ФОТОЛИТОГРАФИЯ В ПРОИЗВОДСТВЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА УРАЛЬСКОМ ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОМ ЗАВОДЕ
ÏÐÀÊÒÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÁËÅÌÛ ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
ÓÄÊ 53.087.92 + 681.7.064
ÔÎÒÎËÈÒÎÃÐÀÔÈß Â ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÅ ÊÐÓÃÎÂÛÕ ÎÏÒÈ×ÅÑÊÈÕ ØÊÀË ÍÀ ÓÐÀËÜÑÊÎÌ ÎÏÒÈÊÎ-ÌÅÕÀÍÈ×ÅÑÊÎÌ ÇÀÂÎÄÅ
© 2008 ã. Ä. Þ. Êðó÷èíèí, êàíä. òåõí. íàóê Ïðîèçâîäñòâåííîå îáúåäèíåíèå “Óðàëüñêèé îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèé çàâîä” èìåíè Ý.Ñ. ßëàìîâà”, ã. Åêàòåðèíáóðã
Ðàññìîòðåíû âîïðîñû ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë. Ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà è âíåäðåíèÿ òåõíîëîãèè îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ãåîäåçè÷åñêèõ ëèìáîâ, ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ.
Êîäû OCIS: 110.5220.
Ïîñòóïèëà â ðåäàêöèþ 29.01.2007.
Ââåäåíèå
 ñâÿçè ñ òåì, ÷òî ÏÎ “ÓÎÌÇ” ÿâëÿåòñÿ âåäóùèì ïðåäïðèÿòèåì ïî èçãîòîâëåíèþ ãåîäåçè÷åñêèõ ïðèáîðîâ, îñîáîå âíèìàíèå íà ïðåäïðèÿòèè óäåëÿåòñÿ ñîâåðøåíñòâîâàíèþ òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë (äåòàëåé). Áîëüøàÿ íîìåíêëàòóðà âûïóñêàåìûõ ïðèáîðîâ îáóñëîâèëà è áîëüøîå ðàçíîîáðàçèå èçãîòàâëèâàåìûõ äåòàëåé. Ê íèì îòíîñÿòñÿ ãåîäåçè÷åñêèå ëèìáû (îöèôðîâàííûå øòðèõè), óãëîâûå ðàñòðû è ìíîãîðàçðÿäíûå êîäîâûå äèñêè. Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ, ïðåäúÿâëÿåìûå ê äåòàëÿì, ñëåäóþùèå:
– ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ìêì 1,5,
– íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû øòðèõîâ, ìêì
0,3,
– óãëîâàÿ ïîãðåøíîñòü ðàñïîëîæåíèÿ äèàìåòðîâ îñåé øòðèõîâ, óãë. ñ
± 1,5,
– êëàññ ÷èñòîòû (ÃÎÑÒ 11141) – äèàìåòð øêàëû, ìì
îò 0–10, äî 100,
– íèçêàÿ äåôåêòíîñòü (óòîëùåíèÿ è ðàçðûâû) ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè,
– ìàñêèðóþùåå ïîêðûòèå
õðîì.
Ñîñòîÿíèå ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë äî åãî ìîäåðíèçàöèè
Ðàññìîòðèì ñóùåñòâîâàâøèå íà ïðåäïðèÿòèè â òå÷åíèå äëèòåëüíîãî âðåìåíè ñïîñîáû èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé.
1. Ãåîäåçè÷åñêèå ëèìáû èçãîòàâëèâàëèñü ìåõàíè÷åñêèì äåëåíèåì ïî ëàêîâîìó ïîêðûòèþ íà êðóãîâûõ äåëèòåëüíûõ ìàøèíàõ òèïà TKF ñ ïîñëåäóþùèì íàïûëåíèåì õðîìà; îöèôðîâêà ïðîèçâîäèëàñü ïî âîñêîâîìó çàùèòíîìó ïîêðûòèþ ñ ïîñëå-
äóþùèì òðàâëåíèåì â ïàðàõ ïëàâèêîâîé êèñëîòû è çàïóñêîì. Ýòîò ñïîñîá õàðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé óãëîâîé òî÷íîñòüþ ðàñïîëîæåíèÿ øòðèõîâ (ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà øòðèõà ñîñòàâëÿåò 1,5 ìêì). Îñíîâíûìè íåäîñòàòêàìè ñïîñîáà ÿâëÿþòñÿ äâóõñòàäèéíîñòü èçãîòîâëåíèÿ è, ñëåäîâàòåëüíî, áîëüøàÿ òðóäîåìêîñòü; ïëîõîå êà÷åñòâî öèôð, îáóñëîâëåííîå êàê ñàìèì ïðîöåññîì îöèôðîâêè ïî âîñêîâîìó ïîêðûòèþ, òàê è òðàâëåíèåì â ïàðàõ ïëàâèêîâîé êèñëîòû; íèçêèé âûõîä ãîòîâûõ ëèìáîâ (ìåíåå 50%); âðåä, íàíîñèìûé îêðóæàþùåé ñðåäå â ðåçóëüòàòå èñïîëüçîâàíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû. Êðîìå òîãî, êðóãîâûå äåëèòåëüíûå ìàøèíû èìåþò ñèëüíûé ôèçè÷åñêèé èçíîñ.
2. Óãëîâûå ðàñòðû è ìíîãîðàçðÿäíûå êîäîâûå äèñêè èçãîòàâëèâàëèñü ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ ïîñëåäóþùèì òðàâëåíèåì õðîìà. Ê íåäîñòàòêàì ýòîãî ñïîñîáà ìîæíî îòíåñòè íåâîçìîæíîñòü èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé, èìåþùèõ ýëåìåíòû òîïîëîãèè ðàçìåðîì ìåíåå 5 ìêì; óãëîâóþ ïîãðåøíîñòü ðàñïîëîæåíèÿ äèàìåòðîâ îñåé øòðèõîâ, ñîñòàâëÿþùóþ ± 3″; äîïóñê íà ëèíåéíûå ðàçìåðû ± 1,5 ìêì, íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû øòðèõîâ 1 ìêì, ñëîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ êëàññà ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè áîëåå âûñîêîãî, ÷åì II, âñëåäñòâèå èñïîëüçîâàíèÿ àãðåññèâíûõ òðàâÿùèõ ðàñòâîðîâ.
Òàêèì îáðàçîì, ìîäåðíèçàöèÿ ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë äîëæíà áûëà ðåøèòü ñëåäóþùèå çàäà÷è:
– çàìåíèòü ôèçè÷åñêè è ìîðàëüíî óñòàðåâøåå îáîðóäîâàíèå,
– ðàçðàáîòàòü óíèâåðñàëüíóþ òåõíîëîãèþ, ïîçâîëÿþùóþ èçãîòàâëèâàòü âñþ èìåþùóþñÿ íîìåíêëàòóðó äåòàëåé, ñîîòâåòñòâóþùèõ òåõíè÷åñêèì òðåáîâàíèÿì,
92 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 4, 2008
– îòêàçàòüñÿ îò èñïîëüçîâàíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû,
– ïîâûñèòü êà÷åñòâî äåòàëåé, óìåíüøèòü ëèíåéíûå è óãëîâûå ïîãðåøíîñòè;
– óâåëè÷èòü âûõîä ãîäíûõ äåòàëåé, – ñíèçèòü çàòðàòû íà ïðîèçâîäñòâî äåòàëåé.
Ìîäåðíèçàöèÿ ïðîèçâîäñòâà
Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé ïðåäëàãàëîñü ïðèìåíèòü ìåòîä îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè, èñïîëüçóÿ ïðîåêöèîííûå óñòàíîâêè, ñ ìàñøòàáîì 1:1 è äèàìåòðîì ïîëÿ èçîáðàæåíèÿ 90 ìì [1]. Óêàçàííûé ñïîñîá, ïî ìíåíèþ àâòîðà, ïðèâîäèò ê êîðåííîìó óëó÷øåíèþ òåõíîëîãèè ïî ñðàâíåíèþ ñ êîíòàêòíûì ñïîñîáîì. Ê ïðåèìóùåñòâàì ñïîñîáà ìîæíî îòíåñòè îòñóòñòâèå èçíîñà ôîòîøàáëîíîâ è óìåíüøåíèå íåðîâíîñòè êðàÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ê íåäîñòàòêàì – âûñîêóþ ñòîèìîñòü ïðîåêöèîííûõ ýêñïîíèðóþùèõ óñòàíîâîê, à òàêæå ñïåöèàëèçàöèþ óñòàíîâîê, ò. å. ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé 2 ìêì ìîæíî ïîëó÷àòü òîëüêî â óçêîì êîëüöå. Êðîìå òîãî, óñòàíîâêè òðåáóþò âûñîêóþ ñòàáèëüíîñòü ïîääåðæàíèÿ òåìïåðàòóðû â ïîìåùåíèè êàê âî âðåìÿ ðàáîòû, òàê è â ïðîìåæóòêàõ ìåæäó ðàáî÷èìè ïåðèîäàìè. Ïðîåêöèîííûé ñïîñîá ýêñïîíèðîâàíèÿ ìîæíî ñ÷èòàòü öåëåñîîáðàçíûì â ñëó÷àå âûñîêîé ñòîèìîñòè ôîòîøàáëîíîâ. Ñïîñîá èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ, îïèñàííûé â [2], îáóñëîâëèâàåò, ïî-âèäèìîìó, èõ âûñîêóþ ñòîèìîñòü.
Ñ öåëüþ ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë áûëà ðàçðàáîòàíà òåõíîëîãè÷åñêàÿ ñõåìà, ïîçâîëÿþùàÿ èñïîëüçîâàòü îòå÷åñòâåííîå îáîðóäîâàíèå, â òîì ÷èñëå îáîðóäîâàíèå, âûïóñêàåìîå äëÿ ìèêðîýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííîñòè (ñì. ðèñóíîê). Ãëàâíîå îòëè÷èå îò òåõíîëîãèè, ðàññìîòðåííîé â [1, 2], çàêëþ÷àåòñÿ â íåîáõîäèìîñòè íàëè÷èÿ âûñîêîïðîèçâîäèòåëüíîãî îáîðóäîâà-
íèÿ äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ äåòàëåé è, ñëåäîâàòåëüíî, â âîçìîæíîñòè èñïîëüçîâàíèÿ êîíòàêòíûõ ýêñïîíèðóþùèõ óñòàíîâîê. Ïðèîáðåòåíèå ëàçåðíîãî ãåíåðàòîðà èçîáðàæåíèé ìîäåëè CLWS300, ðàáîòàþùåãî â ïîëÿðíûõ êîîðäèíàòàõ, è âíåäðåíèå íà ïðåäïðèÿòèè òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ ñòàëè ïåðâûì ýòàïîì ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà îïòè÷åñêèõ øêàë [3], ÷òî ïîçâîëèëî îñóùåñòâèòü ìåðîïðèÿòèÿ, îòìå÷åííûå â ëåâîé ÷àñòè ðèñóíêà. Ñ ïîìîùüþ ãåíåðàòîðà èçîáðàæåíèé èçãîòàâëèâàþòñÿ â íåîáõîäèìîì êîëè÷åñòâå ôîòîøàáëîíû äëÿ âñåé íîìåíêëàòóðû äåòàëåé, îáåñïå÷èâàþùèå âûïîëíåíèå âñåõ ïðåäúÿâëÿåìûõ ê íèì òåõíè÷åñêèõ òðåáîâàíèé.
Ïðè âûïîëíåíèè âòîðîãî ýòàïà ìîäåðíèçàöèè â êà÷åñòâå îñíîâíîé òåõíîëîãèè áûëà âûáðàíà îáðàòíàÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì êîíòàêòíîãî ñïîñîáà ýêñïîíèðîâàíèÿ. Îáðàòíàÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ ïî ñðàâíåíèþ ñ ôîòîëèòîãðàôèåé ñ òðàâëåíèåì (õèìè÷åñêèì) õðîìà èìååò ðÿä ïðåèìóùåñòâ, ïåðå÷èñëåííûõ íèæå.
1. Íèçêîå îòðàæåíèå ýêñïîíèðóþùåãî èçëó÷åíèÿ îò ñòåêëÿííîé ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè (4%) ïî ñðàâíåíèþ ñ îòðàæåíèåì õðîìèðîâàííîé ïîâåðõíîñòüþ (50%). Ýòî ñïîñîáñòâóåò áîëåå òî÷íîé ïåðåäà÷å èçîáðàæåíèÿ.
2. Îòñóòñòâóåò èçìåíåíèå ðàçìåðîâ òîïîëîãèè, ñâÿçàííîå ñ òðàâëåíèåì õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ è òåðìîîáðàáîòêîé ïåðåä òðàâëåíèåì. Õèìè÷åñêèé ñîñòàâ è ñâîéñòâà õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ íå âëèÿþò íà ëèíåéíûå ðàçìåðû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè. Àäãåçèîííûå ñâîéñòâà ôîòîðåçèñòà è ïîäëîæêè â ìåíüøåé ñòåïåíè âëèÿþò íà òî÷íîñòü âîñïðîèçâåäåíèÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, òàê êàê â ñëó÷àå òðàâëåíèÿ õðîìà âîçìîæíî ïðîíèêíîâåíèå òðàâÿùåãî ðàñòâîðà ïîä êðàé ôîòîðåçèñòèâíîãî ïîêðûòèÿ.
3. Ïîâåðõíîñòü äåòàëè íå ïîäâåðãàåòñÿ âîçäåéñòâèþ àãðåññèâíîãî òðàâÿùåãî ðàñòâîðà, ÷òî ñïî-
Ïðîèçâîäñòâî ôîòîøàáëîíîâ
Ëàçåðíûé ãåíåðàòîð èçîáðàæåíèé
Êîíòðîëü äåôåêòíîñòè, óãëîâûõ è ëèíåéíûõ ïàðàìåòðîâ
“×èñòîå ïîìåùåíèå”
Òåõíîëîãè÷åñêàÿ ñõåìà ïðîèçâîäñòâà äåòàëåé. “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 4, 2008
Ïðîèçâîäñòâî äåòàëåé
Ïîäãîòîâêà ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê, íàíåñåíèå ôîòîðåçèñòà,
òåðìîîáðàáîòêà
Êîíòàêòíîå ýêñïîíèðîâàíèå
Ïðîÿâëåíèå, òåðìîîáðàáîòêà, íàïûëåíèå õðîìà, ñíÿòèå ôîòîðåçèñòà
Êîíòðîëü
“×èñòûå ïîìåùåíèÿ” 93
ñîáñòâóåò ñîõðàíåíèþ êëàññà ÷èñòîòû ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè.
Äëÿ ðåàëèçàöèè âòîðîãî ýòàïà íà ïðåäïðèÿòèè áûë ðàçðàáîòàí ïðîåêò íîâîãî ó÷àñòêà ôîòîëèòîãðàôèè. Ïðè ýòîì áûëè ðàçðàáîòàíû òåõíîëîãè÷åñêèé ìàðøðóò èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé, ïëàíèðîâêà ó÷àñòêà, áûë îïðåäåëåí íàáîð îáîðóäîâàíèÿ è ïðèáîðîâ, ðàçðàáîòàíû òåõíè÷åñêèå çàäàíèÿ íà ïðîåêòèðîâàíèå è èçãîòîâëåíèå îáîðóäîâàíèÿ. Òàêæå ïî òåõíè÷åñêîìó çàäàíèþ ïðåäïðèÿòèÿ áûëè ñïðîåêòèðîâàíû, èçãîòîâëåíû è ñìîíòèðîâàíû “÷èñòûå ïîìåùåíèÿ” äëÿ ó÷àñòêà, ÷òî ÿâëÿåòñÿ íåîáõîäèìûì óñëîâèåì ïðè èçãîòîâëåíèè äåòàëåé. Çàêàçû íà ïðîåêòèðîâàíèå è èçãîòîâëåíèå îáîðóäîâàíèÿ áûëè ðàçìåùåíû íà îòå÷åñòâåííûõ ïðåäïðèÿòèÿõ.
Ãåîäåçè÷åñêèå ëèìáû
Ïîñëå ïîëó÷åíèÿ îáîðóäîâàíèÿ, ïðîâåäåíèÿ ïðèåìîñäàòî÷íûõ èñïûòàíèé, îòðàáîòêè è âíåäðåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà âñÿ íîìåíêëàòóðà ãåîäåçè÷åñêèõ ëèìáîâ áûëà ïåðåâåäåíà íà èçãîòîâëåíèå äåòàëåé ìåòîäîì îáðàòíîé êîíòàêòíîé ôîòîëèòîãðàôèè. Ïðè ýòîì áûëè ðåøåíû ñëåäóþùèå çàäà÷è:
1) çàìåíåíî óñòàðåâøåå äåëèòåëüíî-ãðàâåðíîå îáîðóäîâàíèå, îñâîáîæäåíî îêîëî 400 ì2 ïðîèçâîäñòâåííûõ ïëîùàäåé;
2) âûõîä ãîäíûõ äåòàëåé óâåëè÷èëñÿ ñ 50 äî 90%, 3) çà ñ÷åò óëó÷øåíèÿ êà÷åñòâà îöèôðîâêè ïîâûñèëîñü êà÷åñòâî äåòàëåé – íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû îáâîäêè öèôð óìåíüøèëàñü ñ 2,5 äî 0,5 ìêì; 4) â ñâÿçè ñ îòêàçîì îò èñïîëüçîâàíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû óëó÷øåíà ýêîëîãè÷åñêàÿ îáñòàíîâêà è ïîâûøåíà áåçîïàñíîñòü òðóäà, 5) çà ñ÷åò ïîâûøåíèÿ âûõîäà ãîäíûõ äåòàëåé, ñíèæåíèÿ òðóäîåìêîñòè íàíåñåíèÿ øêàëû, çàìåíû ñòåêëà ÁÊ10 íà ñòåêëî Ê8 ñíèæåíû çàòðàòû íà èçãîòîâëåíèå äåòàëåé.
Ðàñòðû è ìíîãîðàçðÿäíûå êîäîâûå äèñêè
Íà “ÓÎÌÇ” è ðîäñòâåííûõ ïðåäïðèÿòèÿõ â òå÷åíèå ìíîãèõ ëåò äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ èñïîëüçóåòñÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ ñ òðàâëåíèåì õðîìà.  ýòîì ñëó÷àå íà ñòåêëÿííóþ ïîäëîæêó íàíîñÿòñÿ íåñêîëüêî ñëîåâ õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ, çàòåì ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ôîðìèðóåòñÿ ôîòîðåçèñòèâíàÿ ìàñêà, ÷åðåç êîòîðóþ ïðîèñõîäèò òðàâëåíèå ïîêðûòèÿ. Øèðîêîå ïðèìåíåíèå òàêîé òåõíîëîãèè îáóñëîâëåíî âîçìîæíîñòüþ èñïîëüçîâàíèÿ ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîìåùåíèé, â êîòîðûõ íå íîðìèðóåòñÿ ÷èñòîòà âîçäóøíîé ñðåäû. Ïðåäïîëàãàåòñÿ, ÷òî â òàêèõ ïîìåùåíèÿõ ìîæíî ïîëó÷èòü
äîñòàòî÷íî õîðîøåå õðîìîâîå ïîêðûòèå, íàíîñÿ åãî â íåñêîëüêî ñëîåâ ñ ïðîìåæóòî÷íûìè ÷èñòêàìè, à òðàâëåíèå õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ óìåíüøàåò ðàçìåðû è êîëè÷åñòâî äåôåêòîâ, ñâÿçàííûõ ñ çàãðÿçíåíèÿìè ðàçíîãî ðîäà.
Èçãîòîâëåíèå ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ ìåòîäîì îáðàòíîé êîíòàêòíîé ôîòîëèòîãðàôèè ïîêàçàëî öåëåñîîáðàçíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ óêàçàííîãî ìåòîäà, ÷òî ïîäòâåðæäàåòñÿ ñëåäóþùèì:
1) óãëîâûå ïîãðåøíîñòè ðàñïîëîæåíèÿ äèàìåòðîâ îñåé øòðèõîâ óìåíüøèëèñü â äâà ðàçà è ñîñòàâèëè ± 1,5″ äëÿ äèàìåòðà 90 ìì,
2) îòêëîíåíèå ëèíåéíîãî ðàçìåðà ýëåìåíòà òîïîëîãèè îòíîñèòåëüíî ñîîòâåòñòâóþùåãî ðàçìåðà íà ôîòîøàáëîíå ñîñòàâëÿåò ± 0,3 ìêì,
3) íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû øòðèõîâ ñîñòàâèëà 0,3 ìêì,
4) äåôåêòíîñòü õðîìîâîãî ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ (ïëîùàäü äåôåêòîâ) óìåíüøèëàñü â íåñêîëüêî ðàç.
Íà ìåòîä îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè ïåðåâåäåíî èçãîòîâëåíèå ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ, êîòîðûå èìåþò ïîâûøåííûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè.
Çàêëþ÷åíèå
 ðåçóëüòàòå ïðîâåäåíèÿ ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë
– ðàçðàáîòàíà óíèâåðñàëüíàÿ òåõíîëîãèÿ, ïîçâîëÿþùàÿ èçãîòàâëèâàòü âñþ èìåþùóþñÿ íîìåíêëàòóðó äåòàëåé;
– óñòàðåâøåå äåëèòåëüíî-ãðàâåðíîå îáîðóäîâàíèå çàìåíåíî íà ñîâðåìåííîå ôîòîëèòîãðàôè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå, ðàçìåùåííîå â “÷èñòûõ ïîìåùåíèÿõ”;
– ïîâûøåíî êà÷åñòâî äåòàëåé, óìåíüøåíû ëèíåéíûå è óãëîâûå ïîãðåøíîñòè;
– óâåëè÷åí âûõîä ãîäíûõ äåòàëåé, ñíèæåíû çàòðàòû íà ïðîèçâîäñòâî äåòàëåé;
– ïëàâèêîâàÿ êèñëîòà áîëåå íå èñïîëüçóåòñÿ â ïðîèçâîäñòâå äåòàëåé.
ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ
11. Ôàéò Ê. Óñòàíîâêà ïðîåêöèîííîãî ýêñïîíèðîâàíèÿ äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ëèìáîâ âûñîêîé òî÷íîñòè // Éåíñêîå îáîçðåíèå. 1977. ¹ 1. Ñ. 21, 22.
12. Øóõàðäò Ã. Íîâûé ïðèáîðíûé êîìïëåêñ äëÿ èçãîòîâëåíèÿ âûñîêîòî÷íûõ êðóãîâûõ øêàë // Éåíñêîå îáîçðåíèå. 1986. ¹ 2 Ñ. 92–94, 102.
13. Àáðàìîâ Þ.Ô., Êèðüÿíîâ Â.Ï., Êèðüÿíîâ À.Â., Êîêàðåâ Ñ.À., Êðó÷èíèí Ä.Þ., ×óãóé Þ.Â., ßêîâëåâ Î.Á. Ìîäåðíèçàöèÿ îïòè÷åñêîãî äåëèòåëüíîãî ïðîèçâîäñòâà óðàëüñêîãî îïòèêî-ìåõàíè÷åñêîãî çàâîäà íà îñíîâå ñîâðåìåííûõ ëàçåðíî-êîìïüþòåðíûõ è ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé // Îïòè÷åñêèé æóðíàë. 2006. Ò. 73. ¹ 8. Ñ. 61–65.
94 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 4, 2008
ÓÄÊ 53.087.92 + 681.7.064
ÔÎÒÎËÈÒÎÃÐÀÔÈß Â ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÅ ÊÐÓÃÎÂÛÕ ÎÏÒÈ×ÅÑÊÈÕ ØÊÀË ÍÀ ÓÐÀËÜÑÊÎÌ ÎÏÒÈÊÎ-ÌÅÕÀÍÈ×ÅÑÊÎÌ ÇÀÂÎÄÅ
© 2008 ã. Ä. Þ. Êðó÷èíèí, êàíä. òåõí. íàóê Ïðîèçâîäñòâåííîå îáúåäèíåíèå “Óðàëüñêèé îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèé çàâîä” èìåíè Ý.Ñ. ßëàìîâà”, ã. Åêàòåðèíáóðã
Ðàññìîòðåíû âîïðîñû ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë. Ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà è âíåäðåíèÿ òåõíîëîãèè îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ãåîäåçè÷åñêèõ ëèìáîâ, ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ.
Êîäû OCIS: 110.5220.
Ïîñòóïèëà â ðåäàêöèþ 29.01.2007.
Ââåäåíèå
 ñâÿçè ñ òåì, ÷òî ÏÎ “ÓÎÌÇ” ÿâëÿåòñÿ âåäóùèì ïðåäïðèÿòèåì ïî èçãîòîâëåíèþ ãåîäåçè÷åñêèõ ïðèáîðîâ, îñîáîå âíèìàíèå íà ïðåäïðèÿòèè óäåëÿåòñÿ ñîâåðøåíñòâîâàíèþ òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë (äåòàëåé). Áîëüøàÿ íîìåíêëàòóðà âûïóñêàåìûõ ïðèáîðîâ îáóñëîâèëà è áîëüøîå ðàçíîîáðàçèå èçãîòàâëèâàåìûõ äåòàëåé. Ê íèì îòíîñÿòñÿ ãåîäåçè÷åñêèå ëèìáû (îöèôðîâàííûå øòðèõè), óãëîâûå ðàñòðû è ìíîãîðàçðÿäíûå êîäîâûå äèñêè. Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ, ïðåäúÿâëÿåìûå ê äåòàëÿì, ñëåäóþùèå:
– ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ìêì 1,5,
– íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû øòðèõîâ, ìêì
0,3,
– óãëîâàÿ ïîãðåøíîñòü ðàñïîëîæåíèÿ äèàìåòðîâ îñåé øòðèõîâ, óãë. ñ
± 1,5,
– êëàññ ÷èñòîòû (ÃÎÑÒ 11141) – äèàìåòð øêàëû, ìì
îò 0–10, äî 100,
– íèçêàÿ äåôåêòíîñòü (óòîëùåíèÿ è ðàçðûâû) ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè,
– ìàñêèðóþùåå ïîêðûòèå
õðîì.
Ñîñòîÿíèå ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë äî åãî ìîäåðíèçàöèè
Ðàññìîòðèì ñóùåñòâîâàâøèå íà ïðåäïðèÿòèè â òå÷åíèå äëèòåëüíîãî âðåìåíè ñïîñîáû èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé.
1. Ãåîäåçè÷åñêèå ëèìáû èçãîòàâëèâàëèñü ìåõàíè÷åñêèì äåëåíèåì ïî ëàêîâîìó ïîêðûòèþ íà êðóãîâûõ äåëèòåëüíûõ ìàøèíàõ òèïà TKF ñ ïîñëåäóþùèì íàïûëåíèåì õðîìà; îöèôðîâêà ïðîèçâîäèëàñü ïî âîñêîâîìó çàùèòíîìó ïîêðûòèþ ñ ïîñëå-
äóþùèì òðàâëåíèåì â ïàðàõ ïëàâèêîâîé êèñëîòû è çàïóñêîì. Ýòîò ñïîñîá õàðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé óãëîâîé òî÷íîñòüþ ðàñïîëîæåíèÿ øòðèõîâ (ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà øòðèõà ñîñòàâëÿåò 1,5 ìêì). Îñíîâíûìè íåäîñòàòêàìè ñïîñîáà ÿâëÿþòñÿ äâóõñòàäèéíîñòü èçãîòîâëåíèÿ è, ñëåäîâàòåëüíî, áîëüøàÿ òðóäîåìêîñòü; ïëîõîå êà÷åñòâî öèôð, îáóñëîâëåííîå êàê ñàìèì ïðîöåññîì îöèôðîâêè ïî âîñêîâîìó ïîêðûòèþ, òàê è òðàâëåíèåì â ïàðàõ ïëàâèêîâîé êèñëîòû; íèçêèé âûõîä ãîòîâûõ ëèìáîâ (ìåíåå 50%); âðåä, íàíîñèìûé îêðóæàþùåé ñðåäå â ðåçóëüòàòå èñïîëüçîâàíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû. Êðîìå òîãî, êðóãîâûå äåëèòåëüíûå ìàøèíû èìåþò ñèëüíûé ôèçè÷åñêèé èçíîñ.
2. Óãëîâûå ðàñòðû è ìíîãîðàçðÿäíûå êîäîâûå äèñêè èçãîòàâëèâàëèñü ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ ïîñëåäóþùèì òðàâëåíèåì õðîìà. Ê íåäîñòàòêàì ýòîãî ñïîñîáà ìîæíî îòíåñòè íåâîçìîæíîñòü èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé, èìåþùèõ ýëåìåíòû òîïîëîãèè ðàçìåðîì ìåíåå 5 ìêì; óãëîâóþ ïîãðåøíîñòü ðàñïîëîæåíèÿ äèàìåòðîâ îñåé øòðèõîâ, ñîñòàâëÿþùóþ ± 3″; äîïóñê íà ëèíåéíûå ðàçìåðû ± 1,5 ìêì, íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû øòðèõîâ 1 ìêì, ñëîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ êëàññà ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè áîëåå âûñîêîãî, ÷åì II, âñëåäñòâèå èñïîëüçîâàíèÿ àãðåññèâíûõ òðàâÿùèõ ðàñòâîðîâ.
Òàêèì îáðàçîì, ìîäåðíèçàöèÿ ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë äîëæíà áûëà ðåøèòü ñëåäóþùèå çàäà÷è:
– çàìåíèòü ôèçè÷åñêè è ìîðàëüíî óñòàðåâøåå îáîðóäîâàíèå,
– ðàçðàáîòàòü óíèâåðñàëüíóþ òåõíîëîãèþ, ïîçâîëÿþùóþ èçãîòàâëèâàòü âñþ èìåþùóþñÿ íîìåíêëàòóðó äåòàëåé, ñîîòâåòñòâóþùèõ òåõíè÷åñêèì òðåáîâàíèÿì,
92 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 4, 2008
– îòêàçàòüñÿ îò èñïîëüçîâàíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû,
– ïîâûñèòü êà÷åñòâî äåòàëåé, óìåíüøèòü ëèíåéíûå è óãëîâûå ïîãðåøíîñòè;
– óâåëè÷èòü âûõîä ãîäíûõ äåòàëåé, – ñíèçèòü çàòðàòû íà ïðîèçâîäñòâî äåòàëåé.
Ìîäåðíèçàöèÿ ïðîèçâîäñòâà
Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé ïðåäëàãàëîñü ïðèìåíèòü ìåòîä îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè, èñïîëüçóÿ ïðîåêöèîííûå óñòàíîâêè, ñ ìàñøòàáîì 1:1 è äèàìåòðîì ïîëÿ èçîáðàæåíèÿ 90 ìì [1]. Óêàçàííûé ñïîñîá, ïî ìíåíèþ àâòîðà, ïðèâîäèò ê êîðåííîìó óëó÷øåíèþ òåõíîëîãèè ïî ñðàâíåíèþ ñ êîíòàêòíûì ñïîñîáîì. Ê ïðåèìóùåñòâàì ñïîñîáà ìîæíî îòíåñòè îòñóòñòâèå èçíîñà ôîòîøàáëîíîâ è óìåíüøåíèå íåðîâíîñòè êðàÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ê íåäîñòàòêàì – âûñîêóþ ñòîèìîñòü ïðîåêöèîííûõ ýêñïîíèðóþùèõ óñòàíîâîê, à òàêæå ñïåöèàëèçàöèþ óñòàíîâîê, ò. å. ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé 2 ìêì ìîæíî ïîëó÷àòü òîëüêî â óçêîì êîëüöå. Êðîìå òîãî, óñòàíîâêè òðåáóþò âûñîêóþ ñòàáèëüíîñòü ïîääåðæàíèÿ òåìïåðàòóðû â ïîìåùåíèè êàê âî âðåìÿ ðàáîòû, òàê è â ïðîìåæóòêàõ ìåæäó ðàáî÷èìè ïåðèîäàìè. Ïðîåêöèîííûé ñïîñîá ýêñïîíèðîâàíèÿ ìîæíî ñ÷èòàòü öåëåñîîáðàçíûì â ñëó÷àå âûñîêîé ñòîèìîñòè ôîòîøàáëîíîâ. Ñïîñîá èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ, îïèñàííûé â [2], îáóñëîâëèâàåò, ïî-âèäèìîìó, èõ âûñîêóþ ñòîèìîñòü.
Ñ öåëüþ ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë áûëà ðàçðàáîòàíà òåõíîëîãè÷åñêàÿ ñõåìà, ïîçâîëÿþùàÿ èñïîëüçîâàòü îòå÷åñòâåííîå îáîðóäîâàíèå, â òîì ÷èñëå îáîðóäîâàíèå, âûïóñêàåìîå äëÿ ìèêðîýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííîñòè (ñì. ðèñóíîê). Ãëàâíîå îòëè÷èå îò òåõíîëîãèè, ðàññìîòðåííîé â [1, 2], çàêëþ÷àåòñÿ â íåîáõîäèìîñòè íàëè÷èÿ âûñîêîïðîèçâîäèòåëüíîãî îáîðóäîâà-
íèÿ äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ äåòàëåé è, ñëåäîâàòåëüíî, â âîçìîæíîñòè èñïîëüçîâàíèÿ êîíòàêòíûõ ýêñïîíèðóþùèõ óñòàíîâîê. Ïðèîáðåòåíèå ëàçåðíîãî ãåíåðàòîðà èçîáðàæåíèé ìîäåëè CLWS300, ðàáîòàþùåãî â ïîëÿðíûõ êîîðäèíàòàõ, è âíåäðåíèå íà ïðåäïðèÿòèè òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ ñòàëè ïåðâûì ýòàïîì ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà îïòè÷åñêèõ øêàë [3], ÷òî ïîçâîëèëî îñóùåñòâèòü ìåðîïðèÿòèÿ, îòìå÷åííûå â ëåâîé ÷àñòè ðèñóíêà. Ñ ïîìîùüþ ãåíåðàòîðà èçîáðàæåíèé èçãîòàâëèâàþòñÿ â íåîáõîäèìîì êîëè÷åñòâå ôîòîøàáëîíû äëÿ âñåé íîìåíêëàòóðû äåòàëåé, îáåñïå÷èâàþùèå âûïîëíåíèå âñåõ ïðåäúÿâëÿåìûõ ê íèì òåõíè÷åñêèõ òðåáîâàíèé.
Ïðè âûïîëíåíèè âòîðîãî ýòàïà ìîäåðíèçàöèè â êà÷åñòâå îñíîâíîé òåõíîëîãèè áûëà âûáðàíà îáðàòíàÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì êîíòàêòíîãî ñïîñîáà ýêñïîíèðîâàíèÿ. Îáðàòíàÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ ïî ñðàâíåíèþ ñ ôîòîëèòîãðàôèåé ñ òðàâëåíèåì (õèìè÷åñêèì) õðîìà èìååò ðÿä ïðåèìóùåñòâ, ïåðå÷èñëåííûõ íèæå.
1. Íèçêîå îòðàæåíèå ýêñïîíèðóþùåãî èçëó÷åíèÿ îò ñòåêëÿííîé ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè (4%) ïî ñðàâíåíèþ ñ îòðàæåíèåì õðîìèðîâàííîé ïîâåðõíîñòüþ (50%). Ýòî ñïîñîáñòâóåò áîëåå òî÷íîé ïåðåäà÷å èçîáðàæåíèÿ.
2. Îòñóòñòâóåò èçìåíåíèå ðàçìåðîâ òîïîëîãèè, ñâÿçàííîå ñ òðàâëåíèåì õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ è òåðìîîáðàáîòêîé ïåðåä òðàâëåíèåì. Õèìè÷åñêèé ñîñòàâ è ñâîéñòâà õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ íå âëèÿþò íà ëèíåéíûå ðàçìåðû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè. Àäãåçèîííûå ñâîéñòâà ôîòîðåçèñòà è ïîäëîæêè â ìåíüøåé ñòåïåíè âëèÿþò íà òî÷íîñòü âîñïðîèçâåäåíèÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, òàê êàê â ñëó÷àå òðàâëåíèÿ õðîìà âîçìîæíî ïðîíèêíîâåíèå òðàâÿùåãî ðàñòâîðà ïîä êðàé ôîòîðåçèñòèâíîãî ïîêðûòèÿ.
3. Ïîâåðõíîñòü äåòàëè íå ïîäâåðãàåòñÿ âîçäåéñòâèþ àãðåññèâíîãî òðàâÿùåãî ðàñòâîðà, ÷òî ñïî-
Ïðîèçâîäñòâî ôîòîøàáëîíîâ
Ëàçåðíûé ãåíåðàòîð èçîáðàæåíèé
Êîíòðîëü äåôåêòíîñòè, óãëîâûõ è ëèíåéíûõ ïàðàìåòðîâ
“×èñòîå ïîìåùåíèå”
Òåõíîëîãè÷åñêàÿ ñõåìà ïðîèçâîäñòâà äåòàëåé. “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 4, 2008
Ïðîèçâîäñòâî äåòàëåé
Ïîäãîòîâêà ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê, íàíåñåíèå ôîòîðåçèñòà,
òåðìîîáðàáîòêà
Êîíòàêòíîå ýêñïîíèðîâàíèå
Ïðîÿâëåíèå, òåðìîîáðàáîòêà, íàïûëåíèå õðîìà, ñíÿòèå ôîòîðåçèñòà
Êîíòðîëü
“×èñòûå ïîìåùåíèÿ” 93
ñîáñòâóåò ñîõðàíåíèþ êëàññà ÷èñòîòû ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè.
Äëÿ ðåàëèçàöèè âòîðîãî ýòàïà íà ïðåäïðèÿòèè áûë ðàçðàáîòàí ïðîåêò íîâîãî ó÷àñòêà ôîòîëèòîãðàôèè. Ïðè ýòîì áûëè ðàçðàáîòàíû òåõíîëîãè÷åñêèé ìàðøðóò èçãîòîâëåíèÿ äåòàëåé, ïëàíèðîâêà ó÷àñòêà, áûë îïðåäåëåí íàáîð îáîðóäîâàíèÿ è ïðèáîðîâ, ðàçðàáîòàíû òåõíè÷åñêèå çàäàíèÿ íà ïðîåêòèðîâàíèå è èçãîòîâëåíèå îáîðóäîâàíèÿ. Òàêæå ïî òåõíè÷åñêîìó çàäàíèþ ïðåäïðèÿòèÿ áûëè ñïðîåêòèðîâàíû, èçãîòîâëåíû è ñìîíòèðîâàíû “÷èñòûå ïîìåùåíèÿ” äëÿ ó÷àñòêà, ÷òî ÿâëÿåòñÿ íåîáõîäèìûì óñëîâèåì ïðè èçãîòîâëåíèè äåòàëåé. Çàêàçû íà ïðîåêòèðîâàíèå è èçãîòîâëåíèå îáîðóäîâàíèÿ áûëè ðàçìåùåíû íà îòå÷åñòâåííûõ ïðåäïðèÿòèÿõ.
Ãåîäåçè÷åñêèå ëèìáû
Ïîñëå ïîëó÷åíèÿ îáîðóäîâàíèÿ, ïðîâåäåíèÿ ïðèåìîñäàòî÷íûõ èñïûòàíèé, îòðàáîòêè è âíåäðåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà âñÿ íîìåíêëàòóðà ãåîäåçè÷åñêèõ ëèìáîâ áûëà ïåðåâåäåíà íà èçãîòîâëåíèå äåòàëåé ìåòîäîì îáðàòíîé êîíòàêòíîé ôîòîëèòîãðàôèè. Ïðè ýòîì áûëè ðåøåíû ñëåäóþùèå çàäà÷è:
1) çàìåíåíî óñòàðåâøåå äåëèòåëüíî-ãðàâåðíîå îáîðóäîâàíèå, îñâîáîæäåíî îêîëî 400 ì2 ïðîèçâîäñòâåííûõ ïëîùàäåé;
2) âûõîä ãîäíûõ äåòàëåé óâåëè÷èëñÿ ñ 50 äî 90%, 3) çà ñ÷åò óëó÷øåíèÿ êà÷åñòâà îöèôðîâêè ïîâûñèëîñü êà÷åñòâî äåòàëåé – íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû îáâîäêè öèôð óìåíüøèëàñü ñ 2,5 äî 0,5 ìêì; 4) â ñâÿçè ñ îòêàçîì îò èñïîëüçîâàíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû óëó÷øåíà ýêîëîãè÷åñêàÿ îáñòàíîâêà è ïîâûøåíà áåçîïàñíîñòü òðóäà, 5) çà ñ÷åò ïîâûøåíèÿ âûõîäà ãîäíûõ äåòàëåé, ñíèæåíèÿ òðóäîåìêîñòè íàíåñåíèÿ øêàëû, çàìåíû ñòåêëà ÁÊ10 íà ñòåêëî Ê8 ñíèæåíû çàòðàòû íà èçãîòîâëåíèå äåòàëåé.
Ðàñòðû è ìíîãîðàçðÿäíûå êîäîâûå äèñêè
Íà “ÓÎÌÇ” è ðîäñòâåííûõ ïðåäïðèÿòèÿõ â òå÷åíèå ìíîãèõ ëåò äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ èñïîëüçóåòñÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ ñ òðàâëåíèåì õðîìà.  ýòîì ñëó÷àå íà ñòåêëÿííóþ ïîäëîæêó íàíîñÿòñÿ íåñêîëüêî ñëîåâ õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ, çàòåì ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ôîðìèðóåòñÿ ôîòîðåçèñòèâíàÿ ìàñêà, ÷åðåç êîòîðóþ ïðîèñõîäèò òðàâëåíèå ïîêðûòèÿ. Øèðîêîå ïðèìåíåíèå òàêîé òåõíîëîãèè îáóñëîâëåíî âîçìîæíîñòüþ èñïîëüçîâàíèÿ ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîìåùåíèé, â êîòîðûõ íå íîðìèðóåòñÿ ÷èñòîòà âîçäóøíîé ñðåäû. Ïðåäïîëàãàåòñÿ, ÷òî â òàêèõ ïîìåùåíèÿõ ìîæíî ïîëó÷èòü
äîñòàòî÷íî õîðîøåå õðîìîâîå ïîêðûòèå, íàíîñÿ åãî â íåñêîëüêî ñëîåâ ñ ïðîìåæóòî÷íûìè ÷èñòêàìè, à òðàâëåíèå õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ óìåíüøàåò ðàçìåðû è êîëè÷åñòâî äåôåêòîâ, ñâÿçàííûõ ñ çàãðÿçíåíèÿìè ðàçíîãî ðîäà.
Èçãîòîâëåíèå ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ ìåòîäîì îáðàòíîé êîíòàêòíîé ôîòîëèòîãðàôèè ïîêàçàëî öåëåñîîáðàçíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ óêàçàííîãî ìåòîäà, ÷òî ïîäòâåðæäàåòñÿ ñëåäóþùèì:
1) óãëîâûå ïîãðåøíîñòè ðàñïîëîæåíèÿ äèàìåòðîâ îñåé øòðèõîâ óìåíüøèëèñü â äâà ðàçà è ñîñòàâèëè ± 1,5″ äëÿ äèàìåòðà 90 ìì,
2) îòêëîíåíèå ëèíåéíîãî ðàçìåðà ýëåìåíòà òîïîëîãèè îòíîñèòåëüíî ñîîòâåòñòâóþùåãî ðàçìåðà íà ôîòîøàáëîíå ñîñòàâëÿåò ± 0,3 ìêì,
3) íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû øòðèõîâ ñîñòàâèëà 0,3 ìêì,
4) äåôåêòíîñòü õðîìîâîãî ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ (ïëîùàäü äåôåêòîâ) óìåíüøèëàñü â íåñêîëüêî ðàç.
Íà ìåòîä îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè ïåðåâåäåíî èçãîòîâëåíèå ðàñòðîâ è êîäîâûõ äèñêîâ, êîòîðûå èìåþò ïîâûøåííûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè.
Çàêëþ÷åíèå
 ðåçóëüòàòå ïðîâåäåíèÿ ìîäåðíèçàöèè ïðîèçâîäñòâà êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë
– ðàçðàáîòàíà óíèâåðñàëüíàÿ òåõíîëîãèÿ, ïîçâîëÿþùàÿ èçãîòàâëèâàòü âñþ èìåþùóþñÿ íîìåíêëàòóðó äåòàëåé;
– óñòàðåâøåå äåëèòåëüíî-ãðàâåðíîå îáîðóäîâàíèå çàìåíåíî íà ñîâðåìåííîå ôîòîëèòîãðàôè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå, ðàçìåùåííîå â “÷èñòûõ ïîìåùåíèÿõ”;
– ïîâûøåíî êà÷åñòâî äåòàëåé, óìåíüøåíû ëèíåéíûå è óãëîâûå ïîãðåøíîñòè;
– óâåëè÷åí âûõîä ãîäíûõ äåòàëåé, ñíèæåíû çàòðàòû íà ïðîèçâîäñòâî äåòàëåé;
– ïëàâèêîâàÿ êèñëîòà áîëåå íå èñïîëüçóåòñÿ â ïðîèçâîäñòâå äåòàëåé.
ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ
11. Ôàéò Ê. Óñòàíîâêà ïðîåêöèîííîãî ýêñïîíèðîâàíèÿ äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ëèìáîâ âûñîêîé òî÷íîñòè // Éåíñêîå îáîçðåíèå. 1977. ¹ 1. Ñ. 21, 22.
12. Øóõàðäò Ã. Íîâûé ïðèáîðíûé êîìïëåêñ äëÿ èçãîòîâëåíèÿ âûñîêîòî÷íûõ êðóãîâûõ øêàë // Éåíñêîå îáîçðåíèå. 1986. ¹ 2 Ñ. 92–94, 102.
13. Àáðàìîâ Þ.Ô., Êèðüÿíîâ Â.Ï., Êèðüÿíîâ À.Â., Êîêàðåâ Ñ.À., Êðó÷èíèí Ä.Þ., ×óãóé Þ.Â., ßêîâëåâ Î.Á. Ìîäåðíèçàöèÿ îïòè÷åñêîãî äåëèòåëüíîãî ïðîèçâîäñòâà óðàëüñêîãî îïòèêî-ìåõàíè÷åñêîãî çàâîäà íà îñíîâå ñîâðåìåííûõ ëàçåðíî-êîìïüþòåðíûõ è ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé // Îïòè÷åñêèé æóðíàë. 2006. Ò. 73. ¹ 8. Ñ. 61–65.
94 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 4, 2008