Адаптивные системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического объектива

Сборник тезисов

Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых

Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии

Рубрика:Информационные технологии

Год:2016

Адаптивные системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического объектива

Дайняк Игорь Викторович

УДК:62-83

Скачать PDF

Аннотация

Рассмотрена разработка системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического оборудования, построенных на реконфигурируемых механизмах параллельной кинематики и кольцевом приводе прямого действия с автономно управляемыми сегментами, которая может быть также использована как координатная система позиционирования, совмещения и сканирования в сборочном и другом прецизионном оборудовании.

Адаптивные системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического объектива

Адаптивные системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического объектива

Аннотация

Постоянный URL

Материалы конференций

Адаптивные системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического объектива

Адаптивные системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического объектива

Аннотация

Постоянный URL

Поделиться

Материалы конференций