Статья Исследование геометрических параметров кремниевых структур в приборном слое при изготовлении чувствительных элементов микромеханических акселерометров Каранин Н. С.
Статья АНАЛИТИЧЕСКИЙ МЕТОД РАСЧЕТА ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ ЗАЩИТНОЙ МАСКИ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА Каранин Н. С.