Например, Бобцов

Исследование гистерезиса вольт-емкостных характеристик структур кремний-окисел с поликремниевым затвором при воздействии ионизирующего излучения

Аннотация:

  В работе приводятся результаты исследования характера изменения гистерезиса вольт-фарадных характеристик (ВФХ) структур Si-SiO2 с поликремниевым затвором при воздействии гамма-излучения. Пока- зывается, что гистерезис ВФХ, вызванный облучением, связан с процессами обмена неосновными носителями заряда между ловушечными центрами в окисле и кремниевой подложки.

Ключевые слова:

Статьи в номере