Например, Бобцов

КОНТАКТНАЯ СУБВОЛНОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

Сборник тезисов
Конференция:II Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2
Рубрика:ОПТИЧЕСКИЕ И КВАНТОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЕРЕДАЧИ, ЗАПИСИ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ
Год:2013

КОНТАКТНАЯ СУБВОЛНОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

Колодезникова Софья Владимировна
УДК:535.015
Скачать PDF

Аннотация

<p>В современном мире уменьшение размеров имеет все большую актуальность.<br /> Современная интегральная схема с каждым годом содержит все большее количество<br /> элементов, соответственно каждый отдельный элемент с каждым годом уменьшается в<br /> размерах. Наиболее распространенной и удобной технологией изготовления интегральных<br /> схем является литография.</p>

Постоянный URL

Материалы конференций

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО