Например, Бобцов

ДИНАМИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ КОНЦЕНТРАЦИИ ПЫЛИ ДЛЯ САУ ПРОИЗВОДСТВОМ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Аннотация:

Рассматривается уточненная модель динамики климатического параметра — концентрации пыли — в воздухе чистого помещения при производстве микроэлектроники. Представленное математическое описание параметра позволяет построить адекватную имитационную модель климатической динамической системы. На основе разработанной модели в среде MatLab получены результаты, подтверждающие эффективность использования нечеткого регулирования при управлении климатической динамической системой в условиях непрогнозируемых возмущений, когда традиционные ПИД-регуляторы теряют устойчивость.

Ключевые слова:

Статьи в номере