<p>В настоящее время эллипсометрические технологии измерений, использующие<br /> свойства поляризованного излучения, распространяются во многие области науки благодаря<br /> точности метода, его универсальности, неразрушающему воздействию. Сегодня встала<br /> острая необходимость проводить исследования по этой теме, чтобы в дальнейшем<br /> совершенствовать приборы для эллипсометрических измерений, уменьшать их габариты,<br /> улучшать метрологические характеристики и адаптировать к различным условиям работы.<br /> В связи с этим целью работы были анализ и сравнение технических характеристик<br /> современных эллипсометрических приборов для выявления их достоинств и недостатков, а<br /> также для выработки в дальнейшем рекомендаций по улучшению метрологических<br /> характеристик поляризационных установок для высокоточного контроля.</p>