Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016
Формирование субмикронных структур на поверхности кремния при воздействии лазерных наносекундных импульсов в килогерцовом режиме
УДК:544.032.65