Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (10)
Скачать PDF0 Кбайт
Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС
Аннотация:
В настоящей работе приведены результаты исследований электрической прочности слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Si2), осаждаемого на планарную структуру. Электрическая прочность является одним из важнейших параметров диэлектрика применяемого для межслойной изоляции.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- АЛГОРИТМ КОМПЕНСАЦИИ ВНЕШНИХ ДЕТЕРМИНИРОВАННЫХ ВОЗМУЩЕНИЙ: ОПЕРАТОРНЫЙ МЕТОД СИНТЕЗА
- Разработка математической модели инжекторного двигателя
- Измерительная система для учебно-исследовательского комплекса "Мобильные роботы"
- Анализ процессов в системах с модуляцией – демодуляцией при внешнем конечномерном воздействии, с использованием кронекеровского модельного представления
- Резидентное и инструментальное ПО промышленных контроллеров сетевого ввода/вывода
- Концепция построения интегрированной информационной системы управления региональной системой образования
- Алгоритмы выбора соединений в ПЛИС
- Сжатие изображений на основе выделения локальных однородных областей
- Модель абстрактных функциональных блоков
- Тестирование и анализ распределенных информационных систем, разработанных по технологии J2EE
- Проблемы тестирования системного программного обеспечения распределенных информационно-управляющих систем
- Применение технологии OPC
- Сравнение архитектур построения серверов мультимедиа
- Расширение возможностей лабораторного комплекса SDK-1.1
- Оптимизация конфигурируемых параметров маршрутизатора
- Разделение системных и прикладных задач при разработке информационно-управляющих систем
- Оптимизация работы дисковой подсистемы сервера мультимедиа
- Метрики в современном тестировании
- Использование стандартных библиотек во встроенных системах (на примере стандартной библиотеки языка C++)
- Технологии повторного использования и реинжиниринга и системы реального времени
- Создание виртуальной лаборатории проектирования тестового обеспечения
- Применение кватернионов для моделирования зеркальных систем в динамике
- Единый информационный комплекс предприятия в технологической подготовке и производстве
- Разработка технологии изготовления алюминиевых отливок сложных тонкостенных деталей способом вакуумно-пленочной формовки
- Автоматизированная система мониторинга электромагнитных полей
- Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС
- Применение САПР P-CAD-2001 при проектировании печатных плат
- Исследование структур типа Siп/к -SiO2-Si с окислами, полученными в различных режимах окисления
- Исследование МОП-структур с окислами, полученными при различных режимах окисления
- Оценка существующих методов отработки и проверки КБО гражданских самолетов
- Проблемы надежности магнитоуправляемых контактов в системах управления
- Создание библиотеки конечных элементов в приложении к пластинам и мембранам
- Исследование надежности сильфонных упругих элементов коммутационной техники
- Алгоритмическое моделирование цифрового фильтра
- Исследование эффективности применения искусственных нейронных сетей для выделения гладкой составляющей сигнала тока в электроприводе
- Влияние частоты дискретизации на устойчивость цифровой системы автоматического регулирования тока с широтно-импульсным преобразователем
- Моделирование электромагнитных процессов в силовых цепях n-модульных импульсных источников тока программируемой формы
- Анализ электромагнитных процессов при включении активных выпрямителей напряжения в питающую сеть