Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.586
Номер:7 (62)
Скачать PDF417 Кбайт
Представлена новая технологическая методика обеспечения надежности и стабильности выходных параметров микромеханических датчиков давления. Произведен расчет параметров надежности чувствительных элементов датчиков давления. Приведены результаты автономных ускоренных испытаний и испытаний на безотказность.