Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:13 (58)
Скачать PDF0 Кбайт
OPTICAL OBJECTIVE CONTROL PECULIARITIES FOR NANOSTRUCTURES FORMATION
Аннотация:
For microelectronics development and obtaining the minimal size of a microchip element at the 10 nm level it is necessary to work out control tools of extended precision. It is shown that the main task to support the production of projection lens elements is creation of control tools for correlation between control and operating wavelengths in a deep vacuum-ultraviolet range. The interferometer for wave aberrations research is described.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ВОССТАНОВЛЕНИЕ ТРЕХМЕРНЫХ МОДЕЛЕЙ ОБЪЕКТОВ ПО СТЕРЕОИЗОБРАЖЕНИЯМ С УЧЕТОМ РАСПАРАЛЛЕЛИВАНИЯ
- МАТЕМАТИЧЕСКАЯ И ПРОГРАММНАЯ ОБРАБОТКА ДАННЫХ СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
- ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОСТОЯННЫХ ОКРАШЕННЫХ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ОЧКОВОЙ ОПТИКИ
- ВЫБОР ОПТИМАЛЬНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ ДЛЯ ЗАДАЧ СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ
- ОСОБЕННОСТИ КОНТРОЛЯ ОБЪЕКТИВА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР
- АЛГОРИТМ КОМПОНОВКИ СОСТАВНЫХ ОБЪЕКТОВ (НА ПРИМЕРЕ ЗЕРКАЛА)
- ИССЛЕДОВАНИЕ АЛГОРИТМОВ СЖАТИЯ С ПОТЕРЯМИ НА ОСНОВЕ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ДЕКОМПОЗИЦИИ СИГНАЛА
- ЧИСЛЕННОЕ РЕШЕНИЕ УРАВНЕНИЙ ГИНЗБУРГА-ЛАНДАУ ДЛЯ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ПЛАСТИН С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗЛИЧНЫХ ГРАНИЧНЫХ УСЛОВИЙ
- ИТЕРАЦИОННЫЕ РЕШЕНИЯ УРАВНЕНИЯ НЕПАРАКСИАЛЬНОЙ ДИНАМИКИ ПРОСТРАНСТВЕННОГО СПЕКТРА МОНОХРОМАТИЧЕСКОЙ ДВУМЕРНОЙ ТЕ-ВОЛНЫ В СРЕДЕ С КУБИЧНОЙ ПО ПОЛЮ НЕЛИНЕЙНОСТЬЮ
- ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ДЕФОРМАЦИИ И ТЕМПЕРАТУРЫ НА ОСНОВЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
- ТРАНСПОРТИРОВКА И ДЕФОРМАЦИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЧАСТИЦ ГРАДИЕНТНЫМИ СИЛАМИ СВЕТОВОГО ДАВЛЕНИЯ
- О ПОСТРОЕНИИ МОДЕЛИ СПИНОДАЛЬНОГО РАСПАДА ФАЗ ПРИ ГИПЕРБОЛИЧЕСКОЙ ДИФФУЗИИ
- О ВЛИЯНИИ ИОНОВ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА СТРУКТУРУ ФТОРОФОСФАТНЫХ СТЕКОЛ СОСТАВА Ba(PO3)2 – MgCaSrBaAl2F14
- ИССЛЕДОВАНИЕ ФАЗОВОГО РАСПАДА В ТИТАНСОДЕРЖАЩИХ ЦИНКОВОАЛЮМОСИЛИКАТНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ СТЕКЛАХ, ЛЕГИРОВАННЫХ СоО, МЕТОДОМ СПЕКТРОСКОПИИ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА
- ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОЗОНДА ДЛЯ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕРА МЕТОДОМ ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАНСФОРМАЦИИ ЭКСИТОННЫХ СОСТОЯНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ В ЭЛЕКТРОН-ДЫРОЧНЫЕ СОСТОЯНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК