АНАЛИТИЧЕСКИЙ МЕТОД РАСЧЕТА ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ ЗАЩИТНОЙ МАСКИ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА
Аннотация:
Рассмотрены методы определения толщины слоев масок для проведения процессов плазмохимического травления. Предложен метод расчета толщины слоев маски при формировании приборного слоя для изготовления чувствительных элементов микромеханического акселерометра. Представлены результаты оценки расчетного метода на основе измеренных значений толщины маски до и после плазмохимического травления приборного слоя кремниевой подложки с чувствительными элементами. Сформулировано заключение об эффективности использования представленного метода в технологии изготовления микромеханических акселерометров и гироскопов.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ПРЯМАЯ АДАПТИВНАЯ КОМПЕНСАЦИЯ МУЛЬТИСИНУСОИДАЛЬНЫХ ВОЗМУЩЕНИЙ В ЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМАХ С НАСТРОЙКОЙ РЕГУЛЯТОРА ЗА КОНЕЧНОЕ ВРЕМЯ
- МЕТОД ИДЕНТИФИКАЦИИ ДЕФЕКТОВ В НЕЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМАХ
- ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНАЯ ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА С РЕКОНФИГУРИРУЕМОЙ СТРУКТУРОЙ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ МАТЕРИАЛОВ
- ЛОКАЛИЗАЦИЯ ФАЗ УДАРНО-ФРИКЦИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ СТОПЫ С ОПОРНОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ
- ОТРАЖАТЕЛЬ С ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ГРАНЬЮ И НЕПРЯМЫМ УГЛОМ МЕЖДУ ПЛОСКИМИ ДЛЯ ТРЕХКООРДИНАТНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ
- УТОЧНЕНИЕ МЕТОДА РАСЧЕТА АХРОМАТИЧЕСКОГО ОБЪЕКТИВА С РАБОЧИМ СПЕКТРАЛЬНЫМ ДИАПАЗОНОМ ОТ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДО БЛИЖНЕГО ИНФРАКРАСНОГО
- ХАРАКТЕРИСТИКА НАПРЯЖЕННОСТИ ПОЛЯ В ОДНОСЛОЙНОМ И МНОГОСЛОЙНОМ СОЛЕНОИДАХ: БАЗОВАЯ И АДАПТАЦИОННАЯ. ЗОНА ОДНОРОДНОСТИ
- АЛГОРИТМЫ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК И ШЕРОХОВАТОСТИ ИЗДЕЛИЙ