ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ УГЛОВ ПАДЕНИЯ ЛУЧЕЙ АКТИНИЧНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ФОТОШАБЛОНА НА УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ ЛИМБОВ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ МЕТОДОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Аннотация:
Рассмотрены результаты исследования влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона в операции контактного экспонирования тех- нологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ МЕТОДОМ ИК СПЕКТРОСКОПИИ ЧИСЛА РАЗНЫХ ГЕТЕРОАССОЦИАТОВ В РАСТВОРЕ HF–ОРГАНИЧЕСКИЙ РАСТВОРИТЕЛЬ
- РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ИНДУЦИРОВАННОГО ДВУЛУЧЕПРЕЛОМЛЕНИЯ В КРИСТАЛЛЕ НИОБАТА ЛИТИЯ В НЕОДНОРОДНОМ ВНЕШНЕМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕ
- ВЛИЯНИЕ ДЕЦЕНТРИРОВКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ НА ПОЛОЖЕНИЕ ПЛОСКОСТИ ИЗОБРАЖЕНИЯ
- ЮСТИРОВКА ДВУХЗЕРКАЛЬНЫХ ЦЕНТРИРОВАННЫХ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
- ПОЛУЧЕНИЕ ТРЕХМЕРНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА ПУТЕМ ИЗМЕРЕНИЯ ИНТЕНСИВНОСТИ ДИФФУЗНОГО ОТРАЖЕНИЯ СВЕТА РАЗЛИЧНЫМИ ТОЧКАМИ ЕГО ПОВЕРХНОСТИ
- МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И ВЫБОР ФОРМЫ ОПТИЧЕСКОЙ МАРКИ В ЦИФРОВЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМАХ
- ДВУХКООРДИНАТНЫЙ ЭЛЕКТРОУПРАВЛЯЕМЫЙ ЖИДКОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ ОПТИЧЕСКИЙ ФАЗОВЫЙ КЛИН
- МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПОЛЯРИМЕТРИЧЕСКОГО МАГНИТООПТИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ПЕРЕМЕННОГО ТОКА С ЧУВСТВИТЕЛЬНЫМ КОНТУРОМ ИЗ СВЕТОВОДА ТИПА “twist”
- ОПТИЧЕСКИЙ МЕТОД СОРТИРОВКИ ТОВАРНОГО ЗЕРНА ПО СОДЕРЖАНИЮ КЛЕЙКОВИНЫ
- МОДОВЫЙ СОСТАВ ИЗЛУЧЕНИЯ В МИКРОСТРУКТУРИРОВАННЫХ СВЕТОВОДАХ СО СМЕЩЕННОЙ СЕРДЦЕВИНОЙ