Статья Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния Скворцов А. М., Пилюгина Ю. А., Толмачев В. А.
Статья Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера Вейко В. П., Дышловенко С. С., Пилюгина Ю. А., Скворцов А. М.
Статья Получение периодических структур глубоким анизотропным травлением для опто- и микроэлектронных устройств Пилюгина Ю. А., Смелова А. В.