Совершенствование систем создания и поддержания низкого абсолютного давления в диапазоне от 10-3 до 40 Па
Аннотация
В последнее время в России в различных областях науки и промышленности все более возрастает потребность в средствах измерений низкого абсолютного давления. Кроме того на рынке появляется все больше новых средств измерений низкого абсолютного давления (вакуумметров) как отечественного, так и импортного производства, основанных на различных принципах действия. Эти вакуумметры нуждаются в поверке и калибровке. Необходимо отметить, что существующие установки вакуумметрические эталонные не обеспечивают в полной мере качество поверочных и калибровочных работ, поскольку были разработаны в 70-х – 80-х годах прошлого столетия и основываются на устаревших средствах откачки и измерений. В связи с этим ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» были проведены работы по усовершенствованию системы создания и поддержания низкого абсолютного давления в диапазоне от 10-3 до 40 Па.