Фотолитографические технологии в производстве оптических шкал (сеток)
ÏÐÀÊÒÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÁËÅÌÛ ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
ÓÄÊ 53.087.92 + 681.7.064
ÔÎÒÎËÈÒÎÃÐÀÔÈ×ÅÑÊÈÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ Â ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÅ ÎÏÒÈ×ÅÑÊÈÕ ØÊÀË (ÑÅÒÎÊ)
2009 ã.
Ä. Þ. Êðó÷èíèí, êàíä. òåõí. íàóê ÏÎ «Óðàëüñêèé îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèé çàâîä èì. Ý.Ñ. ßëàìîâà»”, ã. Åêàòåðèíáóðã E-mail: krudu@planet-a.ru
Ðàññìîòðåíû âîïðîñû ïðîèçâîäñòâà îïòè÷åñêèõ øêàë (ñåòîê). Ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû âíåäðåíèÿ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé íà ïðåäïðèÿòèè äëÿ èõ èçãîòîâëåíèÿ.
Êîäû OCIS: 110.5220
Ïîñòóïèëà â ðåäàêöèþ 27.05.2008.
Ââåäåíèå
Êëàññ îïòè÷åñêèõ øêàë, íàçûâàåìûõ ñåòêàìè, íàõîäèò øèðîêîå ïðèìåíåíèå â ðàçëè÷íûõ ãåîäåçè÷åñêèõ è äðóãèõ ïðèáîðàõ. Òîïîëîãèÿ ñåòîê ìîæåò ñîñòîÿòü èç øòðèõîâ, öèôð, çíàêîâ, ïðè÷åì êàê ñâåòëûõ, òàê è òåìíûõ, à òàêæå ìîæåò èìåòü íåïðîçðà÷íóþ äèàôðàãìó ïî êðàþ äåòàëè. Ïîäëîæêè ñåòîê èìåþò ïëîñêóþ ðàáî÷óþ ïîâåðõíîñòü, îáðàòíàÿ ñòîðîíà ìîæåò èìåòü ïëîñêóþ èëè ñôåðè÷åñêóþ ïîâåðõíîñòü. Îáúåì ïðîèçâîäñòâà ñåòîê çíà÷èòåëüíî ïðåâûøàåò îáúåì ïðîèçâîäñòâà ëèìáîâ.
Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ñåòîê
Ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ýëåìåíòà òîïîëîãèè, ìêì
1,5
Äîïóñê íà øèðèíó ýëåìåíòà òîïîëîãèè, ìêì
± 0,5
Íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ìêì
0,4
Ðàçíîñòü ìåæäó èíòåðâàëàìè øòðèõîâ íå áîëåå, ìêì
1,0
Êëàññ ÷èñòîòû ðàáî÷åé ïîâåðõíîñòè, ÃÎÑÒ 11141
Êëàññ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè îáðàòíîé ñòîðîíû, ÃÎÑÒ 11141
0–10 0–20
Äåôåêòû (ïðîêîëû) äèàôðàãìû
ïî êëàññó ÷èñòîòû
Äèàìåòð ïîäëîæêè, ìì
4–50
Òîëùèíà ïîäëîæêè, ìì
1–10
Ìàñêèðóþùåå ïîêðûòèå
õðîì, çàïóñê
Ñîñòîÿíèå ïðîèçâîäñòâà ñåòîê äî âíåäðåíèÿ íîâûõ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé
Äî íåäàâíåãî âðåìåíè ñåòêè íà ïðåäïðèÿòèè èçãîòàâëèâàëèñü ñëåäóþùèì îáðàçîì. Äåòàëè, èìåþùèå ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé áîëåå 5 ìêì, èçãîòàâ-
ëèâàëèñü ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì (õèìè÷åñêèì) õðîìîâîãî ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ. Äåòàëè, èìåþùèå ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé ìåíåå 5 ìêì, èçãîòàâëèâàëèñü êîìáèíèðîâàííûì ñïîñîáîì, êîòîðûé çàêëþ÷àëñÿ â òîì, ÷òî ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé áîëåå 5 ìêì èñïîëüçîâàëèñü ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì (õèìè÷åñêèì) õðîìîâîãî ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ, à ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé ìåíåå 5 ìêì – ìåõàíè÷åñêèì ìåòîäîì äåëåíèÿ ïî ëàêîâîìó ïîêðûòèþ ñ ïîñëåäóþùèì íàïûëåíèåì õðîìà. Êðîìå òîãî, ÷àñòü ñåòîê èçãîòàâëèâàëàñü ìåõàíè÷åñêèì ìåòîäîì äåëåíèÿ ïî âîñêîâîìó çàùèòíîìó ïîêðûòèþ ñ ïîñëåäóþùèì òðàâëåíèåì â ïàðàõ èëè ðàñòâîðàõ ïëàâèêîâîé êèñëîòû c èñïîëüçîâàíèåì òåìíîãî èëè áåëîãî çàïóñêîâ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùèõ ïîêðûòèé.  êà÷åñòâå ìàòåðèàëà ïîäëîæêè â ýòîì ñëó÷àå èñïîëüçîâàëîñü ñòåêëî ÁÊ10.
Ýòè ñïîñîáû èìåþò ñëåäóþùèå íåäîñòàòêè: ñëîæíîñòü ñîõðàíåíèÿ âûñîêèõ êëàññîâ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòåé, îáóñëîâëåííàÿ ïðèìåíåíèåì àãðåññèâíûõ òðàâÿùèõ ðàñòâîðîâ è äëèòåëüíîñòüþ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà; áîëüøàÿ òðóäîåìêîñòü, îáóñëîâëåííàÿ ïðèìåíåíèåì ìåõàíè÷åñêîãî è êîìáèíèðîâàííîãî ñïîñîáîâ, áîëüøàÿ äåôåêòíîñòü äèàôðàãìû, îáóñëîâëåííàÿ íåñîâåðøåíñòâîì ïîäãîòîâêè ïîâåðõíîñòè ïåðåä íàïûëåíèåì õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ, îòñóòñòâèåì íåîáõîäèìîé ÷èñòîòû âîçäóøíîé ñðåäû, “ïðîáîåì” ôîòîðåçèñòà ïðè òðàâëåíèè õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ; ñëîæíîñòü ñîáëþäåíèÿ äîïóñêà íà øèðèíó ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè è òðåáóåìîé ðàâíîìåðíîñòè øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì õðîìà è ðàçíîñòè ìåæäó èíòåðâàëàìè ïðè íàíåñåíèè øòðèõîâ ìåõàíè÷åñêèì ñïîñîáîì; áîëüøàÿ íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè (äî 2 ìêì) è áîëüøàÿ íåðîâíîñòü êðàÿ
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 76, ¹ 2, 2009
71
ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè (äî 1 ìêì) ïðè èñïîëüçîâàíèè ïëàâèêîâîé êèñëîòû äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê.
âðåä, íàíîñèìûé îêðóæàþùåé ñðåäå è ðàáî÷èì ïëàâèêîâîé êèñëîòîé.
Âûáîð òåõíîëîãèé
Ðàíåå áûëî óñòàíîâëåíî [1], ÷òî äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ãåîäåçè÷åñêèõ ëèìáîâ, êðóãîâûõ ðàñòðîâ è ìíîãîðàçðÿäíûõ êîäîâûõ ëèìáîâ öåëåñîîáðàçíî èñïîëüçîâàòü ìåòîä îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè. Áûëè ðàññìîòðåíû ïðåèìóùåñòâà ìåòîäà îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè ïî ñðàâíåíèþ ñ ôîòîëèòîãðàôèåé ñ òðàâëåíèåì õðîìà. Ìîæíî áûëî ïðåäïîëîæèòü, ÷òî ýòîò ìåòîä öåëåñîîáðàçíî èñïîëüçîâàòü è äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, òàê êàê îí îáåñïå÷èâàåò íåîáõîäèìûå ðàçìåðû è òî÷íîñòü ðàñïîëîæåíèÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, íèçêóþ äåôåêòíîñòü ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè è ñîõðàííîñòü ÷èñòîòû ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè. Çà îñíîâó ìîæíî âçÿòü òåõíîëîãè÷åñêóþ ñõåìó, ïðåäëîæåííóþ â [1]. Òàêæå öåëåñîîáðàçíî èñïîëüçîâàòü äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê îáîðóäîâàíèå, ïðåäíàçíà÷åííîå äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ ëèìáîâ è ñàìèõ ëèìáîâ è ðàçìåùåííîå â “÷èñòûõ ïîìåùåíèÿõ”. Âñå ýòî îáóñëîâèëî âîçìîæíîñòü ïðèìåíåíèÿ ìåòîäà îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê. Äëÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ òåìíûé çàïóñê, åñòü âîçìîæíîñòü çàìåíèòü åãî õðîìîâûì ïîêðûòèåì. Ýòè ñåòêè òàêæå öåëåñîîáðàçíî èçãîòàâëèâàòü ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè.
Íàèáîëåå òðóäíûìè, ñ òî÷êè çðåíèÿ ïðèìåíåíèÿ òåõíîëîãèè ôîòîëèòîãðàôèè, ÿâëÿþòñÿ ñåòêè, èìåþùèå â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê. Îñîáåííîñòè ïðèìåíåíèÿ òàêèõ ñåòîê íå äàþò âîçìîæíîñòè çàìåíèòü áåëûé çàïóñê õðîìîâûì èëè êàêèìëèáî äðóãèì ìàñêèðóþùèì ïîêðûòèåì. Ñîçäàíèå ðåëüåôà â ïîäëîæêå äëÿ áåëîãî çàïóñêà ìîæíî îñóùåñòâèòü, ïðèìåíÿÿ, íàïðèìåð, èîííîå òðàâëåíèå ïî ðèñóíêó, ñôîðìèðîâàííîìó â ñëîå ôîòîðåçèñòà. Ýòî òðåáóåò, âî-ïåðâûõ, ðàçðàáîòêè ñîîòâåòñòâóþùåé òåõíîëîãèè, à âî-âòîðûõ, ïðèîáðåòåíèÿ äîïîëíèòåëüíî êîìïëåêòà äîðîãîñòîÿùåãî îáîðóäîâàíèÿ, ÷òî íåöåëåñîîáðàçíî, ó÷èòûâàÿ íåáîëüøîé îáúåì ïðîèçâîäñòâà òàêèõ ñåòîê. Ñëåäîâàòåëüíî, äëÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê, òðåáóåòñÿ ñîçäàíèå ñïåöèàëüíîé òåõíîëîãèè ôîòîëèòîãðàôèè, ïîçâîëÿþùåé ïîëó÷èòü ðåëüåô â ïîäëîæêå áåç ïðèìåíåíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû.
Îñîáåííîñòè ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãèè ñåòîê
Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ êðóãîâûõ øêàë íà ïðåäïðèÿòèè ïðèìåíÿåòñÿ ëàçåðíûé ãåíåðàòîð èçîáðàæåíèé ìîäåëè CLWS-300, ðàáîòàþùèé â ïî-
ëÿðíûõ êîîðäèíàòàõ [2].  òî æå âðåìÿ èçâåñòíî, ÷òî ïðè èçãîòîâëåíèè ôîòîøàáëîíîâ êðóãîâûõ øêàë ñ ïîìîùüþ ãåíåðàòîðîâ èçîáðàæåíèé, ðàáîòàþùèõ â ïðÿìîóãîëüíîé ñèñòåìå êîîðäèíàò, íà øòðèõàõ îáðàçóþòñÿ ñòóïåíüêè, êîëè÷åñòâî êîòîðûõ çàâèñèò îò óãëà ìåæäó íàïðàâëåíèåì ñêàíèðîâàíèÿ ëàçåðíîãî ëó÷à è íàïðàâëåíèåì øòðèõà, à âûñîòà ñòóïåíåê – îò øàãà ñêàíèðîâàíèÿ. Ïîäîáíûé ðåçóëüòàò áûë îáíàðóæåí è ïðè ôîðìèðîâàíèè òîïîëîãèè ñåòîê, êîòîðàÿ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé, êàê ïðàâèëî, ñîâîêóïíîñòü âçàèìíî ïåðïåíäèêóëÿðíûõ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, íà ãåíåðàòîðå CLWS-300. Êðîìå òîãî, áûëî îáíàðóæåíî, ÷òî ðàçíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ñôîðìèðîâàííûõ íà ãåíåðàòîðå CLWS300 â ðàäèàëüíîì è òàíãåíöèàëüíîì íàïðàâëåíèÿõ, äîñòèãàåò 0,3 ìêì. Ïðè èçãîòîâëåíèè ôîòîøàáëîíîâ ñåòîê íåîáõîäèìî âíåñòè êîððåêòèâû â òåõíîëîãèþ çàïèñè ñ öåëüþ óñòðàíåíèÿ ñòóïåíåê íà ýëåìåíòàõ òîïîëîãèè è äîïîëíèòåëüíîé íåðàâíîìåðíîñòè øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè.
Ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè íàèáîëüøóþ òðóäíîñòü ïî ñðàâíåíèþ ñ èçãîòîâëåíèåì ëèìáîâ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ôîðìèðîâàíèå äèàôðàãìû ïî êðàþ äåòàëè. Ïðè íàíåñåíèè ôîòîðåçèñòà íà êðàÿõ ïîäëîæêè îáðàçóåòñÿ óòîëùåíèå, îò êîòîðîãî íå óäàåòñÿ èçáàâèòüñÿ äàæå ïðè âûñîêèõ ñêîðîñòÿõ âðàùåíèÿ öåíòðèôóãè. Ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê ñ äèàôðàãìàìè ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì õðîìà îáðàçîâàíèå òàêîãî óòîëùåíèÿ ôîòîðåçèñòà äàæå ñïîñîáñòâóåò óìåíüøåíèþ êîëè÷åñòâà äåôåêòîâ.  ñëó÷àå îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè íåäîïóñòèìî íàëè÷èå êàêèõ-ëèáî îñòàòêîâ ôîòîðåçèñòà ïîñëå ýêñïîíèðîâàíèÿ è ïðîÿâëåíèÿ â ñâåòîâîé çîíå. Íàèáîëåå ñëîæíûìè äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ÿâëÿþòñÿ ñåòêè, èìåþùèå îäíîâðåìåííî äèàôðàãìó è ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé 1,5 ìêì. Òî÷íîñòü ôîðìèðîâàíèÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè íàõîäèòñÿ â ïðîòèâîðå÷èè ñ òðåáîâàíèåì îòñóòñòâèÿ äåôåêòîâ íà äèàôðàãìå. Íåáîëüøèå, êàê ïðàâèëî, ðàçìåðû ñåòîê è ðàçìåðû ñâåòîâûõ çîí, áëèçêèå ê íàðóæíûì ðàçìåðàì ïîäëîæåê, ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé äîïîëíèòåëüíûå òðóäíîñòè, âîçíèêàþùèå ïðè èõ èçãîòîâëåíèè.
Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê, íàèáîëüøèå òðóäíîñòè çàêëþ÷àþòñÿ â ïîäáîðå òàêîãî ñîñòàâà òðàâèòåëÿ, êîòîðûé ïðè âûñîêîé ñêîðîñòè òðàâëåíèÿ ñòåêëà íå èìåë áû â ñâîåì ñîñòàâå ïëàâèêîâîé êèñëîòû, è â ñîçäàíèè òàêèõ çàùèòíûõ ñâîéñòâ ôîòîðåçèñòèâíîé ïëåíêè, êîòîðûå ïîçâîëèëè áû ïîëó÷èòü øêàëó òðåáóåìîãî êà÷åñòâà. Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî ê òàêèì ñåòêàì ïðåäúÿâëÿþòñÿ ìåíåå æåñòêèå òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ: ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ýëåìåíòà òîïîëîãèè 5 ìêì, äîïóñê íà øèðèíó ýëå-
72 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 76, ¹ 2, 2009
ìåíòîâ òîïîëîãèè ± 2 ìêì, íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè 1 ìêì.
Ðåçóëüòàòû òåõíîëîãè÷åñêèõ èññëåäîâàíèé è âíåäðåíèÿ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé
 ðåçóëüòàòå òåõíîëîãè÷åñêèõ èññëåäîâàíèé è âíåäðåíèÿ íîâûõ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé áûëè ðåøåíû ñëåäóþùèå òåõíè÷åñêèå è ýêîíîìè÷åñêèå çàäà÷è:
– ðàçðàáîòàíà ñåðèéíàÿ òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ èìåþùåãîñÿ îáîðóäîâàíèÿ, ðàçìåùåííîãî â “÷èñòûõ ïîìåùåíèÿõ”;
– äëÿ îïåðàöèé òåðìîîáðàáîòêè ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê, òàê æå êàê è ëèìáîâ, ïðèìåíåí ìåòîä “ãîðÿ÷àÿ ïëèòà”, ÷òî ïîçâîëèëî ïîâûñèòü ïðîèçâîäèòåëüíîñòü òðóäà;
– ðàçðàáîòàíà ñåðèéíàÿ ñïåöèàëüíàÿ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêàÿ òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê; ðàçðàáîòàí òðàâèòåëü äëÿ ñòåêëà, íå èìåþùèé â ñîñòàâå ïëàâèêîâîé êèñëîòû;
– âñÿ íîìåíêëàòóðà ñåòîê íà ïðåäïðèÿòèè èçãîòàâëèâàåòñÿ ñ ïîìîùüþ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé: ñåòêè, èìåþùèå â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ õðîìîâîå ïîêðûòèå, èçãîòàâëèâàþòñÿ
ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè; ñåòêè, èìåþùèå â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê, èçãîòàâëèâàþòñÿ ñïåöèàëüíûì ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè;
– ïðîâåäåíà êîððåêòèðîâêà òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ ñåòîê íà ãåíåðàòîðå CLWS-300, ïîçâîëÿþùàÿ ôîðìèðîâàòü ýëåìåíòû òîïîëîãèè, èìåþùèå íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû â ïðåäåëàõ 0,2 ìêì è íåðîâíîñòü êðàÿ 0,1 ìêì;
– ñíèæåíà òðóäîåìêîñòü èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, óìåíüøåí êîýôôèöèåíò çàïóñêà, ñíèæåíû çàòðàòû íà ïðîèçâîäñòâî;
– ïîâûøåíî êà÷åñòâî ñåòîê, óìåíüøåíû ïîãðåøíîñòè èçãîòîâëåíèÿ;
– âûâåäåíî èç ýêñïëóàòàöèè óñòàðåâøåå äåëèòåëüíî-ãðàâåðíîå îáîðóäîâàíèå.
ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ
11. Êðó÷èíèí Ä.Þ. Ôîòîëèòîãðàôèÿ â ïðîèçâîäñòâå êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë íà Óðàëüñêîì îïòèêî-ìåõàíè÷åñêîì çàâîäå // Îïòè÷åñêèé æóðíàë. 2008. Ò. 75. ¹ 4. Ñ. 92–94.
12. Àáðàìîâ Þ.Ô., Êèðüÿíîâ Â.Ï., Êèðüÿíîâ À.Â., Êîêàðåâ Ñ.À., Êðó÷èíèí Ä.Þ., ×óãóé Þ.Â., ßêîâëåâ Î.Á. Ìîäåðíèçàöèÿ îïòè÷åñêîãî äåëèòåëüíîãî ïðîèçâîäñòâà Óðàëüñêîãî îïòèêî-ìåõàíè÷åñêîãî çàâîäà íà îñíîâå ñîâðåìåííûõ ëàçåðíî-êîìïüþòåðíûõ è ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé // Îïòè÷åñêèé æóðíàë. 2006. Ò. 73. ¹ 8. Ñ. 61–65.
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 76, ¹ 2, 2009
73
ÓÄÊ 53.087.92 + 681.7.064
ÔÎÒÎËÈÒÎÃÐÀÔÈ×ÅÑÊÈÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ Â ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÅ ÎÏÒÈ×ÅÑÊÈÕ ØÊÀË (ÑÅÒÎÊ)
2009 ã.
Ä. Þ. Êðó÷èíèí, êàíä. òåõí. íàóê ÏÎ «Óðàëüñêèé îïòèêî-ìåõàíè÷åñêèé çàâîä èì. Ý.Ñ. ßëàìîâà»”, ã. Åêàòåðèíáóðã E-mail: krudu@planet-a.ru
Ðàññìîòðåíû âîïðîñû ïðîèçâîäñòâà îïòè÷åñêèõ øêàë (ñåòîê). Ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû âíåäðåíèÿ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé íà ïðåäïðèÿòèè äëÿ èõ èçãîòîâëåíèÿ.
Êîäû OCIS: 110.5220
Ïîñòóïèëà â ðåäàêöèþ 27.05.2008.
Ââåäåíèå
Êëàññ îïòè÷åñêèõ øêàë, íàçûâàåìûõ ñåòêàìè, íàõîäèò øèðîêîå ïðèìåíåíèå â ðàçëè÷íûõ ãåîäåçè÷åñêèõ è äðóãèõ ïðèáîðàõ. Òîïîëîãèÿ ñåòîê ìîæåò ñîñòîÿòü èç øòðèõîâ, öèôð, çíàêîâ, ïðè÷åì êàê ñâåòëûõ, òàê è òåìíûõ, à òàêæå ìîæåò èìåòü íåïðîçðà÷íóþ äèàôðàãìó ïî êðàþ äåòàëè. Ïîäëîæêè ñåòîê èìåþò ïëîñêóþ ðàáî÷óþ ïîâåðõíîñòü, îáðàòíàÿ ñòîðîíà ìîæåò èìåòü ïëîñêóþ èëè ñôåðè÷åñêóþ ïîâåðõíîñòü. Îáúåì ïðîèçâîäñòâà ñåòîê çíà÷èòåëüíî ïðåâûøàåò îáúåì ïðîèçâîäñòâà ëèìáîâ.
Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ñåòîê
Ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ýëåìåíòà òîïîëîãèè, ìêì
1,5
Äîïóñê íà øèðèíó ýëåìåíòà òîïîëîãèè, ìêì
± 0,5
Íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ìêì
0,4
Ðàçíîñòü ìåæäó èíòåðâàëàìè øòðèõîâ íå áîëåå, ìêì
1,0
Êëàññ ÷èñòîòû ðàáî÷åé ïîâåðõíîñòè, ÃÎÑÒ 11141
Êëàññ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè îáðàòíîé ñòîðîíû, ÃÎÑÒ 11141
0–10 0–20
Äåôåêòû (ïðîêîëû) äèàôðàãìû
ïî êëàññó ÷èñòîòû
Äèàìåòð ïîäëîæêè, ìì
4–50
Òîëùèíà ïîäëîæêè, ìì
1–10
Ìàñêèðóþùåå ïîêðûòèå
õðîì, çàïóñê
Ñîñòîÿíèå ïðîèçâîäñòâà ñåòîê äî âíåäðåíèÿ íîâûõ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé
Äî íåäàâíåãî âðåìåíè ñåòêè íà ïðåäïðèÿòèè èçãîòàâëèâàëèñü ñëåäóþùèì îáðàçîì. Äåòàëè, èìåþùèå ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé áîëåå 5 ìêì, èçãîòàâ-
ëèâàëèñü ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì (õèìè÷åñêèì) õðîìîâîãî ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ. Äåòàëè, èìåþùèå ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé ìåíåå 5 ìêì, èçãîòàâëèâàëèñü êîìáèíèðîâàííûì ñïîñîáîì, êîòîðûé çàêëþ÷àëñÿ â òîì, ÷òî ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé áîëåå 5 ìêì èñïîëüçîâàëèñü ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì (õèìè÷åñêèì) õðîìîâîãî ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ, à ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé ìåíåå 5 ìêì – ìåõàíè÷åñêèì ìåòîäîì äåëåíèÿ ïî ëàêîâîìó ïîêðûòèþ ñ ïîñëåäóþùèì íàïûëåíèåì õðîìà. Êðîìå òîãî, ÷àñòü ñåòîê èçãîòàâëèâàëàñü ìåõàíè÷åñêèì ìåòîäîì äåëåíèÿ ïî âîñêîâîìó çàùèòíîìó ïîêðûòèþ ñ ïîñëåäóþùèì òðàâëåíèåì â ïàðàõ èëè ðàñòâîðàõ ïëàâèêîâîé êèñëîòû c èñïîëüçîâàíèåì òåìíîãî èëè áåëîãî çàïóñêîâ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùèõ ïîêðûòèé.  êà÷åñòâå ìàòåðèàëà ïîäëîæêè â ýòîì ñëó÷àå èñïîëüçîâàëîñü ñòåêëî ÁÊ10.
Ýòè ñïîñîáû èìåþò ñëåäóþùèå íåäîñòàòêè: ñëîæíîñòü ñîõðàíåíèÿ âûñîêèõ êëàññîâ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòåé, îáóñëîâëåííàÿ ïðèìåíåíèåì àãðåññèâíûõ òðàâÿùèõ ðàñòâîðîâ è äëèòåëüíîñòüþ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà; áîëüøàÿ òðóäîåìêîñòü, îáóñëîâëåííàÿ ïðèìåíåíèåì ìåõàíè÷åñêîãî è êîìáèíèðîâàííîãî ñïîñîáîâ, áîëüøàÿ äåôåêòíîñòü äèàôðàãìû, îáóñëîâëåííàÿ íåñîâåðøåíñòâîì ïîäãîòîâêè ïîâåðõíîñòè ïåðåä íàïûëåíèåì õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ, îòñóòñòâèåì íåîáõîäèìîé ÷èñòîòû âîçäóøíîé ñðåäû, “ïðîáîåì” ôîòîðåçèñòà ïðè òðàâëåíèè õðîìîâîãî ïîêðûòèÿ; ñëîæíîñòü ñîáëþäåíèÿ äîïóñêà íà øèðèíó ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè è òðåáóåìîé ðàâíîìåðíîñòè øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì õðîìà è ðàçíîñòè ìåæäó èíòåðâàëàìè ïðè íàíåñåíèè øòðèõîâ ìåõàíè÷åñêèì ñïîñîáîì; áîëüøàÿ íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè (äî 2 ìêì) è áîëüøàÿ íåðîâíîñòü êðàÿ
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 76, ¹ 2, 2009
71
ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè (äî 1 ìêì) ïðè èñïîëüçîâàíèè ïëàâèêîâîé êèñëîòû äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê.
âðåä, íàíîñèìûé îêðóæàþùåé ñðåäå è ðàáî÷èì ïëàâèêîâîé êèñëîòîé.
Âûáîð òåõíîëîãèé
Ðàíåå áûëî óñòàíîâëåíî [1], ÷òî äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ãåîäåçè÷åñêèõ ëèìáîâ, êðóãîâûõ ðàñòðîâ è ìíîãîðàçðÿäíûõ êîäîâûõ ëèìáîâ öåëåñîîáðàçíî èñïîëüçîâàòü ìåòîä îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè. Áûëè ðàññìîòðåíû ïðåèìóùåñòâà ìåòîäà îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè ïî ñðàâíåíèþ ñ ôîòîëèòîãðàôèåé ñ òðàâëåíèåì õðîìà. Ìîæíî áûëî ïðåäïîëîæèòü, ÷òî ýòîò ìåòîä öåëåñîîáðàçíî èñïîëüçîâàòü è äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, òàê êàê îí îáåñïå÷èâàåò íåîáõîäèìûå ðàçìåðû è òî÷íîñòü ðàñïîëîæåíèÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, íèçêóþ äåôåêòíîñòü ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè è ñîõðàííîñòü ÷èñòîòû ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè. Çà îñíîâó ìîæíî âçÿòü òåõíîëîãè÷åñêóþ ñõåìó, ïðåäëîæåííóþ â [1]. Òàêæå öåëåñîîáðàçíî èñïîëüçîâàòü äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê îáîðóäîâàíèå, ïðåäíàçíà÷åííîå äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ ëèìáîâ è ñàìèõ ëèìáîâ è ðàçìåùåííîå â “÷èñòûõ ïîìåùåíèÿõ”. Âñå ýòî îáóñëîâèëî âîçìîæíîñòü ïðèìåíåíèÿ ìåòîäà îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê. Äëÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ òåìíûé çàïóñê, åñòü âîçìîæíîñòü çàìåíèòü åãî õðîìîâûì ïîêðûòèåì. Ýòè ñåòêè òàêæå öåëåñîîáðàçíî èçãîòàâëèâàòü ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè.
Íàèáîëåå òðóäíûìè, ñ òî÷êè çðåíèÿ ïðèìåíåíèÿ òåõíîëîãèè ôîòîëèòîãðàôèè, ÿâëÿþòñÿ ñåòêè, èìåþùèå â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê. Îñîáåííîñòè ïðèìåíåíèÿ òàêèõ ñåòîê íå äàþò âîçìîæíîñòè çàìåíèòü áåëûé çàïóñê õðîìîâûì èëè êàêèìëèáî äðóãèì ìàñêèðóþùèì ïîêðûòèåì. Ñîçäàíèå ðåëüåôà â ïîäëîæêå äëÿ áåëîãî çàïóñêà ìîæíî îñóùåñòâèòü, ïðèìåíÿÿ, íàïðèìåð, èîííîå òðàâëåíèå ïî ðèñóíêó, ñôîðìèðîâàííîìó â ñëîå ôîòîðåçèñòà. Ýòî òðåáóåò, âî-ïåðâûõ, ðàçðàáîòêè ñîîòâåòñòâóþùåé òåõíîëîãèè, à âî-âòîðûõ, ïðèîáðåòåíèÿ äîïîëíèòåëüíî êîìïëåêòà äîðîãîñòîÿùåãî îáîðóäîâàíèÿ, ÷òî íåöåëåñîîáðàçíî, ó÷èòûâàÿ íåáîëüøîé îáúåì ïðîèçâîäñòâà òàêèõ ñåòîê. Ñëåäîâàòåëüíî, äëÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê, òðåáóåòñÿ ñîçäàíèå ñïåöèàëüíîé òåõíîëîãèè ôîòîëèòîãðàôèè, ïîçâîëÿþùåé ïîëó÷èòü ðåëüåô â ïîäëîæêå áåç ïðèìåíåíèÿ ïëàâèêîâîé êèñëîòû.
Îñîáåííîñòè ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãèè ñåòîê
Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ êðóãîâûõ øêàë íà ïðåäïðèÿòèè ïðèìåíÿåòñÿ ëàçåðíûé ãåíåðàòîð èçîáðàæåíèé ìîäåëè CLWS-300, ðàáîòàþùèé â ïî-
ëÿðíûõ êîîðäèíàòàõ [2].  òî æå âðåìÿ èçâåñòíî, ÷òî ïðè èçãîòîâëåíèè ôîòîøàáëîíîâ êðóãîâûõ øêàë ñ ïîìîùüþ ãåíåðàòîðîâ èçîáðàæåíèé, ðàáîòàþùèõ â ïðÿìîóãîëüíîé ñèñòåìå êîîðäèíàò, íà øòðèõàõ îáðàçóþòñÿ ñòóïåíüêè, êîëè÷åñòâî êîòîðûõ çàâèñèò îò óãëà ìåæäó íàïðàâëåíèåì ñêàíèðîâàíèÿ ëàçåðíîãî ëó÷à è íàïðàâëåíèåì øòðèõà, à âûñîòà ñòóïåíåê – îò øàãà ñêàíèðîâàíèÿ. Ïîäîáíûé ðåçóëüòàò áûë îáíàðóæåí è ïðè ôîðìèðîâàíèè òîïîëîãèè ñåòîê, êîòîðàÿ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé, êàê ïðàâèëî, ñîâîêóïíîñòü âçàèìíî ïåðïåíäèêóëÿðíûõ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, íà ãåíåðàòîðå CLWS-300. Êðîìå òîãî, áûëî îáíàðóæåíî, ÷òî ðàçíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè, ñôîðìèðîâàííûõ íà ãåíåðàòîðå CLWS300 â ðàäèàëüíîì è òàíãåíöèàëüíîì íàïðàâëåíèÿõ, äîñòèãàåò 0,3 ìêì. Ïðè èçãîòîâëåíèè ôîòîøàáëîíîâ ñåòîê íåîáõîäèìî âíåñòè êîððåêòèâû â òåõíîëîãèþ çàïèñè ñ öåëüþ óñòðàíåíèÿ ñòóïåíåê íà ýëåìåíòàõ òîïîëîãèè è äîïîëíèòåëüíîé íåðàâíîìåðíîñòè øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè.
Ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè íàèáîëüøóþ òðóäíîñòü ïî ñðàâíåíèþ ñ èçãîòîâëåíèåì ëèìáîâ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ôîðìèðîâàíèå äèàôðàãìû ïî êðàþ äåòàëè. Ïðè íàíåñåíèè ôîòîðåçèñòà íà êðàÿõ ïîäëîæêè îáðàçóåòñÿ óòîëùåíèå, îò êîòîðîãî íå óäàåòñÿ èçáàâèòüñÿ äàæå ïðè âûñîêèõ ñêîðîñòÿõ âðàùåíèÿ öåíòðèôóãè. Ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê ñ äèàôðàãìàìè ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ òðàâëåíèåì õðîìà îáðàçîâàíèå òàêîãî óòîëùåíèÿ ôîòîðåçèñòà äàæå ñïîñîáñòâóåò óìåíüøåíèþ êîëè÷åñòâà äåôåêòîâ.  ñëó÷àå îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè íåäîïóñòèìî íàëè÷èå êàêèõ-ëèáî îñòàòêîâ ôîòîðåçèñòà ïîñëå ýêñïîíèðîâàíèÿ è ïðîÿâëåíèÿ â ñâåòîâîé çîíå. Íàèáîëåå ñëîæíûìè äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ÿâëÿþòñÿ ñåòêè, èìåþùèå îäíîâðåìåííî äèàôðàãìó è ýëåìåíòû òîïîëîãèè øèðèíîé 1,5 ìêì. Òî÷íîñòü ôîðìèðîâàíèÿ ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè íàõîäèòñÿ â ïðîòèâîðå÷èè ñ òðåáîâàíèåì îòñóòñòâèÿ äåôåêòîâ íà äèàôðàãìå. Íåáîëüøèå, êàê ïðàâèëî, ðàçìåðû ñåòîê è ðàçìåðû ñâåòîâûõ çîí, áëèçêèå ê íàðóæíûì ðàçìåðàì ïîäëîæåê, ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé äîïîëíèòåëüíûå òðóäíîñòè, âîçíèêàþùèå ïðè èõ èçãîòîâëåíèè.
Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê, íàèáîëüøèå òðóäíîñòè çàêëþ÷àþòñÿ â ïîäáîðå òàêîãî ñîñòàâà òðàâèòåëÿ, êîòîðûé ïðè âûñîêîé ñêîðîñòè òðàâëåíèÿ ñòåêëà íå èìåë áû â ñâîåì ñîñòàâå ïëàâèêîâîé êèñëîòû, è â ñîçäàíèè òàêèõ çàùèòíûõ ñâîéñòâ ôîòîðåçèñòèâíîé ïëåíêè, êîòîðûå ïîçâîëèëè áû ïîëó÷èòü øêàëó òðåáóåìîãî êà÷åñòâà. Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî ê òàêèì ñåòêàì ïðåäúÿâëÿþòñÿ ìåíåå æåñòêèå òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ: ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ýëåìåíòà òîïîëîãèè 5 ìêì, äîïóñê íà øèðèíó ýëå-
72 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 76, ¹ 2, 2009
ìåíòîâ òîïîëîãèè ± 2 ìêì, íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè 1 ìêì.
Ðåçóëüòàòû òåõíîëîãè÷åñêèõ èññëåäîâàíèé è âíåäðåíèÿ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé
 ðåçóëüòàòå òåõíîëîãè÷åñêèõ èññëåäîâàíèé è âíåäðåíèÿ íîâûõ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé áûëè ðåøåíû ñëåäóþùèå òåõíè÷åñêèå è ýêîíîìè÷åñêèå çàäà÷è:
– ðàçðàáîòàíà ñåðèéíàÿ òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ èìåþùåãîñÿ îáîðóäîâàíèÿ, ðàçìåùåííîãî â “÷èñòûõ ïîìåùåíèÿõ”;
– äëÿ îïåðàöèé òåðìîîáðàáîòêè ïðè èçãîòîâëåíèè ñåòîê, òàê æå êàê è ëèìáîâ, ïðèìåíåí ìåòîä “ãîðÿ÷àÿ ïëèòà”, ÷òî ïîçâîëèëî ïîâûñèòü ïðîèçâîäèòåëüíîñòü òðóäà;
– ðàçðàáîòàíà ñåðèéíàÿ ñïåöèàëüíàÿ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêàÿ òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, èìåþùèõ â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê; ðàçðàáîòàí òðàâèòåëü äëÿ ñòåêëà, íå èìåþùèé â ñîñòàâå ïëàâèêîâîé êèñëîòû;
– âñÿ íîìåíêëàòóðà ñåòîê íà ïðåäïðèÿòèè èçãîòàâëèâàåòñÿ ñ ïîìîùüþ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé: ñåòêè, èìåþùèå â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ õðîìîâîå ïîêðûòèå, èçãîòàâëèâàþòñÿ
ìåòîäîì îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè; ñåòêè, èìåþùèå â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùåãî ïîêðûòèÿ áåëûé çàïóñê, èçãîòàâëèâàþòñÿ ñïåöèàëüíûì ìåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè;
– ïðîâåäåíà êîððåêòèðîâêà òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ ñåòîê íà ãåíåðàòîðå CLWS-300, ïîçâîëÿþùàÿ ôîðìèðîâàòü ýëåìåíòû òîïîëîãèè, èìåþùèå íåðàâíîìåðíîñòü øèðèíû â ïðåäåëàõ 0,2 ìêì è íåðîâíîñòü êðàÿ 0,1 ìêì;
– ñíèæåíà òðóäîåìêîñòü èçãîòîâëåíèÿ ñåòîê, óìåíüøåí êîýôôèöèåíò çàïóñêà, ñíèæåíû çàòðàòû íà ïðîèçâîäñòâî;
– ïîâûøåíî êà÷åñòâî ñåòîê, óìåíüøåíû ïîãðåøíîñòè èçãîòîâëåíèÿ;
– âûâåäåíî èç ýêñïëóàòàöèè óñòàðåâøåå äåëèòåëüíî-ãðàâåðíîå îáîðóäîâàíèå.
ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ
11. Êðó÷èíèí Ä.Þ. Ôîòîëèòîãðàôèÿ â ïðîèçâîäñòâå êðóãîâûõ îïòè÷åñêèõ øêàë íà Óðàëüñêîì îïòèêî-ìåõàíè÷åñêîì çàâîäå // Îïòè÷åñêèé æóðíàë. 2008. Ò. 75. ¹ 4. Ñ. 92–94.
12. Àáðàìîâ Þ.Ô., Êèðüÿíîâ Â.Ï., Êèðüÿíîâ À.Â., Êîêàðåâ Ñ.À., Êðó÷èíèí Ä.Þ., ×óãóé Þ.Â., ßêîâëåâ Î.Á. Ìîäåðíèçàöèÿ îïòè÷åñêîãî äåëèòåëüíîãî ïðîèçâîäñòâà Óðàëüñêîãî îïòèêî-ìåõàíè÷åñêîãî çàâîäà íà îñíîâå ñîâðåìåííûõ ëàçåðíî-êîìïüþòåðíûõ è ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ òåõíîëîãèé // Îïòè÷åñêèé æóðíàë. 2006. Ò. 73. ¹ 8. Ñ. 61–65.
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 76, ¹ 2, 2009
73