лазерного излучения ниже плотности мощности, необходимой для расплавления кремния, в окисле появляются структурные дефекты, которые приводят к увеличению отрицательного заряда в объеме диэлектрика и увеличению проводимости SiO2 при определенных значениях напряжения смещения на затворе.