Например, Бобцов

МЕТОДОЛОГИЯ УЧЕТА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ И ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ ФАКТОРОВ ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ МИКРО- И НАНОПРИБОРОВ

Аннотация:

Рассмотрена задача обеспечения на этапе проектирования основных показа-телей качества микро- и наноприборов — показателей назначения, технологичности, надежности. Групповые технологии, используемые при производстве микро- и наноприборов, обеспечивают корреляцию параметров прибора, формируемых в едином технологическом цикле, что накладывает ограничения на методы обеспечения серийнопригодности и надежности микро- и нанопри-боров. Традиционная методика проектирования не позволяет достичь оптимального сочетания показателей назначения, технологичности и надежности партии приборов. Предложена методология комплексного проектирования микро- и наноприборов, которая в рамках сложившейся групповой технологии производства позволяет достичь оптимальной увязки: показателей назначения, серийнопригодности в заданных условиях производства и надежности в заданных условиях эксплуатации при заданных ограничениях на показатели назначения прибора. В традиционную схему процесса проектирования введен этап конструкторско-технологической оптимизации, на котором обрабатываются параметры конструкции прибора с этапов схемотехнического и конструкторского проектирования, данные об их технологических разбросах — с этапа технологической подготовки производства, и данные о корреляции конструкторских параметров и показателей назначения прибора в заданных условиях эксплуатации. В результате оптимизации определяются поправки на номиналы параметров конструкции прибора, максимизирующие целевую функцию. В качестве целевой функции выступает вероятность нахождения показателей назначения прибора в пределах наложенных ограничений, вероятность выполнения заданных функций в течение времени эксплуатации, или гамма-процентная наработка до параметрического отказа. Предложенная методология отработана на примере приборов микро- и наноэлектроники — смесителя и выпрямителя микроволновых радиосигналов с резонансно-туннельным диодом в качестве нелинейного элемента.

Ключевые слова:

Статьи в номере