Например, Бобцов

Разработка алгоритма оптимизации источника освещения фотолитографической установки

Сборник тезисов
Конференция:IV Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Оптотехника и оптические материалы
Год:2015

Разработка алгоритма оптимизации источника освещения фотолитографической установки

Жадин Александр Владимирович
Иванова Татьяна Владимировна
УДК:535.317
Скачать PDF

Аннотация

Выполнена разработка алгоритма оптимизации источника освещения фотолитографической установки и нахождение «эффективного» источника, который представляет собой распределение яркости в выходном зрачке осветительной системы. Выполнен подбор наилучших параметров оптической системы.

Постоянный URL

Материалы конференций

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО