Сборник тезисов

Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых

Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника

Рубрика:Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии

Год:2016

Исследование микро- и наноструктурирования кремния с помощью каталитического (металл-стимулированного) процесса

Бедная Анастасия Игоревна, Гущина Екатерина Владимировна, Жарова Юлия Александрона, Толмачев Владимир Андреевич

Скворцов Альберт Матвеевич

УДК:621.315.592

Скачать PDF

Аннотация

Работа посвящена исследованиям условий каталитического травления и получения с его помощью кремниевых наноструктур, изучению их свойств и параметров. Основное содержание исследования составляет анализ использования кремния с разным уровнем легирования и разной кристаллографической ориентацией, установление зависимости морфологии структур от условий травления, создание упорядоченных кремниевых структур как с помощью бестокового каталитического травления, так и с приложением тока. В итоге констатируется, что каталитическое травление может применяться в качестве альтернативного метода для создания пористых структур на кремнии p- и n-типов проводимости.

Исследование микро- и наноструктурирования кремния с помощью каталитического (металл-стимулированного) процесса

Исследование микро- и наноструктурирования кремния с помощью каталитического (металл-стимулированного) процесса

Аннотация

Постоянный URL

Материалы конференций

Исследование микро- и наноструктурирования кремния с помощью каталитического (металл-стимулированного) процесса

Исследование микро- и наноструктурирования кремния с помощью каталитического (металл-стимулированного) процесса

Аннотация

Постоянный URL

Поделиться

Материалы конференций