ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ПЗС ФОТОПРИЕМНИКОВ В АКУСТО-ОПТИЧЕСКИХ СРЕДСТВАХ ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ
ÓÄÊ 537.86
ÎÑÎÁÅÍÍÎÑÒÈ ÏÐÈÌÅÍÅÍÈß ÏÇÑ ÔÎÒÎÏÐÈÅÌÍÈÊΠ ÀÊÓÑÒÎ-ÎÏÒÈ×ÅÑÊÈÕ ÑÐÅÄÑÒÂÀÕ ÎÁÐÀÁÎÒÊÈ ÈÍÔÎÐÌÀÖÈÈ
© 2008 ã. Ñ. Ñ. Øèáàåâ, êàíä. òåõí. íàóê Òåõíîëîãè÷åñêèé èíñòèòóò Þæíîãî ôåäåðàëüíîãî óíèâåðñèòåòà, Òàãàíðîã E-mail: sshib75@mail.ru
Òåîðåòè÷åñêè è ýêñïåðèìåíòàëüíî ïðîàíàëèçèðîâàíû êîíñòðóêòîðñêî-òåõíîëîãè÷åñêèå îñîáåííîñòè ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêîâ, ïðîÿâëÿþùèåñÿ ïðè ñðàâíèòåëüíî âûñîêèõ óðîâíÿõ èíòåíñèâíîñòè âîçäåéñòâóþùèõ íà íèõ îïòè÷åñêèõ ñèãíàëîâ. Äàíû ïðàêòè÷åñêèå ðåêîìåíäàöèè ïî ñíèæåíèþ âëèÿíèÿ óïîìÿíóòûõ îñîáåííîñòåé ïðè èñïîëüçîâàíèè ôîòîïðèåìíèêîâ â ñîñòàâå ñðåäñòâ îáðàáîòêè îïòè÷åñêîé èíôîðìàöèè.
Êîäû OCIS: 040.1520, 070.1060, 250.0250.
Ïîñòóïèëà â ðåäàêöèþ 06.02.2008.
Ïðè îáû÷íîì ïðèìåíåíèè ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêîâ äëÿ ðåøåíèÿ çàäà÷ ñïåêòðîñêîïèè, ñêàíèðîâàíèÿ è îöèôðîâêè èçîáðàæåíèé øèðîêî èñïîëüçóåòñÿ îïðåäåëåíèå èõ äèíàìè÷åñêîãî äèàïàçîíà (ÄÄ) êàê îòíîøåíèå óðîâíÿ ñèãíàëà, ñîîòâåòñòâóþùåãî âåðõíåé ãðàíèöå ëèíåéíîãî ó÷àñòêà àìïëèòóäíîé õàðàêòåðèñòèêè ÏÇÑ, ê óðîâíþ øóìîâ ñ÷èòûâàíèÿ.
Îäíàêî â ðÿäå ïðèìåíåíèé ëèíåéíîñòü àìïëèòóäíîé õàðàêòåðèñòèêè íå ñòîëü êðèòè÷íà. Îäíèìè èç òàêèõ ïðèìåíåíèé ÿâëÿþòñÿ, íàïðèìåð, àêóñòîîïòè÷åñêèå (ÀÎ) ñðåäñòâà îáðàáîòêè èíôîðìàöèè, â ÷àñòíîñòè, ÀÎ èçìåðèòåëè ïàðàìåòðîâ ðàäèîñèãíàëîâ, â êîòîðûõ íå ïðåäúÿâëÿåòñÿ æåñòêèõ òðåáîâàíèé ê òî÷íîñòè îòñ÷åòà óðîâíåé ïðèíèìàåìûõ ñèãíàëîâ, à ðåøàåòñÿ çàäà÷à îïðåäåëåíèÿ ÷àñòîòíûõ ïàðàìåòðîâ ðàäèîñèãíàëîâ â ýêñòðåìàëüíî øèðîêîì äèàïàçîíå èõ âõîäíûõ óðîâíåé.
 íàñòîÿùåé ðàáîòå ïîêàçàíî, ÷òî “ñëàáûì çâåíîì” â äîñòèæåíèè âûñîêîé äèíàìèêè ÀÎ èçìåðèòåëåé èëè äðóãèõ óñòðîéñòâ, ãäå òðåáóåòñÿ âûñîêèé ÄÄ, ìîæåò âûñòóïàòü ôîòîïðèåìíîå óñòðîéñòâî (ÔÏÓ), ïðè÷åì îãðàíè÷åíèå ÄÄ ìîæåò áûòü íå ñâÿçàíî ñ ýëåêòðè÷åñêèìè ïàðàìåòðàìè ñàìîãî ÔÏÓ, åãî ÄÄ, à îïðåäåëÿòüñÿ êîíñòðóêòèâíûìè îñîáåííîñòÿìè åãî êîðïóñà, ýëåìåíòàìè çàùèòû ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé îáëàñòè è ñàìîé ãåîìåòðèåé (òîïîëîãèåé) ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ïëîùàäêè ìíîãîýëåìåíòíîãî ÔÏÓ.
 ðàáîòå ïîêàçàíî, ÷òî äèôðàêöèÿ “â îòðàæåííîì ñâåòå”, âîçíèêàþùàÿ è ïðîÿâëÿþùàÿñÿ ïðè ïîâûøåííîì óðîâíå ñâåòîâîãî ñèãíàëà íà óïîðÿäî÷åííîé ñòðóêòóðå ôîòîäèîäîâ ÔÏÓ, ÿâëÿåòñÿ ïðè÷èíîé è èñòî÷íèêîì ïàðàçèòíûõ ñâåòîâûõ ñèãíàëîâ. Ïðèñóòñòâèå ïîñëåäíèõ íåïîñðåäñòâåííî â ïëîñêîñòè ÔÏÓ â êîíå÷íîì ñ÷åòå è îãðàíè÷èâàåò åãî ïîëíóþ, ñâåðõ ëèíåéíîé äèíàìèêó.
Âûøåñêàçàííîå èëëþñòðèðóåòñÿ ýêñïåðèìåíòàëüíîé îñöèëëîãðàììîé ñíÿòîãî ñ ÔÏÓ âèäåîñèã-
íàëà, ïðåäñòàâëåííîé íà ðèñ. 1, íà êîòîðîì, ïîìèìî îñíîâíîãî ïîëåçíîãî ñèãíàëà áîëüøîãî óðîâíÿ íàáëþäàåòñÿ ðÿä ñâåòîâûõ ñèãíàëîâ, îáðàçîâàííûõ äèôðàêöèîííûìè ýôôåêòàìè. Ïîñëåäíèå è ÿâëÿþòñÿ ïàðàçèòíûìè èëè ïîìåõîâûìè ñèãíàëàìè, îãðàíè÷èâàþùèìè ÄÄ.
Äàííîå ÿâëåíèå áûëî îáíàðóæåíî ïðè èñïîëüçîâàíèè ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà â ñîñòàâå ÀÎ èçìåðèòåëÿ, äåòàëüíîå îïèñàíèå êîòîðîãî ïðåäñòàâëåíî â ðàáîòå [1].
Äëÿ ïîÿñíåíèÿ âûñêàçàííîãî óòâåðæäåíèÿ ðàññìîòðèì êîíñòðóêöèþ èññëåäóåìîé ÏÇÑ ëèíåéêè òèïà TH7813 ïðîèçâîäñòâà ôèðìû “E2ν” – ðèñ. 2. Ôîòî÷óâñòâèòåëüíàÿ îáëàñòü À îáðàìëåíà ìåòàëëè÷åñêèìè ýëåêòðîäàìè ñ ïåðèîäîì ðàñïîëîæåíèÿ, îðèåíòèðîâî÷íî ðàâíûì ðàçìåðó îäíîãî ôîòîýëåìåíòà è ñîñòàâëÿþùèì 10 ìêì. Äèôðàêöèÿ ñôîêóñèðîâàííîãî íà îáëàñòü À ëèíåéêè ïó÷êà ïîêàçàíà íà ðèñ. 3.  ýòîì ñëó÷àå ðåçóëüòàò äèôðàêöèè ñîîò-
10 ìÂ/äåë ~40–45 äÁ
22
1
200 íñ/äåë
Ðèñ. 1. Îñöèëëîãðàììà âèäåîñèãíàëà ñ ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà. 1 – ïîëåçíûé ñèãíàë, 2 – ïîìåõîâûå ñèãíàëû.
74 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
À
Ðèñ. 2. Ìèêðîôîòîãðàôèÿ òîïîëîãè÷åñêîé ñòðóêòóðû ÏÇÑ ëèíåéêè òèïà TH7813. À – ôîòî÷óâñòâèòåëüíàÿ îáëàñòü.
Ðèñ. 3. Êàðòèíà äèôðàêöèè ñôîêóñèðîâàííîãî íà ôîòî÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ÏÇÑ ëèíåéêè ïó÷êà ëàçåðà.
ïðåäåëåíèå ñâåòîâîãî ïÿòíà â ïëîñêîñòè ÔÏÓ â ñëåäóþùåì âèäå:
( )U1
(
x,
y)
=
exp
⎡ ⎣
−
x2/rx2 + y2/ry2
⎤ ⎦
,
(1)
ãäå rx è ry – ñîîòâåòñòâóþùèå ðàçìåðû ïÿòíà ñâåòà ïî óðîâíþ 1/e.
Íîðìèðîâàííàÿ èíòåíñèâíîñòü ñâåòà (ïðèíèìàëàñü çà èñõîäíóþ) â ýòîì ñëó÷àå ðàâíà
( )I1(x, y) = U12 (x, y) = exp ⎡⎣−2 x2/rx2 + y2/ry2 ⎦⎤. (2)
Ïåðèîäè÷åñêàÿ ñîâîêóïíîñòü ìåòàëëè÷åñêèõ ýëåêòðîäîâ â ïðîìåæóòêàõ ìåæäó ôîòîïðèåìíûìè ýëåìåíòàìè ÔÏÓ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé îòðàæàòåëüíóþ äèôðàêöèîííóþ ðåøåòêó (pèñ. 4), îòðàæàþùèå ýëåìåíòû êîòîðîé øèðèíîé h ðàñïîëîæåíû ñ ïåðèîäîì d.
Îáîçíà÷èâ êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ ýëåìåíòîâ ðåøåòêè ïî èíòåíñèâíîñòè ÷åðåç ρ, àìïëèòóäíîå “ïðîïóñêàíèå” (â îòðàæåííîì ñâåòå) òàêîé ðåøåòêè ïðåäñòàâèì â âèäå
n
C(x, y) = ρ ∑ rect[( y − id )/h], i=−n
(3)
ãäå êîëè÷åñòâî ýëåìåíòîâ ðåøåòêè ðàâíî N = 2n + 1.  òîì ñëó÷àå, êîãäà øèðèíà ðåøåòêè Nd ãîðàçäî
áîëüøå ðàçìåðîâ ñâåòîâîãî ïÿòíà, ÷òî õîðîøî âûïîëíÿåòñÿ íà ïðàêòèêå, åå ìîæíî ñ÷èòàòü áåñêîíå÷íî ïðîòÿæåííîé, ïîëîæèâ â (3) n = ∞.
Òîãäà ñïåêòðàëüíàÿ ôóíêöèÿ ðåøåòêè ðàâíà
∞
∑S(νx, ν y ) = ck δ ⎡⎣νx, (ν y − kν0 )⎤⎦, k =−∞
(4)
ãäå k = 0, ± 1, ± 2… – ïîðÿäîê äèôðàêöèè, νx, νy – ïðîñòðàíñòâåííûå ÷àñòîòû ïî ñîîòâåòñòâóþùèì îñÿì, ν0 = 1/d, ck – êîýôôèöèåíòû ðàçëîæåíèÿ àìïëèòóäíîãî “ïðîïóñêàíèÿ” ðåøåòêè C(x, y) â ðÿä Ôóðüå
hd
âåòñòâóåò îäíîìåðíîé ðåøåòêå, ñîñòîÿùåé èç ìåæýëåìåíòíûõ ýëåêòðîäîâ.
Òàêèì îáðàçîì, îòðàæåííûå îò ñòðóêòóðû ÏÇÑ äèôðàêöèîííûå ïîðÿäêè, ïîâòîðíî îòðàçèâøèñü îò ãðàíåé ïîêðîâíîãî ñòåêëÿííîãî îêíà ëèíåéêè [2], âîçäåéñòâóþò íà ôîòî÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ïðèåìíèêà è ïðè äîñòàòî÷íî âûñîêîì óðîâíå ñâåòîâîãî ñèãíàëà äàþò èçîáðàæåííóþ íà ðèñ. 1 êàðòèíó.
 ðàáîòå ïðîâåäåí ðàñ÷åò ïàðàìåòðîâ óêàçàííîãî ÿâëåíèÿ. Äëÿ ÷åãî çàäàâàëîñü àìïëèòóäíîå ðàñ-
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
x zy
Ðèñ. 4. Ìîäåëü îäíîìåðíîé îòðàæàòåëüíîé äèôðàêöèîííîé ðåøåòêè.
75
∞
∑C(x, y) = ck exp( j2πkν0 y), k =−∞
(5)
ïðè÷åì êîýôôèöèåíòû ck íàõîäÿòñÿ èç âûðàæåíèÿ
0,5d
∫ck = (1/d ) C(x, y) exp(− j2πkν0 y)dy. −0,5d
(6)
Ó÷èòûâàÿ, ÷òî àìïëèòóäíûé ñïåêòð ïðîäèôðàãèðîâàâøåãî íà ðåøåòêå ñâåòîâîãî ïîëÿ â ôðàóí-
ãîôåðîâñêîì ïðèáëèæåíèè [3] ìîæíî ïðåäñòàâèòü êàê
( )U2 νx, νy = [exp( j2πz/λ)/jλz]×
(7)
( ) ( )×exp ⎡⎣ jπλz
ν
2 x
+
ν
2 y
⎦⎤ F [U1(x, y)]∗S
νx,νy
,
ãäå F [U1(x, y)] – ñïåêòð ôóíêöèè U1(x, y), à çíàê * îáîçíà÷àåò ñâåðòêó ôóíêöèé. Äëÿ ñïåêòðà ñâåòà, “îòðàçèâøåãîñÿ” îò ðåøåòêè, ïîëó÷àåòñÿ
( ) ( )U2
νx,νy
= [exp( j2πz/λ)/jλz]exp ⎡⎣ j πλz
ν
2 x
+
ν
2 y
⎤⎦ πrxry ×
∞ ⎡ ∞∞
⎤
∑ ∫ ∫ ( ) ( ) ( )× k=−∞ ⎣⎢⎢ck −∞ −∞ exp
−π2 rx2 ξ2x
exp
− π2 ry2 ξ 2y
δ
⎣⎡(ν
x
−
ξ
x
),
(ν
y
−
k
ν0
−
ξ
y
)
⎦⎤
d
ξ
x
d
ξ
y
⎥ ⎥⎦
=
exp ⎣⎡ j
2πz/λ +
πλz(ν
2 x
+
ν
2 y
)
⎦⎤ ×
∞
( ) ∑× ⎣⎡πrxry/jλz⎤⎦ exp
−π2
rx2ν
2 x
ck exp ⎡⎣−π2ry2 (ν y − kν0 )2 ⎦⎤.
(8)
k =−∞
Ó÷èòûâàÿ, ÷òî νx = x/λz, νy = y/λz, è ïðèíèìàÿ âî âíèìàíèå îòðàæåíèå îò âõîäíîãî ñòåêëà ÔÏÓ (êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ ïî èíòåíñèâíîñòè – Γ), äëÿ ðàñïðåäåëåíèÿ èíòåíñèâíîñòè ïðî-
äèôðàãèðîâàâøåãî íà ñòðóêòóðå ÔÏÓ, çàòåì îòðàæåííîãî îò âõîäíîãî ñòåêëà è âíîâü âîçäåéñòâóþùåãî íà ôîòîïðèåìíûå ýëåìåíòû ÔÏÓ ñâåòà, ïîëó÷àåì
( ) ∑I2 (x, y) = Γ
πrxry /λz
2
exp
⎣⎡−2
(
πrx
x/λz
)2
⎤ ⎦
k
∞ =−∞
ck
exp
⎣⎡−π2ry2
(
y/λz
−
kν0
)2
⎤ ⎦
2
.
(9)
Ðàññ÷èòàííîå ñîãëàñíî âûðàæåíèþ (9) ðàñïðåäåëåíèå èíòåíñèâíîñòè â ïëîñêîñòè õ = 0 äëÿ: λ = 0,657 ìêì, d = 10 ìêì, h = 2 ìêì, r0x = 5 ìêì, r0y = 10 ìêì, ρ = 0,5, Γ = 0,1, z = 2 ìì, ïðåäñòàâëåíî íà ðèñ. 5.
3
I (0, y)×105, Âò0,5/ì
2
1
0
–0,4 –0,2 0
0,2 0,4 y, ìì
Ðèñ. 5. Ðàñ÷åòíîå ðàñïðåäåëåíèå èíòåíñèâíîñòè ñâåòà, ïðîäèôðàãèðîâàâøåãî íà ñòðóêòóðå ÔÏÓ.
Ðàñïðåäåëåíèå èíòåíñèâíîñòè â îòäåëüíûõ äèôðàêöèîííûõ ïîðÿäêàõ îïèñûâàåòñÿ âûðàæåíèåì
( )I2k (x, y) = Γ
πrxry /λz
2
exp
⎡ ⎣
−2
(
πrx
x/λz
)2
⎤ ⎦
×
(10)
( )×exp ⎢⎡⎣−2
πry y/λz
2⎤ ⎥⎦
ck
2.
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ ñîîòíîøåíèÿ âåëè÷èí ñèãíà-
ëîâ – èñõîäíîãî è ñîçäàâàåìîãî k-ì ïîðÿäêîì, íå-
îáõîäèìî ïðîèíòåãðèðîâàòü ñîîòíîøåíèÿ (2) è (10)
ïî ïëîùàäêå åäèíè÷íîé ôîòîïðèåìíîé ÿ÷åéêè ÔÏÓ
ñ ðàçìåðàìè ax×ay:
0,5ax 0,5ay
( ) ∫ ∫I1 = 1/axay
I1(x, y) dxdy,
−0,5ax −0,5ay
0,5ax 0,5ay
( ) ∫ ∫I2k = 1/axay
I2k (x, y) dxdy.
−0,5ax −0,5ay
Ïðè ýòîì îòíîøåíèå èíòåíñèâíîñòåé, âûðàæåííîå â äÁ è õàðàêòåðèçóþùåå “ïîëíûé” äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí ÔÏÓ, ðàâíÿåòñÿ
76 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
I1/I21, äÁ 60
50
1
40
2 3
4
0
0,2 0,4
0,6 0,8
ρ
Ðèñ. 6. Çàâèñèìîñòè äèíàìè÷åñêîãî äèàïàçîíà îò êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ýëåêòðîäîâ òîïîëîãè÷åñêîé ñòðóêòóðû ÔÏÓ (z = 2 ìì). 1 – Γ = 0,05, 2 – Γ = 0,1, 3 – Γ = 0,15, 4 – Γ = 0,2.
I1/I21, äÁ
50
45 1 2
40 3 4
35 1,0 1,4 1,8 2,2 2,6 z, ìì
Ðèñ. 7. Çàâèñèìîñòè äèíàìè÷åñêîãî äèàïàçîíà îò óäâîåííîãî ðàññòîÿíèÿ ìåæäó ñòðóêòóðîé è ïîêðîâíûì ñòåêëîì ÔÏÓ (Γ = 0,1). 1 – ρ = 0,2, 2 – ρ = 0,4, 3 – ρ = 0,6, 4 – ρ = 0,8.
Dk = 10lg(I1/I2k).
(11)
Íà ðèñ. 6 ïðèâåäåíû çàâèñèìîñòè îòíîøåíèÿ èñõîäíîé èíòåíñèâíîñòè è èíòåíñèâíîñòè ïåðâîãî (êàê íàèáîëåå îïàñíîãî) äèôðàêöèîííîãî ïîðÿäêà, ò. å. âåëè÷èíû D1 îò êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ρ
ýëåêòðîäîâ òîïîëîãè÷åñêîé ñòðóêòóðû ÔÏÓ ïðè ðàçëè÷íûõ Γ (ðàçìåðû ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ÿ÷åéêè ïîëàãàëèñü ðàâíûìè ax = ay = 10 ìêì).
Çàâèñèìîñòè D1 îò ðàññòîÿíèÿ z, õàðàêòåðèçóþùåãî ïîëîæåíèå (z/2) ïëîñêîñòè îòðàæåíèÿ îò âõîäíîãî ñòåêëà ÔÏÓ îòíîñèòåëüíî ôîòîïðèåìíîé îáëàñòè, ïðè ðàçíûõ ρ è ïðè Γ = 0,1, ïðèâåäåíû íà ðèñ. 7.
Äëÿ ïîëó÷åíèÿ òî÷íîãî çíà÷åíèÿ D1 íåîáõîäèìî çíàòü òåõíîëîãè÷åñêèå ïàðàìåòðû (êîýôôèöèåíòû ρ è Γ) êîíêðåòíîãî ôîòîïðèåìíèêà.
 êà÷åñòâå ïðèìåðà, ðàññ÷èòàåì D1 äëÿ íåêîòîðîé ÏÇÑ ëèíåéêè, îáëàäàþùåé ñëåäóþùèìè ïàðàìåòðàìè: d = 15 ìêì, h = 2 ìêì, ρ = 0,5, Γ = 0,05, z = 2 ìì, ïðè âîçäåéñòâèè íà ÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ÏÇÑ ñâåòîâîãî ïó÷êà ñ ïàðàìåòðàìè: λ = = 0,657 ìêì, r0x = 5 ìêì, r0y = 10 ìêì.  ýòîì ñëó÷àå ïîëíûé äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí D1 òàêîãî ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà, ñîãëàñíî âûðàæåíèþ (11), ñîñòàâèò îêîëî 46 äÁ.
 çàêëþ÷åíèè ìîæíî óêàçàòü íàèáîëåå ïðîñòûå ìåðû, íàïðàâëåííûå íà óìåíüøåíèå ðàññìîòðåííûõ âûøå äèôðàêöèîííûõ ÿâëåíèé. Ïåðâûì è íàèáîëåå îáùèì ñïîñîáîì ÿâëÿåòñÿ ñíèæåíèå êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ òîêîïðîâîäÿùèõ ýëåêòðîäîâ, ñîñòàâëÿþùèõ òîïîëîãè÷åñêóþ ñòðóêòóðó è îêðóæàþùèõ ôîòî÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ÏÇÑ ëèíåéêè. Äðóãèì ñïîñîáîì, â òåõ ñëó÷àÿõ, êîãäà îáëàñòü ïðèìåíåíèÿ ôîòîïðèåìíèêà ïðåäïîëàãàåò èñïîëüçîâàíèå äîñòàòî÷íî óçêîé ÷àñòè îïòè÷åñêîãî äèàïàçîíà, ÿâëÿåòñÿ äâóñòîðîííåå ïðîñâåòëåíèå ïîêðîâíîãî îêíà ÏÇÑ.
 ñëó÷àå, êîãäà óêàçàííûå ìåðû íåäîñòóïíû, ñíèçèòü íåæåëàòåëüíûå äèôðàêöèîííûå ýôôåêòû ïîçâîëèò ïîâîðîò ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà â ïëîñêîñòè, ïåðïåíäèêóëÿðíîé ïëîñêîñòè äèôðàêöèè, ÷òî ïîçâîëèò äîñòè÷ü âåëè÷èíû ïîëíîãî ÄÄ, ïðåâûøàþùåé 60 äÁ.
ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ
11. Ðîçäîáóäüêî Â.Â., Ïåëèïåíêî Ì.È. Áûñòðîäåéñòâóþùèé èçìåðèòåëü ïàðàìåòðîâ ÑÂ× ðàäèîñèãíàëîâ // Ñïåöèàëüíàÿ òåõíèêà. 2006. ¹ 1. Ñ. 28–36.
12. http://www.e2v.com
13. Ãóäìåí Äæ. Ââåäåíèå â ôóðüå-îïòèêó / Ïåð. ñ àíãë. Ì.: Ìèð, 1970. 364 ñ.
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
77
ÎÑÎÁÅÍÍÎÑÒÈ ÏÐÈÌÅÍÅÍÈß ÏÇÑ ÔÎÒÎÏÐÈÅÌÍÈÊΠ ÀÊÓÑÒÎ-ÎÏÒÈ×ÅÑÊÈÕ ÑÐÅÄÑÒÂÀÕ ÎÁÐÀÁÎÒÊÈ ÈÍÔÎÐÌÀÖÈÈ
© 2008 ã. Ñ. Ñ. Øèáàåâ, êàíä. òåõí. íàóê Òåõíîëîãè÷åñêèé èíñòèòóò Þæíîãî ôåäåðàëüíîãî óíèâåðñèòåòà, Òàãàíðîã E-mail: sshib75@mail.ru
Òåîðåòè÷åñêè è ýêñïåðèìåíòàëüíî ïðîàíàëèçèðîâàíû êîíñòðóêòîðñêî-òåõíîëîãè÷åñêèå îñîáåííîñòè ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêîâ, ïðîÿâëÿþùèåñÿ ïðè ñðàâíèòåëüíî âûñîêèõ óðîâíÿõ èíòåíñèâíîñòè âîçäåéñòâóþùèõ íà íèõ îïòè÷åñêèõ ñèãíàëîâ. Äàíû ïðàêòè÷åñêèå ðåêîìåíäàöèè ïî ñíèæåíèþ âëèÿíèÿ óïîìÿíóòûõ îñîáåííîñòåé ïðè èñïîëüçîâàíèè ôîòîïðèåìíèêîâ â ñîñòàâå ñðåäñòâ îáðàáîòêè îïòè÷åñêîé èíôîðìàöèè.
Êîäû OCIS: 040.1520, 070.1060, 250.0250.
Ïîñòóïèëà â ðåäàêöèþ 06.02.2008.
Ïðè îáû÷íîì ïðèìåíåíèè ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêîâ äëÿ ðåøåíèÿ çàäà÷ ñïåêòðîñêîïèè, ñêàíèðîâàíèÿ è îöèôðîâêè èçîáðàæåíèé øèðîêî èñïîëüçóåòñÿ îïðåäåëåíèå èõ äèíàìè÷åñêîãî äèàïàçîíà (ÄÄ) êàê îòíîøåíèå óðîâíÿ ñèãíàëà, ñîîòâåòñòâóþùåãî âåðõíåé ãðàíèöå ëèíåéíîãî ó÷àñòêà àìïëèòóäíîé õàðàêòåðèñòèêè ÏÇÑ, ê óðîâíþ øóìîâ ñ÷èòûâàíèÿ.
Îäíàêî â ðÿäå ïðèìåíåíèé ëèíåéíîñòü àìïëèòóäíîé õàðàêòåðèñòèêè íå ñòîëü êðèòè÷íà. Îäíèìè èç òàêèõ ïðèìåíåíèé ÿâëÿþòñÿ, íàïðèìåð, àêóñòîîïòè÷åñêèå (ÀÎ) ñðåäñòâà îáðàáîòêè èíôîðìàöèè, â ÷àñòíîñòè, ÀÎ èçìåðèòåëè ïàðàìåòðîâ ðàäèîñèãíàëîâ, â êîòîðûõ íå ïðåäúÿâëÿåòñÿ æåñòêèõ òðåáîâàíèé ê òî÷íîñòè îòñ÷åòà óðîâíåé ïðèíèìàåìûõ ñèãíàëîâ, à ðåøàåòñÿ çàäà÷à îïðåäåëåíèÿ ÷àñòîòíûõ ïàðàìåòðîâ ðàäèîñèãíàëîâ â ýêñòðåìàëüíî øèðîêîì äèàïàçîíå èõ âõîäíûõ óðîâíåé.
 íàñòîÿùåé ðàáîòå ïîêàçàíî, ÷òî “ñëàáûì çâåíîì” â äîñòèæåíèè âûñîêîé äèíàìèêè ÀÎ èçìåðèòåëåé èëè äðóãèõ óñòðîéñòâ, ãäå òðåáóåòñÿ âûñîêèé ÄÄ, ìîæåò âûñòóïàòü ôîòîïðèåìíîå óñòðîéñòâî (ÔÏÓ), ïðè÷åì îãðàíè÷åíèå ÄÄ ìîæåò áûòü íå ñâÿçàíî ñ ýëåêòðè÷åñêèìè ïàðàìåòðàìè ñàìîãî ÔÏÓ, åãî ÄÄ, à îïðåäåëÿòüñÿ êîíñòðóêòèâíûìè îñîáåííîñòÿìè åãî êîðïóñà, ýëåìåíòàìè çàùèòû ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé îáëàñòè è ñàìîé ãåîìåòðèåé (òîïîëîãèåé) ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ïëîùàäêè ìíîãîýëåìåíòíîãî ÔÏÓ.
 ðàáîòå ïîêàçàíî, ÷òî äèôðàêöèÿ “â îòðàæåííîì ñâåòå”, âîçíèêàþùàÿ è ïðîÿâëÿþùàÿñÿ ïðè ïîâûøåííîì óðîâíå ñâåòîâîãî ñèãíàëà íà óïîðÿäî÷åííîé ñòðóêòóðå ôîòîäèîäîâ ÔÏÓ, ÿâëÿåòñÿ ïðè÷èíîé è èñòî÷íèêîì ïàðàçèòíûõ ñâåòîâûõ ñèãíàëîâ. Ïðèñóòñòâèå ïîñëåäíèõ íåïîñðåäñòâåííî â ïëîñêîñòè ÔÏÓ â êîíå÷íîì ñ÷åòå è îãðàíè÷èâàåò åãî ïîëíóþ, ñâåðõ ëèíåéíîé äèíàìèêó.
Âûøåñêàçàííîå èëëþñòðèðóåòñÿ ýêñïåðèìåíòàëüíîé îñöèëëîãðàììîé ñíÿòîãî ñ ÔÏÓ âèäåîñèã-
íàëà, ïðåäñòàâëåííîé íà ðèñ. 1, íà êîòîðîì, ïîìèìî îñíîâíîãî ïîëåçíîãî ñèãíàëà áîëüøîãî óðîâíÿ íàáëþäàåòñÿ ðÿä ñâåòîâûõ ñèãíàëîâ, îáðàçîâàííûõ äèôðàêöèîííûìè ýôôåêòàìè. Ïîñëåäíèå è ÿâëÿþòñÿ ïàðàçèòíûìè èëè ïîìåõîâûìè ñèãíàëàìè, îãðàíè÷èâàþùèìè ÄÄ.
Äàííîå ÿâëåíèå áûëî îáíàðóæåíî ïðè èñïîëüçîâàíèè ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà â ñîñòàâå ÀÎ èçìåðèòåëÿ, äåòàëüíîå îïèñàíèå êîòîðîãî ïðåäñòàâëåíî â ðàáîòå [1].
Äëÿ ïîÿñíåíèÿ âûñêàçàííîãî óòâåðæäåíèÿ ðàññìîòðèì êîíñòðóêöèþ èññëåäóåìîé ÏÇÑ ëèíåéêè òèïà TH7813 ïðîèçâîäñòâà ôèðìû “E2ν” – ðèñ. 2. Ôîòî÷óâñòâèòåëüíàÿ îáëàñòü À îáðàìëåíà ìåòàëëè÷åñêèìè ýëåêòðîäàìè ñ ïåðèîäîì ðàñïîëîæåíèÿ, îðèåíòèðîâî÷íî ðàâíûì ðàçìåðó îäíîãî ôîòîýëåìåíòà è ñîñòàâëÿþùèì 10 ìêì. Äèôðàêöèÿ ñôîêóñèðîâàííîãî íà îáëàñòü À ëèíåéêè ïó÷êà ïîêàçàíà íà ðèñ. 3.  ýòîì ñëó÷àå ðåçóëüòàò äèôðàêöèè ñîîò-
10 ìÂ/äåë ~40–45 äÁ
22
1
200 íñ/äåë
Ðèñ. 1. Îñöèëëîãðàììà âèäåîñèãíàëà ñ ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà. 1 – ïîëåçíûé ñèãíàë, 2 – ïîìåõîâûå ñèãíàëû.
74 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
À
Ðèñ. 2. Ìèêðîôîòîãðàôèÿ òîïîëîãè÷åñêîé ñòðóêòóðû ÏÇÑ ëèíåéêè òèïà TH7813. À – ôîòî÷óâñòâèòåëüíàÿ îáëàñòü.
Ðèñ. 3. Êàðòèíà äèôðàêöèè ñôîêóñèðîâàííîãî íà ôîòî÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ÏÇÑ ëèíåéêè ïó÷êà ëàçåðà.
ïðåäåëåíèå ñâåòîâîãî ïÿòíà â ïëîñêîñòè ÔÏÓ â ñëåäóþùåì âèäå:
( )U1
(
x,
y)
=
exp
⎡ ⎣
−
x2/rx2 + y2/ry2
⎤ ⎦
,
(1)
ãäå rx è ry – ñîîòâåòñòâóþùèå ðàçìåðû ïÿòíà ñâåòà ïî óðîâíþ 1/e.
Íîðìèðîâàííàÿ èíòåíñèâíîñòü ñâåòà (ïðèíèìàëàñü çà èñõîäíóþ) â ýòîì ñëó÷àå ðàâíà
( )I1(x, y) = U12 (x, y) = exp ⎡⎣−2 x2/rx2 + y2/ry2 ⎦⎤. (2)
Ïåðèîäè÷åñêàÿ ñîâîêóïíîñòü ìåòàëëè÷åñêèõ ýëåêòðîäîâ â ïðîìåæóòêàõ ìåæäó ôîòîïðèåìíûìè ýëåìåíòàìè ÔÏÓ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé îòðàæàòåëüíóþ äèôðàêöèîííóþ ðåøåòêó (pèñ. 4), îòðàæàþùèå ýëåìåíòû êîòîðîé øèðèíîé h ðàñïîëîæåíû ñ ïåðèîäîì d.
Îáîçíà÷èâ êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ ýëåìåíòîâ ðåøåòêè ïî èíòåíñèâíîñòè ÷åðåç ρ, àìïëèòóäíîå “ïðîïóñêàíèå” (â îòðàæåííîì ñâåòå) òàêîé ðåøåòêè ïðåäñòàâèì â âèäå
n
C(x, y) = ρ ∑ rect[( y − id )/h], i=−n
(3)
ãäå êîëè÷åñòâî ýëåìåíòîâ ðåøåòêè ðàâíî N = 2n + 1.  òîì ñëó÷àå, êîãäà øèðèíà ðåøåòêè Nd ãîðàçäî
áîëüøå ðàçìåðîâ ñâåòîâîãî ïÿòíà, ÷òî õîðîøî âûïîëíÿåòñÿ íà ïðàêòèêå, åå ìîæíî ñ÷èòàòü áåñêîíå÷íî ïðîòÿæåííîé, ïîëîæèâ â (3) n = ∞.
Òîãäà ñïåêòðàëüíàÿ ôóíêöèÿ ðåøåòêè ðàâíà
∞
∑S(νx, ν y ) = ck δ ⎡⎣νx, (ν y − kν0 )⎤⎦, k =−∞
(4)
ãäå k = 0, ± 1, ± 2… – ïîðÿäîê äèôðàêöèè, νx, νy – ïðîñòðàíñòâåííûå ÷àñòîòû ïî ñîîòâåòñòâóþùèì îñÿì, ν0 = 1/d, ck – êîýôôèöèåíòû ðàçëîæåíèÿ àìïëèòóäíîãî “ïðîïóñêàíèÿ” ðåøåòêè C(x, y) â ðÿä Ôóðüå
hd
âåòñòâóåò îäíîìåðíîé ðåøåòêå, ñîñòîÿùåé èç ìåæýëåìåíòíûõ ýëåêòðîäîâ.
Òàêèì îáðàçîì, îòðàæåííûå îò ñòðóêòóðû ÏÇÑ äèôðàêöèîííûå ïîðÿäêè, ïîâòîðíî îòðàçèâøèñü îò ãðàíåé ïîêðîâíîãî ñòåêëÿííîãî îêíà ëèíåéêè [2], âîçäåéñòâóþò íà ôîòî÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ïðèåìíèêà è ïðè äîñòàòî÷íî âûñîêîì óðîâíå ñâåòîâîãî ñèãíàëà äàþò èçîáðàæåííóþ íà ðèñ. 1 êàðòèíó.
 ðàáîòå ïðîâåäåí ðàñ÷åò ïàðàìåòðîâ óêàçàííîãî ÿâëåíèÿ. Äëÿ ÷åãî çàäàâàëîñü àìïëèòóäíîå ðàñ-
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
x zy
Ðèñ. 4. Ìîäåëü îäíîìåðíîé îòðàæàòåëüíîé äèôðàêöèîííîé ðåøåòêè.
75
∞
∑C(x, y) = ck exp( j2πkν0 y), k =−∞
(5)
ïðè÷åì êîýôôèöèåíòû ck íàõîäÿòñÿ èç âûðàæåíèÿ
0,5d
∫ck = (1/d ) C(x, y) exp(− j2πkν0 y)dy. −0,5d
(6)
Ó÷èòûâàÿ, ÷òî àìïëèòóäíûé ñïåêòð ïðîäèôðàãèðîâàâøåãî íà ðåøåòêå ñâåòîâîãî ïîëÿ â ôðàóí-
ãîôåðîâñêîì ïðèáëèæåíèè [3] ìîæíî ïðåäñòàâèòü êàê
( )U2 νx, νy = [exp( j2πz/λ)/jλz]×
(7)
( ) ( )×exp ⎡⎣ jπλz
ν
2 x
+
ν
2 y
⎦⎤ F [U1(x, y)]∗S
νx,νy
,
ãäå F [U1(x, y)] – ñïåêòð ôóíêöèè U1(x, y), à çíàê * îáîçíà÷àåò ñâåðòêó ôóíêöèé. Äëÿ ñïåêòðà ñâåòà, “îòðàçèâøåãîñÿ” îò ðåøåòêè, ïîëó÷àåòñÿ
( ) ( )U2
νx,νy
= [exp( j2πz/λ)/jλz]exp ⎡⎣ j πλz
ν
2 x
+
ν
2 y
⎤⎦ πrxry ×
∞ ⎡ ∞∞
⎤
∑ ∫ ∫ ( ) ( ) ( )× k=−∞ ⎣⎢⎢ck −∞ −∞ exp
−π2 rx2 ξ2x
exp
− π2 ry2 ξ 2y
δ
⎣⎡(ν
x
−
ξ
x
),
(ν
y
−
k
ν0
−
ξ
y
)
⎦⎤
d
ξ
x
d
ξ
y
⎥ ⎥⎦
=
exp ⎣⎡ j
2πz/λ +
πλz(ν
2 x
+
ν
2 y
)
⎦⎤ ×
∞
( ) ∑× ⎣⎡πrxry/jλz⎤⎦ exp
−π2
rx2ν
2 x
ck exp ⎡⎣−π2ry2 (ν y − kν0 )2 ⎦⎤.
(8)
k =−∞
Ó÷èòûâàÿ, ÷òî νx = x/λz, νy = y/λz, è ïðèíèìàÿ âî âíèìàíèå îòðàæåíèå îò âõîäíîãî ñòåêëà ÔÏÓ (êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ ïî èíòåíñèâíîñòè – Γ), äëÿ ðàñïðåäåëåíèÿ èíòåíñèâíîñòè ïðî-
äèôðàãèðîâàâøåãî íà ñòðóêòóðå ÔÏÓ, çàòåì îòðàæåííîãî îò âõîäíîãî ñòåêëà è âíîâü âîçäåéñòâóþùåãî íà ôîòîïðèåìíûå ýëåìåíòû ÔÏÓ ñâåòà, ïîëó÷àåì
( ) ∑I2 (x, y) = Γ
πrxry /λz
2
exp
⎣⎡−2
(
πrx
x/λz
)2
⎤ ⎦
k
∞ =−∞
ck
exp
⎣⎡−π2ry2
(
y/λz
−
kν0
)2
⎤ ⎦
2
.
(9)
Ðàññ÷èòàííîå ñîãëàñíî âûðàæåíèþ (9) ðàñïðåäåëåíèå èíòåíñèâíîñòè â ïëîñêîñòè õ = 0 äëÿ: λ = 0,657 ìêì, d = 10 ìêì, h = 2 ìêì, r0x = 5 ìêì, r0y = 10 ìêì, ρ = 0,5, Γ = 0,1, z = 2 ìì, ïðåäñòàâëåíî íà ðèñ. 5.
3
I (0, y)×105, Âò0,5/ì
2
1
0
–0,4 –0,2 0
0,2 0,4 y, ìì
Ðèñ. 5. Ðàñ÷åòíîå ðàñïðåäåëåíèå èíòåíñèâíîñòè ñâåòà, ïðîäèôðàãèðîâàâøåãî íà ñòðóêòóðå ÔÏÓ.
Ðàñïðåäåëåíèå èíòåíñèâíîñòè â îòäåëüíûõ äèôðàêöèîííûõ ïîðÿäêàõ îïèñûâàåòñÿ âûðàæåíèåì
( )I2k (x, y) = Γ
πrxry /λz
2
exp
⎡ ⎣
−2
(
πrx
x/λz
)2
⎤ ⎦
×
(10)
( )×exp ⎢⎡⎣−2
πry y/λz
2⎤ ⎥⎦
ck
2.
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ ñîîòíîøåíèÿ âåëè÷èí ñèãíà-
ëîâ – èñõîäíîãî è ñîçäàâàåìîãî k-ì ïîðÿäêîì, íå-
îáõîäèìî ïðîèíòåãðèðîâàòü ñîîòíîøåíèÿ (2) è (10)
ïî ïëîùàäêå åäèíè÷íîé ôîòîïðèåìíîé ÿ÷åéêè ÔÏÓ
ñ ðàçìåðàìè ax×ay:
0,5ax 0,5ay
( ) ∫ ∫I1 = 1/axay
I1(x, y) dxdy,
−0,5ax −0,5ay
0,5ax 0,5ay
( ) ∫ ∫I2k = 1/axay
I2k (x, y) dxdy.
−0,5ax −0,5ay
Ïðè ýòîì îòíîøåíèå èíòåíñèâíîñòåé, âûðàæåííîå â äÁ è õàðàêòåðèçóþùåå “ïîëíûé” äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí ÔÏÓ, ðàâíÿåòñÿ
76 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
I1/I21, äÁ 60
50
1
40
2 3
4
0
0,2 0,4
0,6 0,8
ρ
Ðèñ. 6. Çàâèñèìîñòè äèíàìè÷åñêîãî äèàïàçîíà îò êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ýëåêòðîäîâ òîïîëîãè÷åñêîé ñòðóêòóðû ÔÏÓ (z = 2 ìì). 1 – Γ = 0,05, 2 – Γ = 0,1, 3 – Γ = 0,15, 4 – Γ = 0,2.
I1/I21, äÁ
50
45 1 2
40 3 4
35 1,0 1,4 1,8 2,2 2,6 z, ìì
Ðèñ. 7. Çàâèñèìîñòè äèíàìè÷åñêîãî äèàïàçîíà îò óäâîåííîãî ðàññòîÿíèÿ ìåæäó ñòðóêòóðîé è ïîêðîâíûì ñòåêëîì ÔÏÓ (Γ = 0,1). 1 – ρ = 0,2, 2 – ρ = 0,4, 3 – ρ = 0,6, 4 – ρ = 0,8.
Dk = 10lg(I1/I2k).
(11)
Íà ðèñ. 6 ïðèâåäåíû çàâèñèìîñòè îòíîøåíèÿ èñõîäíîé èíòåíñèâíîñòè è èíòåíñèâíîñòè ïåðâîãî (êàê íàèáîëåå îïàñíîãî) äèôðàêöèîííîãî ïîðÿäêà, ò. å. âåëè÷èíû D1 îò êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ρ
ýëåêòðîäîâ òîïîëîãè÷åñêîé ñòðóêòóðû ÔÏÓ ïðè ðàçëè÷íûõ Γ (ðàçìåðû ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ÿ÷åéêè ïîëàãàëèñü ðàâíûìè ax = ay = 10 ìêì).
Çàâèñèìîñòè D1 îò ðàññòîÿíèÿ z, õàðàêòåðèçóþùåãî ïîëîæåíèå (z/2) ïëîñêîñòè îòðàæåíèÿ îò âõîäíîãî ñòåêëà ÔÏÓ îòíîñèòåëüíî ôîòîïðèåìíîé îáëàñòè, ïðè ðàçíûõ ρ è ïðè Γ = 0,1, ïðèâåäåíû íà ðèñ. 7.
Äëÿ ïîëó÷åíèÿ òî÷íîãî çíà÷åíèÿ D1 íåîáõîäèìî çíàòü òåõíîëîãè÷åñêèå ïàðàìåòðû (êîýôôèöèåíòû ρ è Γ) êîíêðåòíîãî ôîòîïðèåìíèêà.
 êà÷åñòâå ïðèìåðà, ðàññ÷èòàåì D1 äëÿ íåêîòîðîé ÏÇÑ ëèíåéêè, îáëàäàþùåé ñëåäóþùèìè ïàðàìåòðàìè: d = 15 ìêì, h = 2 ìêì, ρ = 0,5, Γ = 0,05, z = 2 ìì, ïðè âîçäåéñòâèè íà ÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ÏÇÑ ñâåòîâîãî ïó÷êà ñ ïàðàìåòðàìè: λ = = 0,657 ìêì, r0x = 5 ìêì, r0y = 10 ìêì.  ýòîì ñëó÷àå ïîëíûé äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí D1 òàêîãî ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà, ñîãëàñíî âûðàæåíèþ (11), ñîñòàâèò îêîëî 46 äÁ.
 çàêëþ÷åíèè ìîæíî óêàçàòü íàèáîëåå ïðîñòûå ìåðû, íàïðàâëåííûå íà óìåíüøåíèå ðàññìîòðåííûõ âûøå äèôðàêöèîííûõ ÿâëåíèé. Ïåðâûì è íàèáîëåå îáùèì ñïîñîáîì ÿâëÿåòñÿ ñíèæåíèå êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ òîêîïðîâîäÿùèõ ýëåêòðîäîâ, ñîñòàâëÿþùèõ òîïîëîãè÷åñêóþ ñòðóêòóðó è îêðóæàþùèõ ôîòî÷óâñòâèòåëüíóþ îáëàñòü ÏÇÑ ëèíåéêè. Äðóãèì ñïîñîáîì, â òåõ ñëó÷àÿõ, êîãäà îáëàñòü ïðèìåíåíèÿ ôîòîïðèåìíèêà ïðåäïîëàãàåò èñïîëüçîâàíèå äîñòàòî÷íî óçêîé ÷àñòè îïòè÷åñêîãî äèàïàçîíà, ÿâëÿåòñÿ äâóñòîðîííåå ïðîñâåòëåíèå ïîêðîâíîãî îêíà ÏÇÑ.
 ñëó÷àå, êîãäà óêàçàííûå ìåðû íåäîñòóïíû, ñíèçèòü íåæåëàòåëüíûå äèôðàêöèîííûå ýôôåêòû ïîçâîëèò ïîâîðîò ÏÇÑ ôîòîïðèåìíèêà â ïëîñêîñòè, ïåðïåíäèêóëÿðíîé ïëîñêîñòè äèôðàêöèè, ÷òî ïîçâîëèò äîñòè÷ü âåëè÷èíû ïîëíîãî ÄÄ, ïðåâûøàþùåé 60 äÁ.
ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ
11. Ðîçäîáóäüêî Â.Â., Ïåëèïåíêî Ì.È. Áûñòðîäåéñòâóþùèé èçìåðèòåëü ïàðàìåòðîâ ÑÂ× ðàäèîñèãíàëîâ // Ñïåöèàëüíàÿ òåõíèêà. 2006. ¹ 1. Ñ. 28–36.
12. http://www.e2v.com
13. Ãóäìåí Äæ. Ââåäåíèå â ôóðüå-îïòèêó / Ïåð. ñ àíãë. Ì.: Ìèð, 1970. 364 ñ.
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008
77