Например, Бобцов

МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С ПОМОЩЬЮ ОСВЕЩАЕМОГО СФЕРИЧЕСКИМ ВОЛНОВЫМ ФРОНТОМ ОПТИЧЕСКОГО РАСТРА

Аннотация:

Представлен новый метод измерения линейных перемещений, основанный на освещении оптического растра сферическим волновым фронтом, сформированным с помощью точечного отверстия. Предложенный метод позволяет измерять перемещение растра с погрешностью порядка 0,001 % . Показано, что предложенная схема имеет большой коэффициент преобразования перемещения и позволяет регистрировать малое смещение растра.

Ключевые слова:

Статьи в номере