Например, Бобцов

Формирование субмикронных структур на поверхности кремния при воздействии лазерных наносекундных импульсов в килогерцовом режиме

Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016

Формирование субмикронных структур на поверхности кремния при воздействии лазерных наносекундных импульсов в килогерцовом режиме

УДК:544.032.65

Аннотация

В работе представлен процесс формирования субмикронных структур на поверхности кремния при воздействии наносекундных импульсов волоконного иттербиевого лазера. Также описано практическое применение полученных структур.

Материалы конференций