Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (40)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе исследуется возможность формирования нанокомпозитных пленок на основе кремния, диокси- да кремния и различных силикатных стекол. Пленки изготавливались на термически окисленных моно- кристаллических кремниевых пластинах. Разработана лабораторная технология получения порошков материалов, из которых готовится суспензия, нанесения суспензии на подложку и формирования пленок путем спекания.