Например, Бобцов

Влияние эмиссии электронов на нагрев металлов фемтосекундными лазерными импульсами

УДК 538.971
ВЛИЯНИЕ ЭМИССИИ ЭЛЕКТРОНОВ НА НАГРЕВ МЕТАЛЛОВ ФЕМТОСЕКУНДНЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ИМПУЛЬСАМИ
© 2011 г. Е. Б. Яковлев, доктор техн. наук; О. Н. Сергаева; В. В. Свирина Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
Е-mail: yak@lastech.ifmo.ru
Проведено исследование взаимодействия фемтосекундных лазерных импульсов с металлами с учетом электронной, фото- и термоэмиссии, вызывающих кулоновский взрыв из-за накопления избыточного положительного заряда на поверхности мишени и генерации электрического поля. Установлено, что эмиссия оказывает слабое влияние на теплофизические и оптические свойства твердых тел и поэтому ее можно не учитывать при анализе нагрева металлов фемтосекундными лазерными импульсами.
Ключевые слова: лазерное нагревание, ультракороткие импульсы, электронная фото- и термоэмиссия, кулоновсий взрыв, численное моделирование.
Коды OCIS: 320.2250, 320.7130, 190.4180, 000.3866 Поступила в редакцию 14.02.2011

В связи с развитием лазерных технологий возрастает интерес к процессам, происходящим при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов на вещество [1–5]. Однако экспериментальные исследования и аналитическое описание таких процессов вызывают трудности. В  такой ситуации большие возможности открывает применение численных методов на базе современной вычислительной техники. В  данной работе основное внимание уделено расчету температуры при действии лазерного излучения на вещество. При численном моделировании было учтено, что значительное влияние на динамику температуры оказывает эмиссия электронов, в процессе которой электроны уносят часть энергии, запасенной в  электронном газе, и в результате на нагревание решетки идет меньшая энергия.
Так как длительность воздействия при нагревании металлов фемтосекундными лазер­ ными импульсами значительно меньше времени электрон-ионной релаксации, для расчета температуры необходимо использовать двухтемпературную модель, учитывающую перегрев электронной подсистемы относительно фононной. Энергия излучения сначала поглощается свободными электронами и затем передается ионам за счет соударений. Поэтому кристал­лическая решетка нагревается уже после окончания импульса.

На рис.  1 приведена схема взаимодействия фемтосекундного лазерного излучения с металлом. При нагревании металлов происходит диффузия свободных электронов из глубины материала к поверхности, а затем их эмиссия. Эмитируемые “горячие” электроны уносят часть энергии, запасенной в электронной подсистеме, тем самым уменьшая ее температуру,

Лазерное излучение

Поглощение энергии свободными электронами

Многофотонное поглощение e

Нагревание электронов
Te

Передача энергии от электронов решетке

Термоэлектронная
эмиссия nTh

Фотоэлектронная
эмиссия nPh

Нагревание решетки
Ti

Генерация электрического поля

Е

Плавление

Кулоновский взрыв
Eth

Рис. 1. Взаимодействие лазерного излучения с веществом.

24 “Оптический журнал”, 78, 8, 2011

и в конечном итоге температуру тела в целом. Одновременно с этим изменение концентрации электронов в приповерхностной области приводит к изменению оптических характеристик материала. Толщина эмиссионного слоя ограничена длиной свободного пробега электронов, а также зависит от концентрации элект­ ронов и коэффициента эмиссии.
Температуру материала при нагревании импульсом фемтосекундной длительности можно определить решая систему, состоящую из уравнений теплопроводности для электронов и фононов (решетки) и уравнения, описывающего изменение концентрации электронов во времени. Уравнения теплопроводности описывают транспорт энергии внутри материала. При расчете динамики концентрации свободных носителей учитывается их диффузия, эмиссия с поверхности и изменение оптических свойств металла.
При нагревании тонких пленок диаметр пучка лазерного излучения (100  мкм) намного больше оптической глубины проникновения (100  нм) и глубины проникновения электронов (~ 100  нм), следовательно, процесс нагревания можно описать с помощью одномерной модели.
Температуру тела при нагревании фемтосекундными лазерными импульсами можно вычислить при решении системы уравнений, состоящей из уравнений теплопроводности для электронов и решетки:

ce

(Te, ne )¶¶Tte

-

¶ ¶x

èæçççλTe

(Te, ne

)¶¶Txe

÷ø÷ö÷ =

= -kei (Te, ne )(Te -Ti )+ qν,

ci

¶Ti ¶t

-

¶ ¶x

æççèçλTi

¶Ti ¶x

÷÷÷öø =

kei

(Te,

ne )(Te -Ti

),

(1)

где qν – поглощенная плотность мощности лазерного излучения.
С начальными и граничными условиями:

-λTe (Te, ne )¶¶Txe

= -λTi
x=0

¶Ti ¶x

= 0,
x=0

Te t=0 = Ti t=0 = Tn,

где Tn – начальная температура и уравнения, описывающего изменение концентрации

электронов:

¶n ¶t

=

D

¶2n ¶x2

,

(2)

с начальными и граничными условиями:
ne t=0 = n0, где n0 = 1023 см–3,

ne x=xmax = n0,

D

¶n ¶x

x=0

=

-νe,

где

νe = νTe h + νPe h,

νTe h = BT2exp(AB /(kbT))exp(x/le )/qe – скорость
термоэмиссии электронов, где В  – коэффициент Ричардсона (120  A/cм2K2), АВ  – работа выхода электронов, le – длина свободного пробега электронов, qe – заряд электрона.
При расчете фотоэмиссии считаем, что все
свободные электроны, участвующие в много­
фотонном процессе и достигшие поверхности
без потери энергии, покидают металл. Для
трехфотонного поглощения имеем:
¥
òνePh = σ3J3exp(-x/le )dx 0
– скорость фотоэмиссии электронов (см3/с),
σ3 – сечение трехфотонного поглощения. В литературе значений сечений многофо-
тонного поглощения для металлов найти не
удалось, поэтому мы использовали следующий
способ оценки их значений. Сечение однофо-
тонного поглощения σ1 для металлов может быть определено при известных коэффициен-
те поглощения α и концентрации свободных
­электронов n как σ1  =  α/n. Оценивая время жизни на виртуальном уровне τ0  ~  10–16  с [3], можно определить концентрацию электро-
нов на первом виртуальном уровне n1 = nσ1τ0J. Считая сечение поглощения возбужденных электронов равным σ1, получим σ2  =  σ12nτ0. ­Рассуждая аналогично, придем к σ3  =  σ13nτ02. Для m-фотонного поглощения σm = σ1mnτ0m – 1.
При расчете динамики концентрации сво-
бодных носителей учитываются зависимости
теплофизических [4] и оптических свойств ма-
териала от температуры и концентрации элек-
тронов: электронная теплоемкость ce  =  3nkb/2, теплопроводность электронов λTe  =  νe2τeece/3, коэффициент теплообмена между электрона-
ми и решеткой kei  =  ce/trel, скорость электро-

нов νe = (3kbT/me ), длина свободного пробега
электронов le = (1/neσ 2). Зависимость коэф-
фициента поглощения от концентрации сво­

“Оптический журнал”, 78, 8, 2011

25

q, Вт/см2
1 1014 8 1013 6 1013 4 1013 2 1013
0

(а) 5
0,05 t, пс 0,1

1 T, K 2 3 8000 4
6000
4000

Te, K
50000 40000 30000
20000

2000

10000

0 0,15

0

Te, K
54000
53000 52000 51000 50000
0,12

(б) 1 2
0,13 0,14 t, пс

Рис. 2. Зависимости температуры с учетом эмиссии и без нее от времени. Форма импульса q  = = qmexp(–(t – tm)2/t2m1), tm = 100 фс, tm1 = 50 фс, максимальная плотность мощности qm = 5×1014 Вт/см2, T (3), T (1) – температуры решетки и электронов без учета эмиссии; T emis (2), Teemis (4) – то же с учетом эмиссии (а); увеличенный участок зависимости электронной температуры с учетом эмиссии (2) и без нее (1)от времени (б); (5) – лазерный импульс.

бодных электронов: α(n)  =  (α/nn)n, где nn  – начальная концентрация свободных электронов.
Эмиссия электронов приводит к накоплению положительного заряда на поверхности металла и к возникновению электрического поля. Для расчета электрического поля, создаваемого в результате нарушения квазинейтральности в облученной области, решается уравнение [5]:

¶E ¶x

=

(qe

/(εε0

))(ni

-

ne

).

(3)

Поле, возникшее вследствие разделения за-

рядов, может достигать значений, превышаю-

щих энергию связи атомов, что и приводит к  ку-

лоновскому взрыву. Для определения н­ ачала

кулоновского взрыва электрическое поле (3) сравнивается с критической напряженностью, необходимой для удаления атома из мишени:

Eth x=0 = 2Λatn0 /(εε0 ),

(4)

где n0 – концентрация атомов, см–3, Λat  = =  2,951  Дж/атом  – теплота сублимации, ε  –
относительная диэлектрическая проницаемость металла, ε0  =  8,854×10–14  – электрическая постоянная, Ф/см.
Для численного решения уравнения тепло-
проводности и уравнения, описывающего из­
менение концентрации электронов, представ-
ляющих собой нестационарные дифференци-
альные уравнения в частных производных,
был выбран метод разностной аппроксимации.
Для расчета значений температуры и концен-
трации использовалась разностная схема. Не-

смотря на достаточно высокую скорость расчета благодаря использованию явных формул, данная схема обладает серьезным недостатком  – необходимо выполнение условия устойчивости, накладывающего ограничение на величину ­шагов разбиений по координате и времени.
Здесь приведены результаты расчета для серебра, форма импульса q  =  qmexp(–(t  –  tm)2/t2m1), tm  =  100  фс, tm1  =  50  фс, АВ  =  4,28  эВ. При ћw  =  1,55  эВ поглощение трехфотонное. Расчет проводился до момента начала кулоновского взрыва, когда возникшее из-за разделения зарядов электрическое поле превышает пороговое значение, необходимое для отрыва атомов. Для сравнения проведено моделирование нагревания без учета эмиссии, но с учетом зависимостей характеристик материала от температуры.
Из рис. 2 видно, что температура электронов и решетки растут, но не достигают максимума в течение импульса. Различие температур, рассчитанных с учетом эмиссии и без нее невелико и в момент начала кулоновского взрыва t  =  0,15  пс (Teemission  –  Te)  ≈  290  K (рис.  2б), (T emission – T) ≈ 60 K.
На рис.  3 показано изменение полной концентрации свободных электронов, а также количество электронов, вылетающих за счет фото- и термоэмиссии. На начальном этапе действия импульса преобладает фотоэмиссия, которая по форме близка к форме импульса­ (отличия вызваны нелинейностью эффектов), но температура электронов быстро увеличивается, а вместе с ней и термоэлектронная эмис-

26 “Оптический журнал”, 78, 8, 2011

q, Вт/см2
1,2 1014 1 1014 8 1013

N, см–3 1023

neph, см–3

nteh, см–3

1

1

1,5 1013

6,0 1017

43

0,998

1,0 1013

4,0 1017

6 1013 4 1013

2

0,996

5,0 1012

2,0 1017

2 1013 0

0,05 t, пс 0,1

0,994 0,15

0 0

Рис. 3. Зависимость концентрации электронов (1) и концентраций эмитируемых за счет фото- (neph) (2) и термоэмиссии (nteh) (3) электронов от времени. Форма импульса q = qmexp(–(t – tm)2/t2m1), tm = 100 фс, tm1 = 50 фс (4).

q, Вт/см2

N, см–3 1023

neph, см–3

neth, см–3

4 1013 3 1013 2 1013

4
1 2

1
3
0,999
0,998

5 1011 4 1011 3 1011

3 1017 2 1017

1 1013

0,997 0,996

2 1011 1 1011

1 1017

0

0,1 t, пс

0,2

00

Рис. 4. Зависимость концентрации электронов (1) и концентраций эмитируемых за счет фото- (npeh) (2) и термоэмиссии (nteh) (3) электронов от времени. Форма импульса q = qm(t/tm)exp(–t/tm), tm = 100 фс (4).

q, Вт/см2
1,0 1014 8 1013 6 1013 4 1013 2 1013
0

4 2

3

1 0,05 t, пс 0,1

1
N, см–3 1023

6 108
E, Вт/см2

0,998
0,996
0,994 0,15

4 108 2 108 0

Рис. 5. Зависимость электрического поля E (1), возникающего вслед-
ствие эмиссии электронов от времени. Пороговое значение поля Eth (2) соответствует началу кулоновского взрыва. Форма импульса (3), концентрация электронов (4).

сия, которая начинает преобладать над фото­ эмиссией.
На рис. 3–5 приведены временные зависимости концентрации электронов при различных формах импульса. Максимальная фотоэмиссия соответствует максимальной плотности мощ-

ности. Видно, что форма импульса существенным образом влияет на динамику процессов. Градиент концентрации электронов приводит к возникновению электрического поля, которое растет и достигает порогового значения, начинается кулоновский взрыв.

“Оптический журнал”, 78, 8, 2011

27

***

tCE, пс
0,4 0,3 0,2 0,1

0

2 1015

4 1015

6 1015 8 1015 q, Вт/см2

Рис. 6. Зависимость времени начала кулоновско-

го взрыва от плотности мощности лазерного из-

лучения. Форма tm = 100 фс.

импульса

q = qm(t/tm)exp(–t/tm),

На рис. 6 показана зависимость времени начала кулоновского взрыва от плотности мощности лазерного излучения, видно, что зависимость нелинейна.

Заключение
В работе проведен анализ влияния эмиссии электронов на процессы нагревания и разрушения металлов, предложена методика оценки сечений многофотонного поглощения в металлах, показано, что эмиссия оказывает слабое влияние на теплофизические и оптические свойства металла и, следовательно, на динамику температуры, поэтому ее можно не учитывать при анализе нагревания металлов фемтосекундным лазерным импульсом.
Полученные результаты показывают, что к моменту возникновения кулоновского взрыва достигаются такие высокие температуры, при которых анализ следует проводить на основе модели, учитывающей состояние вещества [6, 7].
Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ 09-02-00932-а, 09-02-01065-а, 10-02-00208-а и государственного контракта № П1134.

*****

Литература

  1. Rethfeld B., Kaiser A., Vicanek M., Simon G. Ultrafast dynamics of nonequilibrium electrons in metals under femtosecond laser irradiation // Phys. Rev. B. 2002. V. 65. P. 214303–214313.

  2. Rethfeld B., Kaiser A., Vicanek M., Simonc G. Nonequilibrium electron and phonon dynamics in solids absorbing a subpicosecond laser pulse // Proc. of SPIE. 2001. V. 4423. P. 250–261.

  3. Делоне Н.Б. Многофотонные процессы. Cоросовский образовательный журнал. 1996. № 3. С. 75–81.

  4. Tsai Hai-Lung, Jiang Lan Fundamentals of energy cascade during ultrashort laser-material interactions  // Proc. of SPIE. 2005. V. 5713. P. 343–357.

  5. Bulgakova N.M., Rosenfeld A., Ehrentraut L., Stoian R., Hertel I.V. Modeling of electron dynamics in laserirradiated solids: Progress achieved through a continuum approach and future prospects  // Proc. of SPIE. 2007. V. 6732. P. 673208–673223.

  6. Anisimov S.I., Inogamov N.A.,·Petrov Y.V., Khokhlov V.A., Zhakhovskii V.V., Nishihara K., Agranat M.B., Ashitkov S.I., Komarov P.S. Thresholds for front-side ablation and rear-side spallation of metal foil irradiated by femtosecond laser pulse // Appl Phys A. 2008. V. 92. P. 797–801.

  7. Upadhyay A.K., Inogamov N.A., Rethfeld B., Urbassek H.M. Ablation by ultrashort laser pulses: Atomistic and thermodynamic analysis of the processes at the ablation threshold // Phys. Rev. B. 2008. V. 78. P. 045437-1– 045437-10.

28 “Оптический журнал”, 78, 8, 2011