Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:53.084.2
Номер:13 (58)
В работе осуществлена оптимизация колебательной системы датчика СЗМ «NanoEducator» с целью достижения максимального разрешения при получении изображения поверхности образца поликарбоната в режиме полуконтактной моды и для осуществления динамической нанолитографии. Установлены эффективные параметры размеров кантеливера и острия зонда для различных режимов работы. Методом динамической нанолитографии получены поверхностные наноструктуры в соответствии с заданным шаблоном.