Статья ПРИМЕНЕНИЕ ЭФФЕКТА КВАЗИЗАМКНУТОГО ПРОСТРАНСТВА ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК НА КЕРАМИКЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ Шашин Д. Е., Романов А. Л., Дьячков А. Д., Трачук Э. М., Иванов А. В., Смирнов А. Н.