Статья Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г.
Статья Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС Фролкова Е. Г., Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н.