Например, Бобцов

ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ДИФФУЗНО ОТРАЖАЮЩИХ ОБЪЕКТОВ

Аннотация:

Представлен оптико-электронный прибор, работающий в сканирующем и триг герном режимах измерений, реализованный на базе интерферометра Майкель сона. Проанализирована поверхность сложной формы, где поперечное движе ние объекта при модуляции оптической длины объектного плеча интерферо метра приводит к случайной модуляции интерференционного сигнала спекл структурой отраженной объектной волны и к ошибке измерения. Предложен способ минимизации влияния спекл-модуляции интерференционного сигнала на результат измерений, заключающийся в увеличении числа независимых из мерений за время одного прохода оптической измерительной головки с после дующим их усреднением. Способ реализуется посредством введения дополни тельной модуляции оптической разности хода. Приведены экспериментальные данные, позволяющие определить дискретность измерений и границу допусти мой скорости движения контролируемого диффузно отражающего объекта при динамических измерениях.

Ключевые слова:

Статьи в номере