Например, Бобцов

Исследование способов дискретизации источника при моделировании фотолитографического изображения

Аннотация:

В рамках модели Аббе при моделировании формирования фотолитографического изображения рассмотрены два способа дискретизации источника: по прямоугольной сетке с различным шагом дискретизации и при радиальном расположении точек на прямоугольной сетке с различным шагом по радиусу и по длине дуги между точками. Показано, что использование радиального распределения точек значительно ускоряет процесс вычисления, при этом точность моделирования определяется в основном шагом по радиусу.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере