Предлагается включить построение и анализ разностного спектра мод в обычную процедуру определения параметров планарных волноводов по результатам измерений спектра волноводных мод. Показано, что анализ разностного спектра мод позволяет эффективно выявлять ошибочные результаты измерений и выбирать наиболее подходящую для исследуемого образца методику расчета распределения показателя преломления. Использование результатов анализа повышает достоверность реконструкции профиля планарного волновода и определяемых по нему параметров кинетики процесса формирования градиентного слоя, что особенно полезно при создании волноводов на базе новых материалов.