Например, Бобцов

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СВОЙСТВ НЕКОТОРЫХ МОДИФИКАЦИЙ СИЛИЦИДОВ ТИТАНА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ, ДЛЯ СОЗДАНИЯ ФОТОПРИЕМНИКОВ

Аннотация:

Проведено исследование оптических свойств системы Au/TiSi2(C49)/Sin-типа/Si, сформированной методом быстрой термической обработки. Показано, что максимум спектральной чувствительности находится в области 750 нм. Максимальная чувстви- тельность достигает 35 мА/Вт в диапазоне длин волн 750–800 нм. Сделан вывод о том, что на основе данной структуры, полностью совместимой с известной технологией, применяемой для изготовления полупроводниковых приборов на кремнии (крем- ниевая технология), возможно создание фотоприемника, чувствительного в диапазоне 350–1050 нм.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере