Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (40)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе рассматривается одна из важных задач при получении кремниевых структур на основе макро- пористого кремния – задача вскрытия пор с целью получения сквозных каналов в кремниевой пластине. Для решения данного вопроса использовался метод анизотропного щелочного травления.