Например, Бобцов

АНАЛИТИЧЕСКИЙ МЕТОД РАСЧЕТА ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ ЗАЩИТНОЙ МАСКИ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА

Аннотация:

Рассмотрены методы определения толщины слоев масок для проведения процессов плазмохимического травления. Предложен метод расчета толщины слоев маски при формировании приборного слоя для изготовления чувствительных элементов микромеханического акселерометра. Представлены результаты оценки расчетного метода на основе измеренных значений толщины маски до и после плазмохимического травления приборного слоя кремниевой подложки с чувствительными элементами. Сформулировано заключение об эффективности использования представленного метода в технологии изготовления микромеханических акселерометров и гироскопов.

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2026 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО