Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:535.317.2
Номер:13 (58)
Скачать PDF0 Кбайт
ОСОБЕННОСТИ КОНТРОЛЯ ОБЪЕКТИВА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР
Аннотация:
Для развития микроэлектроники и достижения минимального размера элемента микросхемы на уровне 10 нм необходимо разрабатывать средства контроля повышенной точности. Показано, что основной задачей, решение которой необходимо для обеспечения производства элементов проекционных объективов, является создание средств контроля, обеспечивающих корреляцию между контрольной и рабочей длинами волн в глубоком вакуумно-ультрафиолетовым диапазоне. Описан интерферометр для исследования волновых аберраций с дифракционной волной сравнения.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ВОССТАНОВЛЕНИЕ ТРЕХМЕРНЫХ МОДЕЛЕЙ ОБЪЕКТОВ ПО СТЕРЕОИЗОБРАЖЕНИЯМ С УЧЕТОМ РАСПАРАЛЛЕЛИВАНИЯ
- МАТЕМАТИЧЕСКАЯ И ПРОГРАММНАЯ ОБРАБОТКА ДАННЫХ СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
- ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОСТОЯННЫХ ОКРАШЕННЫХ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ОЧКОВОЙ ОПТИКИ
- ВЫБОР ОПТИМАЛЬНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ ДЛЯ ЗАДАЧ СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ
- АЛГОРИТМ КОМПОНОВКИ СОСТАВНЫХ ОБЪЕКТОВ (НА ПРИМЕРЕ ЗЕРКАЛА)
- ИССЛЕДОВАНИЕ АЛГОРИТМОВ СЖАТИЯ С ПОТЕРЯМИ НА ОСНОВЕ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ДЕКОМПОЗИЦИИ СИГНАЛА
- ЧИСЛЕННОЕ РЕШЕНИЕ УРАВНЕНИЙ ГИНЗБУРГА-ЛАНДАУ ДЛЯ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ПЛАСТИН С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗЛИЧНЫХ ГРАНИЧНЫХ УСЛОВИЙ
- ИТЕРАЦИОННЫЕ РЕШЕНИЯ УРАВНЕНИЯ НЕПАРАКСИАЛЬНОЙ ДИНАМИКИ ПРОСТРАНСТВЕННОГО СПЕКТРА МОНОХРОМАТИЧЕСКОЙ ДВУМЕРНОЙ ТЕ-ВОЛНЫ В СРЕДЕ С КУБИЧНОЙ ПО ПОЛЮ НЕЛИНЕЙНОСТЬЮ
- ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ДЕФОРМАЦИИ И ТЕМПЕРАТУРЫ НА ОСНОВЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
- ТРАНСПОРТИРОВКА И ДЕФОРМАЦИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЧАСТИЦ ГРАДИЕНТНЫМИ СИЛАМИ СВЕТОВОГО ДАВЛЕНИЯ
- О ПОСТРОЕНИИ МОДЕЛИ СПИНОДАЛЬНОГО РАСПАДА ФАЗ ПРИ ГИПЕРБОЛИЧЕСКОЙ ДИФФУЗИИ
- О ВЛИЯНИИ ИОНОВ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА СТРУКТУРУ ФТОРОФОСФАТНЫХ СТЕКОЛ СОСТАВА Ba(PO3)2 – MgCaSrBaAl2F14
- ИССЛЕДОВАНИЕ ФАЗОВОГО РАСПАДА В ТИТАНСОДЕРЖАЩИХ ЦИНКОВОАЛЮМОСИЛИКАТНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ СТЕКЛАХ, ЛЕГИРОВАННЫХ СоО, МЕТОДОМ СПЕКТРОСКОПИИ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА
- ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОЗОНДА ДЛЯ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕРА МЕТОДОМ ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАНСФОРМАЦИИ ЭКСИТОННЫХ СОСТОЯНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ В ЭЛЕКТРОН-ДЫРОЧНЫЕ СОСТОЯНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК