Например, Бобцов

КОМБИНИРОВАННЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ ПРОЗРАЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И ПЛЕНОК

Аннотация:

Рассматривается задача проведения измерений толщины прозрачных слаборассеивающих и слабопоглощающих слоев неорганических покрытий и пленок в диапазоне от 0,1 до 0,6 мм с относительной погрешностью измерения менее 10 % в режиме реального времени. Измерения выполняются путем применения комбинации двух методов — лазерной интерферометрии и лазерной модифицированной триангуляции. Предмет исследования — определение набора параметров, необходимых для измерения толщины указанными оптическими методами; цель исследования — разработка способа измерения толщины комбинированным методом таким образом, чтобы в наборе необходимых параметров отсутствовал показатель преломления исследуемого образца. Представлен принцип работы при использовании комбинированного метода и осуществлен поиск оптимальных параметров измерительной установки, что позволяет снизить погрешность измерений до 5 % при уменьшении информативности измерения в 3 раза. Главное преимущество предлагаемого подхода заключается в том, что для определения толщины комбинированным методом не требуется информация о числовом значении показателя преломления измеряемого слоя.

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО