Определение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем
Аннотация:
Рассмотрена установка для измерения характеристик остаточного двулучепреломления крупногабаритных оптических кристаллов флюорита методом скрещенных поляроидов. Приведена математическая модель предложенного метода. Анализируется функция рассеяния точки, описывающая влияние двулучепреломления на качество изображения.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Коэффициенты экстинкции и люминесценция гетероструктур CdSe/CdTe, CdTe/CdSe и CdTe/CdS на основе коллоидных нанокристаллов CdSe и CdTe
- Спектральное исследование самоорганизации квантовых точек при испарении коллоидных растворов
- Крупногабаритный многоспектральный объектив
- Расчет светозащитных бленд в оптической системе “зеркальный Райт” с малым углом наклона зеркального планоида
- Влияние фильтрации на статистические характеристики изображений при реализации модели линейного предсказателя методом голографии Фурье
- Линзакон: непараксиальные эффекты
- Применение метода восстановления глубины из фокусировки для микроскопических изображений
- Волоконно-оптический индикатор возникновения искры и дуги со спектральным преобразованием детектируемого излучения
- Схема суммирования световых потоков от набора газоразрядных ламп для имитатора солнечного излучения
- Пассивная криогенная система охлаждения для геостационарного спутника
- Формирование наноразмерных Y2O3:Eu3+-покрытий на поверхности стекол с использованием растворов, содержащих поливинилпирролидон
- Структурные, оптические и сцинтилляционные характеристики ZnO-керамик
- Особенности оптических и нелинейно-оптических характеристик многослойных кристаллов DAST