Исследование низкопороговых механизмов модификации структуры тонких пленок хрома под действием сверхкоротких лазерных импульсов
Аннотация:
Рассмотрен термохимический метод записи информации, основанный на локальном лазерном окислении тонких пленок хрома, с последующим травлением необлученной области. Этот способ является альтернативой лазерной фотолитографии и прямому лазерному удалению пленки хрома. Он применяется в основном для изготовления дифракционных оптических элементов. В термохимическом способе записи информации отсутствуют термические и гидродинамические искажения рисунка, как при лазерной абляции, а количество технологических операций существенно меньше, чем в фотолитографии. В настоящее время дифракционные оптические элементы используются в больших телескопах, матрицах микролинз, лазерной оптике и т. д. Основным требованием ко всем типам дифракционных оптических элементов является высокое пространственное разрешение. Поиск методов повышения разрешения дифракционных оптических элементов является основной мотивацией исследования структуры облученных пленок хрома.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Предисловие выпускающего редактора
- Абляция диэлектриков под действием коротких импульсов рентгеновских плазменных лазеров и лазеров на свободных электронах
- Гетерогенная лазерная абляция и ее влияние на формирование приповерхностной плазмы при воздействии импульсного лазерного излучения
- Влияние эмиссии электронов на нагрев металлов фемтосекундными лазерными импульсами
- Эффекты неравновесности при воздействии импульсного лазерного излучения на металлы
- Модификация диэлектрической поверхности при лазерно-индуцированном кулоновском взрыве наночастицы
- Оптические методы формирования металлических наноструктур на поверхности диэлектрических материалов
- Исследование нанокластеров и микроструктур, возникающих на поверхности силикатов при резонансном воздействии излучения СО2-лазера
- Резонансное диффузное отражение света от статистическишероховатых интерфейсов фотонных кристаллов
- Изменения равновесного компонентного состава и пространственной ориентации молекулярного слоя полиметиновых красителей
- Сравнительный анализ оптоакустических импульсов в алюминии и кремнии
- Индуцированное ультрафиолетовым излучением изменение оптических свойств диэлектриков в инфракрасном диапазоне
- Рассеяние света малыми осесимметричными частицами с использованием обобщенного метода разделения переменных со сферическим базисом
- Дифракция однопериодных терагерцовых электромагнитных волн
- Динамика диэлектрической проницаемости полупроводника при фемтосекундном лазерном воздействии
- Учебное пособие “Теоретические основы оптико-электронных приборов”