Например, Бобцов

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СЕЛЕНИДА ЦИНКА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОЛИРОВАЛЬНЫХ СМОЛ НА ОСНОВЕ КАНИФОЛИ

ÓÄÊ 539.4.015: 661.1.053.5

ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÀ ÏÎËÈÐÎÂÀÍÈß ÏÎËÈÊÐÈÑÒÀËËÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÑÅËÅÍÈÄÀ ÖÈÍÊÀ Ñ ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÈÅÌ ÏÎËÈÐÎÂÀËÜÍÛÕ ÑÌÎË ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÊÀÍÈÔÎËÈ

© 2008 ã. © 2008 ã.

Å. Ì. Ãàâðèùóê*, äîêòîð õèì. íàóê; Å. Þ. Âèëêîâà*; Î. Â. Òèìîôååâ*, êàíä. õèì. íàóê; Ñ. Ð. Êóøíèð**, êàíä. õèì. íàóê; Á. À. Ðàäáèëü**, äîêòîð òåõí. íàóê
** Èíñòèòóò õèìèè âûñîêî÷èñòûõ âåùåñòâ ÐÀÍ, Íèæíèé Íîâãîðîä
** ÎÎÎ “Íàó÷íî-âíåäðåí÷åñêàÿ ôèðìà Ëåñìà”, Íèæíèé Íîâãîðîä
** E-mail: timofeev@ihps.nnov.ru

Èññëåäîâàí ïðîöåññ ìåõàíè÷åñêîãî è õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ ñåëåíèäà öèíêà ñ èñïîëüçîâàíèåì ïîëèðîâàëüíûõ ñìîë íà îñíîâå êàíèôîëè, èìåþùèõ ðàçëè÷íûå ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïîêàçàòåëè. Èçó÷åíî âëèÿíèå ïðîäîëæèòåëüíîñòè ïîëèðîâàíèÿ, äàâëåíèÿ è ñâîéñòâ èñïîëüçóåìûõ ïîëèðîâàëüíûõ ñìîë íà ñêîðîñòü ñúåìà è êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè îïòè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ èç ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà â ïðîöåññå èõ ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ. Ïîêàçàíî, ÷òî êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè ñóùåñòâåííî çàâèñèò îò óñëîâèé ïðîöåññà ïîëèðîâàíèÿ è õàðàêòåðèñòèê èñïîëüçóåìûõ êàíèôîëüíûõ ñìîë.

Êîäû OCIS: 220.0220, 240.5450.

Ïîñòóïèëà â ðåäàêöèþ 22.04.2008.

Ââåäåíèå
 íàñòîÿùåå âðåìÿ îäíèì èç íàèáîëåå ïåðñïåêòèâíûõ ìàòåðèàëîâ, øèðîêî èñïîëüçóåìûõ â ñèëîâîé è ÈÊ îïòèêå, áëàãîäàðÿ ñâîèì îòíîñèòåëüíî âûñîêèì îïòè÷åñêèì è ìåõàíè÷åñêèì ñâîéñòâàì ÿâëÿåòñÿ ñåëåíèä öèíêà. Îñíîâíàÿ çàäà÷à ïðè èçãîòîâëåíèè îïòè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ èç ñåëåíèäà öèíêà – ïîëó÷åíèå ñâîáîäíîé îò äåôåêòîâ ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè. Ïðè èçãîòîâëåíèè îïòè÷åñêèõ èçäåëèé îïåðàöèÿ ïîëèðîâàíèÿ ÿâëÿåòñÿ çàêëþ÷èòåëüíûì ýòàïîì ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè äåòàëåé, íåîáõîäèìîé äëÿ äîñòèæåíèÿ òðåáóåìîé ñòåïåíè ïðîçðà÷íîñòè è òî÷íîñòè ôîðìû ïîâåðõíîñòè. Èç âñåé ïîñëåäîâàòåëüíîñòè îïåðàöèé ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè ïîëèðîâàíèå ÿâëÿåòñÿ íàèáîëåå äëèòåëüíûì è òðóäîåìêèì è, âìåñòå ñ òåì, ñàìûì îòâåòñòâåííûì ïðîöåññîì. Òåõíîëîãèÿ ïîëèðîâàíèÿ îïðåäåëÿåòñÿ ìíîãèìè âçàèìîçàâèñèìûìè ôàêòîðàìè è î÷åíü ÷óâñòâèòåëüíà ê èõ ìàëûì èçìåíåíèÿì [1].
Íà êà÷åñòâî ïîëó÷àåìîé ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà âëèÿþò ïðîäîëæèòåëüíîñòü ïîëèðîâàíèÿ, äàâëåíèå, ïîëèðóþùèå àáðàçèâû, äîáàâëåíèå â ñìàçûâàþùåîõëàæäàþùóþ æèäêîñòü õèìè÷åñêè àêòèâíûõ äîáàâîê. Êðîìå òîãî, áîëüøóþ ðîëü èãðàåò âûáîð ìàòåðèàëà ïîëèðîâàëüíèêà. Îñíîâíûì ïðåèìóùåñòâîì ñìîëÿíûõ ïîëèðîâàëüíèêîâ ÿâëÿåòñÿ ñïîñîáíîñòü ñîçäàâàòü íà ñâîåé ïîâåðõíîñòè ìèêðîñòðóêòóðó, îáåñïå÷èâàþùóþ äîñòóï ïîëèðîâî÷íîé ñóñïåíçèè ê ïîâåðõíîñòè ïîëèðóåìîãî ñòåêëà è îòâîä åå ñ ïîâåðõíîñòè [2]. Ïðè ýòîì ñìîëÿíûå ïîëè-

ðîâàëüíèêè ñî÷åòàþò â ñåáå âàæíûå äëÿ îïòè÷åñêîãî ïîëèðîâàëüíèêà, íî âçàèìîèñêëþ÷àþùèå ñâîéñòâà: ñ îäíîé ñòîðîíû, îíè îáëàäàþò äîñòàòî÷íîé òâåðäîñòüþ äëÿ óäåðæàíèÿ çåðíà ïîëèðóþùåãî ìàòåðèàëà, â òî æå âðåìÿ äîñòàòî÷íî ýëàñòè÷íûå è ìÿãêèå äëÿ ñîõðàíåíèÿ ôîðìû ïîëèðóåìîãî ìàòåðèàëà.
Ñâîéñòâà èñïîëüçóåìûõ ñìîë çàâèñÿò îò èõ ñîñòàâà è â çíà÷èòåëüíîé ñòåïåíè îïðåäåëÿþò êà÷åñòâî ïîëèðîâàíèÿ.  ñâÿçè ñ ýòèì ñèíòåç ñìîë ðàçëè÷íîãî ñîñòàâà è èññëåäîâàíèå âëèÿíèÿ èõ õàðàêòåðèñòèê íà ñâîéñòâà ïîëèðóåìîé ïîâåðõíîñòè ïðåäñòàâëÿåòñÿ âåñüìà âàæíîé è àêòóàëüíîé çàäà÷åé êàê â íàó÷íîì, òàê è â ïðàêòè÷åñêîì ïëàíå.
Èññëåäîâàíèþ ïðîöåññà ïîëèðîâàíèÿ ñåëåíèäà öèíêà ïîñâÿùåí ðÿä ðàáîò [3–8]. Îäíàêî ðåçóëüòàòû, ïîëó÷åííûå â ýòèõ ðàáîòàõ, íå íîñÿò ñèñòåìàòè÷åñêîãî õàðàêòåðà è îòíîñÿòñÿ â áîëüøèíñòâå ñâîåì ê ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèì îáðàçöàì.
Öåëüþ íàñòîÿùåé ðàáîòû ÿâèëîñü èçó÷åíèå âëèÿíèÿ äàâëåíèÿ, ïðîäîëæèòåëüíîñòè ïîëèðîâàíèÿ, à òàêæå ìàòåðèàëà ñìîëÿíîãî ïîëèðîâàëüíèêà íà ïðîöåññ ïîëèðîâàíèÿ è êà÷åñòâî ïîëó÷àåìîé ïîâåðõíîñòè îïòè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ èç ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà.
Ìåòîäèêà ýêñïåðèìåíòà
Îáðàáîòêå ïîäâåðãàëè âûñîêî÷èñòûé ïîëèêðèñòàëëè÷åñêèé ñåëåíèä öèíêà, ïîëó÷åííûé ìåòîäîì õèìè÷åñêîãî îñàæäåíèÿ èç ãàçîâîé ôàçû [9]. Äëÿ ïîëèðîâàíèÿ èñïîëüçîâàëè îáðàçöû ñåëåíèäà öèí-

“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008

83

êà, ïðåäñòàâëÿþùèå ñîáîé äèñêè îïðåäåëåííîãî äèàìåòðà è òîëùèíû, ïðåäâàðèòåëüíî îäèíàêîâî îáðàáîòàííûå. Äëÿ çàêðåïëåíèÿ çàãîòîâîê îïòè÷åñêèõ äåòàëåé ïðè èõ îáðàáîòêå èñïîëüçîâàëè íàêëåå÷íóþ ñìîëó “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” ìàðêè ÍÑ. Ìàòåðèàëîì ïîëèðîâàëüíèêà ñëóæèëè òðàäèöèîííûå äëÿ ñòåêîë ïåêî-êàíèôîëüíûå ñìîëû, à òàêæå íîâûå ñìîëû “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” íà îñíîâå ìîäèôèöèðîâàííîé æèâè÷íîé êàíèôîëè.  êà÷åñòâå ìîäèôèêàòîðîâ êàíèôîëè èñïîëüçîâàëèñü ãëèêîëè, àêðèëîâàÿ êèñëîòà è ò. ä., à â êà÷åñòâå äîáàâîê – ðàçíîîáðàçíûå ïëàñòèôèöèðóþùèå âåùåñòâà.  ïðîöåññå ñèíòåçà ñìîë îáðàçöû òùàòåëüíî ôèëüòðîâàëè, ÷òîáû èñêëþ÷èòü íàëè÷èå ìåõàíè÷åñêèõ ïðèìåñåé. Ïîëèðîâàëüíûå ñìîëû èìåëè ðàçëè÷íûå ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïîêàçàòåëè: òåìïåðàòóðó ðàçìÿã÷åíèÿ è ÷èñëî òâåðäîñòè. Òåìïåðàòóðó ðàçìÿã÷åíèÿ îïðåäåëÿëè ïî ÃÎÑÒ 23863-79 (ìåòîä À – êîëüöà è øàðà), ÷èñëî òâåðäîñòè – ìåòîäîì ïåíåòðàöèè. Õàðàêòåðèñòèêè ñìîë “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” ïðèâåäåíû â òàáë. 1. Âèäíî, ÷òî òåìïåðàòóðà ðàçìÿã÷åíèÿ èñïîëüçóåìûõ ñìîë èçìåíÿëàñü â èíòåðâàëå îò 56 äî 73,5 °Ñ, ÷èñëî òâåðäîñòè – îò 26 äî 37 °Ñ.
 ïðîöåññå ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ â êà÷åñòâå ñìàçî÷íî-îõëàæäàþùåé æèäêîñòè (ÑÎÆ) ïðèìåíÿëè äèñòèëëèðîâàííóþ âîäó, à â ïðîöåññå õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ (ÕÌÏ) – ðàçáàâëåííûå ðàñòâîðû íåîðãàíè÷åñêèõ êèñëîò.
Ïðîöåññ ïîëèðîâàíèÿ ïðîâîäèëè ñîãëàñíî ìåòîäèêå, îïèñàííîé â ðàáîòå [10]. Êà÷åñòâî ïîëèðîâî÷-

Òàáëèöà 1. Õàðàêòåðèñòèêè ïîëèðîâàëüíûõ ñìîë è ýêñïåðèìåíòàëüíûå âåëè÷èíû ñêîðîñòè ñúåìà ñåëåíèäà öèíêà â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ

¹ îáðàçöà

Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïîêàçàòåëè
Òåìïåðàòóðà ×èñëî Ëîãàðèôì Ñêîðîñòü ðàçìÿã÷åíèÿ òâåðäîñòè, âÿçêîñòè ñúåìà, ïî ÊèØ, °Ñ °Ñ ïðè 25 °Ñ ìêì/ìèí

Ñìîëû “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ”

ÏÑ-4 “Á4” ÏÑ-4 “Á5” ÏÑ-4 “Á6” ÏÑ-4 “Á7” ÏÑ-4 “Á8” ÏÑ-4 “Á11”
9–26 10–29 12–31 12–32 18–37

67 31 — 56 24,2 — 59 25 — 70 — — 73,5 — — 64 29 — Ïåêî-êàíèôîëüíûå ñìîëû 61 26 8,4 65 29 8,8 67 31 9,05 68 32 9,1 71 37 9,87

0,16 ± 0,03 0,17 ± 0,03 0,27 ± 0,09 0,34 ± 0,06 0,47 ± 0,03
0,3 ± 0,1
— 0,8 ± 0,2 0,9 ± 0,1 0,45 ± 0,08


íûõ ñìîë îöåíèâàëè ïî ðåçóëüòàòàì ïîëèðîâàíèÿ è äîñòèãíóòîìó êëàññó ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè. Äëÿ ýòîãî îïðåäåëÿëè ñêîðîñòü ñúåìà îáðàáàòûâàåìîãî ìàòåðèàëà â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ, ãåîìåòðèþ è ÷èñòîòó ïîâåðõíîñòè.  ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ âåëè÷èíó ñúåìà êîíòðîëèðîâàëè îïòèìåòðîì è íà îñíîâàíèè ïîëó÷åííûõ äàííûõ îñóùåñòâëÿëè ðàñ÷åò èçìåíåíèÿ ìàññû îáðàçöîâ è ñêîðîñòè ñúåìà ìàòåðèàëà â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ. Ïîãðåøíîñòü îïðåäåëåíèÿ ñîñòàâëÿëà ìåíåå 0,1%. Êîíòðîëü ãåîìåòðèè ïîâåðõíîñòè îñóùåñòâëÿëè ñ ïîìîùüþ èíòåðôåðîìåòðà.  ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ êà÷åñòâî âûñîêî ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè îöåíèâàëè ìåòîäàìè îïòè÷åñêîé è çîíäîâîé ìèêðîñêîïèè.  ÷àñòíîñòè, ÷èñòîòó ïîâåðõíîñòè îïòè÷åñêèõ äåòàëåé îöåíèâàëè ñ ïîìîùüþ îïòè÷åñêèõ ìèêðîñêîïîâ “Axioplan-2” è “ÌÁÑ-9” ïî íàëè÷èþ è êîëè÷åñòâó äåôåêòîâ (öàðàïèíû, òî÷êè, âûêîëû è çàêîëû) íà îñíîâàíèè ÃÎÑÒ 11141-84.
Ðåçóëüòàòû è èõ îáñóæäåíèå
Èññëåäîâàíèå âëèÿíèÿ ïàðàìåòðîâ ïðîöåññà ïîëèðîâàíèÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì ïåêî-êàíèôîëüíûõ
ñìîë íà îïòè÷åñêèå ñâîéñòâà ïîâåðõíîñòè ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà
Õàðàêòåðíûé âèä ïîëèðîâàííûõ ïîâåðõíîñòåé ñåëåíèäà öèíêà ïðèâåäåí íà ðèñ. 1. Îò÷åòëèâî âèäíû äâå ãðóïïû íåîäíîðîäíîñòåé: öàðàïèíû è ìèêðîòî÷êè. Ïîñêîëüêó ðàçìåðû íåîäíîðîäíîñòåé áëèçêè ê ðàçðåøàþùåé âîçìîæíîñòè îïòè÷åñêîãî ìèêðîñêîïà (ðèñ. 1à), èõ òîíêàÿ ñòðóêòóðà ïðàêòè÷åñêè íåçàìåòíà. Ïðèìåíåíèå çîíäîâîé ìèêðîñêîïèè (ðèñ. 1á) ïîçâîëèëî ïîëó÷èòü ðåàëüíîå ïðåäñòàâëåíèå î ìîðôîëîãèè ïîâåðõíîñòè è âîçìîæíîñòü òî÷íî îöåíèòü ðàçìåðû öàðàïèí íà ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè îáðàçöîâ. Ãëóáèíà öàðàïèí (20–30 íì) ñóùåñòâåííî ìåíüøå èõ øèðèíû (0,3–0,4 ìêì). Ýòî ñâÿçàíî ñ òåì, ÷òî îáðàçîâàíèå äàííûõ öàðàïèí ïðîèñõîäèò â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ çà ñ÷åò ðåçàíèÿ ïîâåðõíîñòè ÷àñòèöàìè àáðàçèâà, âíåäðåííûìè ïîä äåéñòâèåì äàâëåíèÿ â ìàòåðèàë ïîëèðîâàëüíèêà, ýôôåêòèâíûé ðàçìåð êîòîðûõ â äàííîì íàïðàâëåíèè ñòàíîâèòñÿ ìåíüøå.
Íà ïîâåðõíîñòè îáðàçöà íàáëþäàþòñÿ òàêæå äåôåêòû â âèäå âûêîëîâ è ïîñòîðîííèõ ÷àñòèö, ðàñïîëàãàþùèõñÿ â óãëóáëåíèÿõ íà ïîâåðõíîñòè, ðàçìåðîì 1×10 ìêì è ãëóáèíîé 25 íì (ðèñ. 1). Ðàçìåðû ÷àñòèö: âûñîòà 140 íì, øèðèíà äî 1 ìêì. Èñõîäÿ èç èõ ðàçìåðîâ ìîæíî ïðåäïîëîæèòü, ÷òî ýòî çåðíà àáðàçèâà.
Âûêîëû âèäíû â îïòè÷åñêèé ìèêðîñêîï (ðèñ. 1à) â âèäå ñâåòÿùèõñÿ òî÷åê è îöåíèòü èõ ðàçìåð çàòðóäíèòåëüíî. Íà çîíäîâîì ìèêðîñêîïå (ðèñ. 1á)

84 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008

(à)

20 ìêì 20 ìêì

(á)

0 20 ìêì
Ðèñ. 1. Ôîòîãðàôèè ïîâåðõíîñòè ñåëåíèäà öèíêà, îáðàáîòàííûå ïåêî-êàíèôîëüíîé ñìîëîé, ñäåëàííûå ñ ïîìîùüþ: à – îïòè÷åñêîãî ìèêðîñêîïà, á – çîíäîâîãî ìèêðîñêîïà.
èçìåðåíû ðàçìåðû âûêîëîâ: øèðèíà 0,4–0,9 ìêì, ãëóáèíà 20–60 íì. Îáðàçîâàíèå âûêîëîâ ïðîèñõîäèò òîãäà, êîãäà åñòü âîçìîæíîñòü óäàðíîãî âîçäåéñòâèÿ çåðåí ïîðîøêà íà îáðàáàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü. Êîëè÷åñòâî âûêðàøèâàåìîãî ìàòåðèàëà èç îáðàçöà çàâèñèò êàê îò óñëîâèé äâèæåíèÿ îáðàáàòûâàåìîé ïîâåðõíîñòè îòíîñèòåëüíî àáðàçèâà è ïîëèðîâàëüíèêà (òåìïåðàòóðà, äàâëåíèå, ñêîðîñòü ïîëèðîâàíèÿ), òàê è îò òâåðäîñòè ñàìîãî ìàòåðèàëà. Èñïîëüçîâàíèå îòíîñèòåëüíî ìÿãêîãî ïîëèðîâàëüíèêà ñóùåñòâåííî ñíèæàåò êîëè÷åñòâî è ðàçìåðû âûêîëîâ íà ïîâåðõíîñòè îáðàçöà.

Ïîãëîùåíèå, 103 ñì–1

Ïðîâåäåíû èññëåäîâàíèÿ âëèÿíèÿ ïðîäîëæèòåëüíîñòè ïîëèðîâàíèÿ è äàâëåíèÿ íà êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà ïðè ìåõàíè÷åñêîì ïîëèðîâàíèè ñ èñïîëüçîâàíèåì ìåëêîäèñïåðñíîãî àáðàçèâà íà ïîëèðîâàëüíèêàõ èç ïåêî-êàíèôîëüíûõ ñìîë.
Íà ðèñ. 2 ïðèâåäåíà çàâèñèìîñòü ïîãëîùåíèÿ èçëó÷åíèÿ íà äëèíå âîëíû 10,6 ìêì ïîâåðõíîñòüþ îáðàçöîâ ñåëåíèäà öèíêà îò äàâëåíèÿ â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ â òå÷åíèå 4 ÷àñîâ ïðè òåìïåðàòóðå 20–22 °Ñ. Âèäíî, ÷òî â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ ñ óâåëè÷åíèåì äàâëåíèÿ íà îáðàçåö ñ 2,5 äî 30 êÏà ïîãëîùåíèå óìåíüøàåòñÿ ñ 19×10–3 äî 2,5×10–3 ñì–1, ÷òî îáóñëîâëåíî óâåëè÷åíèåì ñêîðîñòè ñúåìà íàðóøåííîãî ñëîÿ ìàòåðèàëà è êàê ñëåäñòâèå ïîëó÷åíèåì áîëåå âûñîêîêà÷åñòâåííîé ïîâåðõíîñòè. Ïðè äàâëåíèÿõ áîëåå 30 êÏà íàáëþäàåòñÿ âîçðàñòàíèå ïîãëîùåíèÿ âñëåäñòâèå âûêðàøèâàíèÿ ìàòåðèàëà, îáðàçîâàíèÿ âûêîëîâ è öàðàïèí íà ïîâåðõíîñòè îáðàçöà. Êðîìå òîãî, ïðîèñõîäèò ñíèæåíèå ýôôåêòèâíîñòè ïîëèðîâàíèÿ çà ñ÷åò óìåíüøåíèÿ êîëè÷åñòâà ïîëèðóþùåãî àáðàçèâíîãî ìàòåðèàëà, ïîñòóïàþùåãî ê ïîëèðóåìîé ïîâåðõíîñòè. Ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû ïîäòâåðæäàþòñÿ ýêñïåðèìåíòàëüíûìè äàííûìè ïî îöåíêå êà÷åñòâà ïîâåðõíîñòè îáðàçöîâ, ïî ÷èñëó îòíîñèòåëüíîãî ñîäåðæàíèÿ äåôåêòîâ íà ïîëèðîâàííûõ ïîâåðõíîñòÿõ ñåëåíèäà öèíêà ñ èñïîëüçîâàíèåì ìåòîäèêè, îïèñàííîé â ÃÎÑÒ 11141-84. Îòíîñèòåëüíîå ñîäåðæàíèå äåôåêòîâ íà ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè îïðåäåëÿåòñÿ êàê îòíîøåíèå ïëîùàäè äåôåêòîâ ê îáùåé ïëîùàäè ïîâåðõíîñòè îáðàçöà. Îöåíêà êà÷åñòâà ïîâåðõíîñòè ïîêàçàëà, ÷òî ïðè óâåëè÷åíèè äàâëåíèÿ ñ 15 äî 30 êÏà îòíîñèòåëüíîå ñîäåðæàíèå äåôåêòîâ çàìåòíî ñíèæàåòñÿ è íåñêîëüêî âîçðàñòàåò ïðè äàëüíåéøåì ïîâûøåíèè äàâëåíèÿ.
20
16
12
8
4
0 0 20 40 60 Äàâëåíèå, êÏà
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü ïîãëîùåíèÿ îáðàçöîâ îò äàâëåíèÿ â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ.

“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008

85

Îòíîñèòåëüíîå ñîäåðæàíèå äåôåêòîâ, %

0,6

0,4

0,2

0 100

200 300 Ïðîäîëæèòåëüíîñòü, ìèí

Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü îòíîñèòåëüíîãî ñîäåðæàíèÿ äåôåêòîâ îò ïðîäîëæèòåëüíîñòè ïîëèðîâàíèÿ íà ïåêî-êàíèôîëüíîé ñìîëå.

Çàâèñèìîñòü îòíîñèòåëüíîãî ñîäåðæàíèÿ äåôåêòîâ îò ïðîäîëæèòåëüíîñòè ïîëèðîâàíèÿ ïðè ïîñòîÿííîì äàâëåíèè 35 êÏà ïðèâåäåíà íà ðèñ. 3. Âèäíî, ÷òî îòíîñèòåëüíîå ñîäåðæàíèå äåôåêòîâ íà ïîâåðõíîñòè îáðàçöîâ ñ óâåëè÷åíèåì ïðîäîëæèòåëüíîñòè ïîëèðîâàíèÿ ïîíèæàåòñÿ, à ïðè âðåìåíè ïîëèðîâàíèÿ áîëåå 225 ìèí îñòàåòñÿ ïðàêòè÷åñêè ïîñòîÿííûì. Ïîëó÷åííàÿ ïîâåðõíîñòü îòâå÷àëà 4 êëàññó ÷èñòîòû ïðè îòêëîíåíèè îò ïëîñêîñòíîñòè ìåíåå 0,5 èíòåðôåðåíöèîííîãî êîëüöà ïðè äèàìåòðå îáðàçöîâ äî 40 ìì.
Òàêèì îáðàçîì, äëÿ äàëüíåéøåãî óëó÷øåíèÿ êà÷åñòâà ïîâåðõíîñòè íåîáõîäèìî èñïîëüçîâàòü ñìîëû, èìåþùèå ôèçèêî-õèìè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè, îòëè÷íûå îò õàðàêòåðèñòèê ïåêî-êàíèôîëüíûõ ñìîë, êîòîðûå øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ äëÿ ïîëèðîâàíèÿ èçäåëèé èç ìèíåðàëüíûõ ñòåêîë. Ïîýòîìó äëÿ îáðàáîòêè èçäåëèé èç ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà ðàçðàáîòàíû íîâûå ñìîëû íà îñíîâå êàíèôîëè, íàçâàííûå íàìè “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ”.
Èññëåäîâàíèå âëèÿíèÿ ïîëèðîâàëüíûõ ñìîë “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” íà êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè
ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà
Ïðîâåäåíû ýêñïåðèìåíòû ïî îöåíêå âëèÿíèÿ ìàòåðèàëà ïîëèðîâàëüíèêà è ôèçèêî-õèìè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê ñìîë íà ïðîöåññ ïîëèðîâàíèÿ è êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè ñåëåíèäà öèíêà. Èçó÷åíà çàâèñèìîñòü èçìåíåíèÿ ìàññû îáðàçöîâ ñåëåíèäà öèíêà îò ïðîäîëæèòåëüíîñòè ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ íà ðàçëè÷íûõ ñìîëàõ. Ñ óâåëè÷åíèåì òåìïåðàòóðû ðàçìÿã÷åíèÿ è, ñîîòâåòñòâåííî, òâåðäîñòè ïîëèðîâàëüíîé ñìîëû óâåëè÷èâàåòñÿ ìàññà ìàòåðèàëà, óäà-

ëÿåìîãî ñ ïîâåðõíîñòè îáðàáàòûâàåìûõ îáðàçöîâ. Íà îñíîâàíèè ïîëó÷åííûõ çàâèñèìîñòåé ðàññ÷èòàíà ñêîðîñòü ñúåìà â ïðîöåññå ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ äëÿ îáðàçöîâ ñåëåíèäà öèíêà, ðåçóëüòàòû ðàñ÷åòà ïðèâåäåíû â òàáë. 1. Âèäíî, ÷òî â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ ñêîðîñòü ñúåìà çàâèñèò îò òåìïåðàòóðû ðàçìÿã÷åíèÿ ïîëèðîâàëüíîé ñìîëû, è óâåëè÷åíèå ýòîé òåìïåðàòóðû íà 10 °Ñ ïðèâîäèò ê óâåëè÷åíèþ ñêîðîñòè ñúåìà â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ áîëåå ÷åì íà 70%. Íàèáîëüøèé ñúåì íàáëþäàëñÿ íà ñìîëå, òåìïåðàòóðà ðàçìÿã÷åíèÿ êîòîðîé ñîñòàâëÿëà 73,5 °Ñ, è ñîñòàâèë 1×10–2 ã/(÷ ñì2) èëè 0,5 ìêì/ìèí. Óâåëè÷åíèå òåìïåðàòóðû ðàçìÿã÷åíèÿ ñìîëû ïîçâîëÿåò ñîêðàòèòü ïðîäîëæèòåëüíîñòü ïîëèðîâàíèÿ è óëó÷øèòü ãåîìåòðèþ ïîâåðõíîñòè. Îäíàêî â áîëüøèíñòâå ñëó÷àåâ ïîâûøåíèå òåìïåðàòóðû îòðèöàòåëüíî ñêàçûâàåòñÿ íà ÷èñòîòå ïîâåðõíîñòè. Íàèëó÷øàÿ ïîâåðõíîñòü ïî ñîâîêóïíîñòè òðåõ ïàðàìåòðîâ (ñêîðîñòü ñúåìà, ÷èñòîòà ïîâåðõíîñòè è ãåîìåòðèÿ ïîâåðõíîñòè) áûëà ïîëó÷åíà íà ñìîëàõ, êîòîðûå èìåëè òåìïåðàòóðó ðàçìÿã÷åíèÿ 64 °Ñ. Ñðàâíèâàÿ ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû ïî ñêîðîñòè ñúåìà ñ èñïûòàííûìè íàìè ñìîëàìè “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” è ïåêî-êàíèôîëüíûìè ñìîëàìè (òàáë. 1), à òàêæå ïî ÷èñòîòå è ãåîìåòðèè ïîëó÷åííîé ïîâåðõíîñòè, ìîæíî çàêëþ÷èòü, ÷òî íîâûå ñìîëû ïîçâîëÿþò ïîëó÷èòü áîëåå êà÷åñòâåííóþ ïîâåðõíîñòü îïòè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ èç ñåëåíèäà öèíêà ïðè îäèíàêîâûõ óñëîâèÿõ ïîëèðîâàíèÿ.
 òàáë. 2 ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû ïî ñêîðîñòè ñúåìà äëÿ ñìîë “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ”, èìåþùèõ îäèíàêîâóþ òåìïåðàòóðó ðàçìÿã÷åíèÿ, íî ðàçíûé ñîñòàâ. Èç òàáë. 2 âèäíî, ÷òî ñêîðîñòè ñúåìà íà äàííûõ ñìîëàõ ñóùåñòâåííî ðàçëè÷àþòñÿ. Òàêèì îáðàçîì, íå òîëüêî òåìïåðàòóðà ðàçìÿã÷åíèÿ è òâåðäîñòü, íî è ñîñòàâ ïîëèðîâàëüíûõ ñìîë îêàçûâàþò

Òàáëèöà 2. Ýêñïåðèìåíòàëüíûå äàííûå ïî ñêîðîñòè ñúåìà ñåëåíèäà öèíêà â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì ñìîë “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ”, èìåþùèõ îäèíàêîâóþ òåìïåðàòóðó ðàçìÿã÷åíèÿ, íî ðàçëè÷íûé ñîñòàâ

¹ îáðàçöà

Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïîêàçàòåëè

Òåìïåðàòóðà ×èñëî

Ñêîðîñòü

ðàçìÿã÷åíèÿ òâåðäîñòè, ñúåìà, ìêì/

ïî ÊèØ, °Ñ

°Ñ

ìèí

ÏÑ-4 “Á11” ÏÑ-4 “Á11”-ÎÑ, ï. ¹ 1 ÏÑ-4 “Á11”-ÎÑ, ï. ¹ 2 ÏÑ-Ñ1 ÏÑ-Ñ2

64 64
64
63 64,5

29,0 0,3 ± 0,1 27,8 0,5 ± 0,1
27,6 0,28 ± 0,09
29,6 0,35 ± 0,02 29,8 0,32 ± 0,07

86 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008

ñóùåñòâåííîå âëèÿíèå íà ñêîðîñòü ñúåìà ìàòåðèàëà îáðàçöà.
Ïðîâåäåíû èññëåäîâàíèÿ âëèÿíèÿ ñòðóêòóðû ñìîë “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” íà êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè è ñúåì ìàòåðèàëà â ïðîöåññå ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ. Äëÿ ýêñïåðèìåíòîâ èñïîëüçîâàëè ñìîëó, èìåþùóþ òåìïåðàòóðó ðàçìÿã÷åíèÿ 64 °Ñ. Ñìîëà çàëèâàëàñü íà ïîëèðîâàëüíèêè ñëåäóþùèì îáðàçîì. Îáðàçåö ñìîëû íàãðåâàëè â ñòåêëÿííîì ðåàêòîðå, ñíàáæåííîì ïåðåìåøèâàþùèì óñòðîéñòâîì è îáðàòíûì õîëîäèëüíèêîì, äî òåìïåðàòóðû 160–170 °Ñ è âûäåðæèâàëè â òå÷åíèå 1 ÷.  ýòèõ óñëîâèÿõ ñìîëà ïîëíîñòüþ ïåðåõîäèëà â æèäêîå ñîñòîÿíèå. Çàòåì ðàñïëàâëåííóþ ñìîëó âûëèâàëè íà äþðàëåâûå ïëàíøàéáû è îõëàæäàëè. Òåìïåðàòóðó îõëàæäåíèÿ èçìåíÿëè â èíòåðâàëå îò 20 °Ñ äî –12 °Ñ. Èçãîòîâëåííûå òàêèì îáðàçîì ïîëèðîâàëüíèêè èñïîëüçîâàëè â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ ñåëåíèäà öèíêà. Ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû ïðèâåäåíû íà ðèñ. 4 â âèäå çàâèñèìîñòè ñêîðîñòè ñúåìà îò ïðîäîëæèòåëüíîñòè ïîëèðîâàíèÿ. Âèäíî, ÷òî ïîíèæåíèå òåìïåðàòóðû
100 5
80
60
4 40 3
2 1 20

îõëàæäåíèÿ ïîëèðîâàëüíèêà ïðèâîäèò ê óâåëè÷åíèþ ñêîðîñòè ñúåìà ñåëåíèäà öèíêà ïðè åãî ìåõàíè÷åñêîì ïîëèðîâàíèè. Ýòî ìîæíî îáúÿñíèòü ðàçëè÷èåì ñòðóêòóðû ñòåêëîîáðàçíîãî ñîñòîÿíèÿ êàíèôîëüíîé ñìîëû – ìàòåðèàëà ïîëèðîâàëüíèêà, ÷òî îêàçûâàåò ñóùåñòâåííîå âëèÿíèå íà ñêîðîñòü ñúåìà ïðè ïîëèðîâàíèè ñåëåíèäà öèíêà. Íàèëó÷øèå ðåçóëüòàòû ïî ñîâîêóïíîñòè òðåõ ïàðàìåòðîâ (÷èñòîòà, ãåîìåòðèÿ ïîâåðõíîñòè è ñêîðîñòü ñúåìà) ïîëó÷åíû, êîãäà ïîëèðîâàëüíèê îõëàæäàëè äî òåìïåðàòóðû 5–0 °Ñ.
 ðàáîòå [11] îïèñàíû ðàíåå ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïðîöåññà òðàâëåíèÿ ñåëåíèäà öèíêà â ðàñòâîðàõ íåîðãàíè÷åñêèõ êèñëîò. Ðåçóëüòàòû ïîêàçàëè, ÷òî íàèáîëåå ýôôåêòèâíûìè òðàâèòåëÿìè ÿâëÿþòñÿ ðàñòâîðû àçîòíîé êèñëîòû íèçêèõ êîíöåíòðàöèé. Ðàñòâîðû ñåðíîé, ñîëÿíîé è äðóãèõ êèñëîò ìåíåå ýôôåêòèâíî âçàèìîäåéñòâóþò ñ ïîâåðõíîñòüþ ñåëåíèäà öèíêà, êðîìå òîãî, êîíöåíòðàöèÿ èõ äîëæíà áûòü äîñòàòî÷íî âûñîêîé. Ïðèìåíåíèå ðàñòâîðîâ êèñëîò ñ âûñîêîé êîíöåíòðàöèåé ïðèâîäèëî ê ñåëåêòèâíîìó ðàñòðàâëèâàíèþ ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè îáðàçöîâ ñåëåíèäà öèíêà è óõóäøåíèþ åå êà÷åñòâà. Ïîýòîìó äëÿ äàëüíåéøèõ èññëåäîâàíèé áûëè âûáðàíû ðàñòâîðû àçîòíîé êèñëîòû íèçêèõ êîíöåíòðàöèé.  õîäå ïðîâåäåííûõ ýêñïåðèìåíòîâ áûëî ïîêàçàíî, ÷òî ñêîðîñòü ñúåìà âîçðàñòàåò íå òîëüêî ñ óâåëè÷åíèåì òåìïåðàòóðû ðàçìÿã÷åíèÿ ñìîëû, íî è ïðè äîáàâëåíèè õèìè÷åñêèõ ðåàãåíòîâ â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ (òàáë. 3). Íóæíî îòìåòèòü, ÷òî â ïðîöåññå õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ ïðè äîáàâëåíèè 1 Ì ðàñòâîðà àçîòíîé êèñëîòû ñêîðîñòü ñúåìà óâåëè÷èâàåòñÿ ïðèìåðíî íà 30% ïî ñðàâíåíèþ ñ ìåõàíè÷åñêèì ïîëèðîâàíèåì. Ýòî ñâÿçàíî ñ òåì, ÷òî àçîòíàÿ êèñëîòà âñòóïàåò â ðåàêöèþ ñ ïðèïîâåðõíîñòíûì ñëîåì ñåëåíèäà öèíêà, â ðåçóëüòàòå ÷åãî îí ðàçðûõëÿåòñÿ. Àáðàçèâíûå çåðíà óäàëÿþò ýòîò ñëîé, èìåþùèé ãîðàçäî ìåíüøóþ òâåðäîñòü, ÷åì èñõîäíûé ìàòåðèàë. Êðîìå óâåëè÷åíèÿ ñêîðîñòè ñúåìà óëó÷øàåòñÿ è êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè.

Èçìåíåíèå ìàññû, %

0 20 40 60 80 Ïðîäîëæèòåëüíîñòü, ìèí
Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòè èçìåíåíèÿ ìàññû îáðàçöîâ ZnSe â ïðîöåññå ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ ìèêðîïîðîøêîì ÀÑÌ 2/1 íà ïîëèðîâàëüíèêàõ èç ñìîëû “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” ìàðêè ÏÑ-4 “Á11”, ñôîðìèðîâàííûõ ïðè ðàçëè÷íûõ òåìïåðàòóðàõ îõëàæäåíèÿ: 1 – Ò = 20 °Ñ, 2 – Ò = 18 °Ñ (ïîñëå äîïîëíèòåëüíîãî íàãðåâà), 3 – Ò = 18 °Ñ, 4 – Ò = 5 °Ñ, 5 – Ò = –10–12 °Ñ.
“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008

Òàáëèöà 3. Ýêñïåðèìåíòàëüíûå äàííûå ïî ñêîðîñòè ñúåìà ñåëåíèäà öèíêà â ïðîöåññå ìåõàíè÷åñêîãî è õèìèêîìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ

Ñêîðîñòü ñúåìà, ìêì/ìèí

¹ îáðàçöà Òåìïåðàòóðà ðàçìÿã÷åíèÿ ïî ÊèØ, °Ñ

Ìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå

Õèìèêîìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå

ÏÑ-4 “Á5” ÏÑ-4 “Á6” ÏÑ-4 “Á7” ÏÑ-4 “Á8” ÏÑ-4 “Á11”

56 59 70 73,5 64

0,17 ± 0,03 0,27 ± 0,09 0,34 ± 0,06 0,47 ± 0,03
0,3 ± 0,1

0,21 ± 0,03 0,31 ± 0,09 0,41 ± 0,06 0,51 ± 0,03
0,5 ± 0,1

87

(1) (2)

20 ìêì

20 ìêì

Ðèñ. 5. Ôîòîãðàôèè ïîâåðõíîñòè ñåëåíèäà öèíêà ïîñëå ïîëèðîâàíèÿ íà ñìîëå “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ” ìàðêè 4 “Á11” ñ Òð = 64 °Ñ. 1 – äèñòèëëèðîâàííàÿ âîäà, 2 – 1 Ì HNO3.

Ñðàâíåíèå ïîâåðõíîñòåé, ïîëó÷åííûõ ïðè ïîìîùè ìåõàíè÷åñêîãî è õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ, ïîêàçàëî, ÷òî ïðèìåíåíèå ÕÌÏ ïðè îñòàëüíûõ îäèíàêîâûõ óñëîâèÿõ ïîçâîëÿåò ñíèçèòü ðàçìåð è êîíöåíòðàöèþ ïîâåðõíîñòíûõ äåôåêòîâ è êàê ñëåäñòâèå ïîâûñèòü êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè. Èñïîëüçîâàíèå äðóãèõ õèìè÷åñêè àêòèâíûõ êîìïîíåíòîâ â ïðîöåññå ïîëèðîâàíèÿ ñåëåíèäà öèíêà íå ïðèâîäèëî ê óâåëè÷åíèþ ñêîðîñòè ñúåìà è óëó÷øåíèþ êà÷åñòâà ïîëèðîâàííîé ïîâåðõíîñòè.
Äàëüíåéøåå óâåëè÷åíèå êà÷åñòâà ïîâåðõíîñòè âîçìîæíî ïðè óìåíüøåíèè âåëè÷èíû çåðíà ìèêðîïîðîøêà. Áûëè ñäåëàíû ôîòîãðàôèè (ðèñ. 5) ïîâåðõíîñòè ñåëåíèäà öèíêà, îáðàáîòàííîé ìèêðîïîðîøêîì ÀÑÌ 1/0 (â êà÷åñòâå ÑÎÆ ïðèìåíÿëè íåáîëüøèå äîáàâêè 1 Ì ðàñòâîðà àçîòíîé êèñëîòû). Íà îñíîâàíèè äàííûõ ôîòîãðàôèé è ÃÎÑÒ ìîæíî ñêàçàòü, ÷òî íàèáîëåå ÷èñòàÿ ïîâåðõíîñòü ïîëó÷åíà íà ñìîëå “Îïòèêà êàíèôîëüíàÿ”, èìåþùåé òåìïåðàòóðó ðàçìÿã÷åíèÿ 64 °Ñ, ïóòåì õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì ìåëêîäèñïåðñíîãî àáðàçèâà è ðàçáàâëåííîãî ðàñòâîðà àçîòíîé êèñëîòû. Ïîëó÷åííàÿ â ýòèõ óñëîâèÿõ ïîâåðõíîñòü ñòåêëà èç ñåëåíèäà öèíêà îòâå÷àëà 3 êëàññó ÷èñòîòû.
Çàêëþ÷åíèå
Ïðîâåäåíû èññëåäîâàíèÿ âëèÿíèÿ ïàðàìåòðîâ ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ íà êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà. Èçó÷å-

íî âëèÿíèå ñîñòàâà è õàðàêòåðèñòèê ïîëèðîâàëüíûõ ñìîë íà îñíîâå êàíèôîëè íà ñêîðîñòü ñúåìà è êà÷åñòâî îïòè÷åñêèõ ïîâåðõíîñòåé ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà â ïðîöåññå åãî ìåõàíè÷åñêîãî è õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ. Ïîêàçàíî, ÷òî íà êà÷åñòâî ïðîöåññà ïîëèðîâàíèÿ ñóùåñòâåííîå âëèÿíèå îêàçûâàþò íå òîëüêî ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ñâîéñòâà ñìîëû, íî è åå ñîñòàâ, à òàêæå ñïîñîá ïðèãîòîâëåíèÿ ñìîëÿíûõ ïîëèðîâàëüíèêîâ. Íà îñíîâàíèè âûïîëíåííûõ èññëåäîâàíèé ðàçðàáîòàíà ìåòîäèêà è âûáðàíû óñëîâèÿ äëÿ ïðîâåäåíèÿ ïðîöåññà ïîëèðîâàíèÿ ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà.
Ìåòîäîì õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ èçãîòîâëåíà îïûòíàÿ ïàðòèÿ îïòè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ èç ñåëåíèäà öèíêà ñ êà÷åñòâîì ïîâåðõíîñòè, ñîîòâåòñòâóþùèì 3 êëàññó ÷èñòîòû, ñ ìèíèìàëüíûì îòêëîíåíèåì ïî ãåîìåòðèè ïîâåðõíîñòè, ÷òî ïîçâîëèëî èñïîëüçîâàòü äàííûå îïòè÷åñêèå ýëåìåíòû â ëàçåðíûõ ñèñòåìàõ ñ ïëîòíîñòüþ ìîùíîñòè áîëåå 2 êÂò/ñì2.
Ðàáîòà ïðîâîäèëàñü â ðàìêàõ ãðàíòà “Ïðåçèäåíòà Ðîññèéñêîé Ôåäåðàöèè äëÿ ïîääåðæêè ìîëîäûõ ðîññèéñêèõ ó÷åíûõ – êàíäèäàòîâ íàóê è èõ íàó÷íûõ ðóêîâîäèòåëåé” è “Ôîíäà ñîäåéñòâèÿ îòå÷åñòâåííîé íàóêå”.
ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ
11. Ãîåâ À.È., Ïîòåëîâ Â.Â., Ñàâåëüåâ À.Â., Ñåíèê Á.Í. Ôîðìîîáðàçîâàíèå îïòè÷åñêèõ ïîâåðõíîñòåé // Òðó-

88 “Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008

äû ìåæäóíàðîäíîé àêàäåìèè “Êîíòåíàíò”. Ì.: Èçä-âî “Êîíòåíàíò”, 2005. Ò. 1. 284 ñ.
12. Âèíîêóðîâ, Â.Ì. Èññëåäîâàíèå ïðîöåññîâ ïîëèðîâêè ñòåêëà. Ì.: Ìàøèíîñòðîåíèå, 1967. 196 ñ.
13. Äåâÿòûõ Ã.Ã., Êîðøóíîâ È.À., Ìóðñêèé Ã. Ë., Ñó÷êîâ À.È. Çàâèñèìîñòü ÷èñëà è ðàçìåðà îïòè÷åñêèõ íåîäíîðîäíîñòåé íà ïîâåðõíîñòè âûñîêî÷èñòîãî ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî ñåëåíèäà öèíêà îò óñëîâèé åãî ïîëèðîâêè // Âûñîêî÷èñòûå âåùåñòâà. 1994. ¹ 4. Ñ. 74–79.
14. Êóêëåâà Ç.À., Êîæóõîâà Â.Ò., Òèõîìèðîâ Ã.Ï. Âëèÿíèå îáðàáîòêè íà êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè êðèñòàëëîâ ñåëåíèäà öèíêà // ÎÌÏ. 1982. ¹ 5. Ñ. 35–38.
15. Hitoshi T., Yasuo O., Hiroyuki K. Chemical Etching of ZnSe Crystals // J. Electron. Mater. 1994. V. 23. 8. P. 835–838.
16. Herrington G., Gregory D.A., Otto W. Infrared Absorption in Chemical Laser Window Materials // Appl. Opt. 1976. V. 15. ¹ 8. P. 1953–1959.

17. Fujita S., Mimoto H., Takebe H., Noguchi T. Growth of Cubic ZnS, ZnSe and ZnSxSe1– x Single Crystals by Iodine Transport // J. Cryst. Growth. 1979. V. 47. P. 326–334.
18. ßãòàð Ñèíãõ Áýñè. Ìåòîä ïîëèðîâàíèÿ ñåëåíèäà öèíêà // Ïàòåíò ÑØÀ ¹ 3869323. 1975.
19. Äåâÿòûõ Ã.Ã., Êîðøóíîâ È.À., Ãàâðèùóê Å.Ì., Ìóðñêèé Ã.Ë., Èãíàòüåâ Ñ.Â., Íèêîíåíêî Ä.Â. Èññëåäîâàíèå îáúåìíûõ íåîäíîðîäíîñòåé â ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîì ñåëåíèäå öèíêà, ïîëó÷åííîì ìåòîäîì õèìè÷åñêîãî îñàæäåíèÿ èç ãàçîâîé ôàçû // Âûñîêî÷èñòûå âåùåñòâà. 1993. ¹ 3. Ñ. 16–23.
10. Ãàâðèùóê Å.Ì., Òèìîôååâ Î.Â., Ïîãîðåëêî À.À., Ñó÷êîâ È.À. Âëèÿíèå óñëîâèé ïîëèðîâàíèÿ íà îïòè÷åñêèå ñâîéñòâà ïîâåðõíîñòè ñåëåíèäà öèíêà // Íåîðãàíè÷åñêèå ìàòåðèàëû. 2004. Ò. 40. ¹ 3. Ñ. 267–271.
11. Ãàâðèùóê Å.Ì., Âèëêîâà Å.Þ., Òèìîôååâ Î.Â., Òèõîíîâà Å.Ë., Áîðîâñêèõ Ó.Ï. Èññëåäîâàíèå ïðîöåññà òðàâëåíèÿ CVD – ñåëåíèäà öèíêà // Íåîðãàíè÷åñêèå ìàòåðèàëû. 2007. Ò. 43. ¹ 6. Ñ. 579–583.

“Îïòè÷åñêèé æóðíàë”, òîì 75, ¹ 9, 2008

89