Статья ФОРМИРОВАНИЕ АНТИОТРАЖАЮЩЕГО МИКРОРЕЛЬЕФА НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ НАНОСЕКУНДНЫМ ИТТЕРБИЕВЫМ ЛАЗЕРОМ Поляков Д. С., Вейко В. П., Шимко А. А., Сальников Н. М., Михайлова А. А.