Статья ИССЛЕДОВАНИЕ ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНОГО ДАТЧИКА ЛОКАЛЬНОГО СИЛОВОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА С ЗОНДОМ В ВИДЕ МИКРОПИПЕТКИ Голубок А. О., Левичев В. В., Пинаев А. Л., Стовпяга А. В.