Например, Бобцов

НЕРАВНОПЛЕЧИЙ ИК-ИНТЕРФЕРОМЕТР ТВАЙМАНА–ГРИНА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ НА СТАДИИ ШЛИФОВАНИЯ

Аннотация:

Разработан неравноплечий интерферометр Тваймана–Грина с рабочей длиной волны излучения 10,6 мкм, позволяющий помимо контроля формы измерять па- раметры микрорельефа контролируемых шлифованных оптических поверхностей, по контрасту изображения регистрируемых интерференционных картин. Получено аналитическое выражение, связывающее значение контраста с основной характери- стикой микронеровностей – среднеквадратическим отклонением высот микропрофиля шероховатых поверхностей. Представлен результат погрешности измерения формы контролируемой оптической поверхности в процессе ее формообразования, по данным топографической карты, полученной на основании регистрируемого изображения интерференционной картины. Приведены основные технические характеристики системы интерферометрического контроля.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере