Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:621.315.592; 621.382.002
Номер:10 (51)
НЕКОТОРЫЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ЛАЗЕРНЫМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕМ
Аннотация:
Исследовано влияние лазерного микроструктурирования монокристаллического кремния на морфологию и оптические свойства облученных областей. Показано, что на поверхности облученных областей кремния происходят сложные структурные изменения, сопровождаемые морфотропией кремния с образованием его нанокластеров. Одновременно существенно изменяются оптические характеристики, о чем свидетельствует изменение коэффициента пропускания облученных областей кремния.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ АЛГОРИТМЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ КОМПЛЕКСНЫХ СЕТЕЙ
- МЕТОД ОБРАБОТКИ РЕЗУЛЬТАТОВ ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ НА ОСНОВЕ ВЕКТОРНОГО РЕДУЦИРОВАННОГО ОЦЕНИВАНИЯ
- ОБЕСПЕЧЕНИЕ БЕЗОПАСНОСТИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ИНФОРМАЦИОННЫХ СЕТЕЙ
- УПРАВЛЕНИЕ ТРАЕКТОРИЕЙ ДВИЖЕНИЯ АВТОМОБИЛЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АЛГОРИТМА ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЙ ОПТИМИЗАЦИИ
- АНАЛИЗ СЛОЖНЫХ МУЛЬТИИЗОБРАЖЕНИЙ В РЕЖИМЕ РЕАЛЬНОГО ВРЕМЕНИ
- ФОРМИРОВАНИЕ ИЗБЫТОЧНОГО ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ОТКАЗОУСТОЙЧИВЫХ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ МОДЕЛИ АСИНХРОННОГО ДВИГАТЕЛЯ ПО СПРАВОЧНЫМ ДАННЫМ
- РАЗВИТИЕ ТЕЛЕВИЗИОННЫХ МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТРУБ
- МОДУЛЬ УПРАВЛЕНИЯ ЯМР-ТОМОГРАФОМ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ОБНАРУЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ НА ОСНОВЕ ПОЛЯРИЗАЦИОННОГО КОНТРАСТА
- ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ОПТИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
- ПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ПОСТРОЕНИЯ ЭЛЛИПСА ПОЛЯРИЗАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ
- УМЕНЬШЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАЛЛАКСА НА ПОГРЕШНОСТЬ СТАБИЛИЗАЦИИ ВИДЕОИЗОБРАЖЕНИЙ
- КОМПЕНСАТОРЫ ДЛЯ НЕСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ЗЕРКАЛЬНЫХ ТЕЛЕСКОПОВ
- КОМПОНОВКА МНОГОКАНАЛЬНОЙ АППАРАТУРЫ ИНФРАКРАСНОГО И МИЛЛИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНОВ
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ СОСТАВА НЕФТЕВОДОГАЗОВОЙ СМЕСИ МЕТОДОМ ЯДЕРНОГО МАГНИТНОГО РЕЗОНАНСА