Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:53.084.2
Номер:3 (61)
Скачать PDF0 Кбайт
Исследован пьезорезонансный датчик для сканирующего зондового микроскопа зондом в виде стеклян-ной микропипетки. Измерены резонансная частота и добротность датчика в воздушной и жидкой средах. Продемонстрировано пространственное разрешение с использованием тестовой решетки. Сделан вывод о возможности использования датчика с микропипеткой в жидкой среде с одновременной работой в по-луконтактной силовой моде и в моде измерения ионных токов.