Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:531.7.082.5; 535.42/44
Номер:7 (62)
Скачать PDF548 Кбайт
Представлен новый метод измерения линейных перемещений, основанный на освещении оптического растра сферическим волновым фронтом, сформированным с помощью точечного отверстия. Предложенный метод позволяет измерять перемещение растра с погрешностью порядка 0,001 % . Показано, что предложенная схема имеет большой коэффициент преобразования перемещения и позволяет регистрировать малое смещение растра.