Например, Бобцов

ЩЕЛОЧНОЕ ВСКРЫТИЕ МАКРОПОР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР СО СКВОЗНЫМИ КАНАЛАМИ

Аннотация:

  В работе рассматривается одна из важных задач при получении кремниевых структур на основе макро- пористого кремния – задача вскрытия пор с целью получения сквозных каналов в кремниевой пластине. Для решения данного вопроса использовался метод анизотропного щелочного травления.

Ключевые слова:

Статьи в номере